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1. 发明申请

WO2016096457A1 IONIZATION DEVICE AND MASS SPECTROMETER THEREWITH 审中-公开
标题翻译：离子装置和大容量光谱仪
公开(公告)号：WO2016096457A1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/EP2015/078506
申请日：2015-12-03
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , CHUNG, Hin Yiu Anthony , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , LAUE, Alexander , KEUDELL, Achim von , BÖKE, Marc , BENTER, Thorsten , WINTER, Jörg , AWAKOWICZ, Peter , GORKHOVER, Leonid
IPC分类号： H01J27/08 , H01J49/12 , H01J49/14
CPC分类号： H01J49/145 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J49/12
摘要： The invention relates to an ionization device (1), comprising: a plasma generating device (4) for generating metastable particles (6a) and/or ions (6b) of an ionization gas (6) in a primary plasma region (9), a field generating device (13) for generating a glow discharge (12) in a secondary plasma region (10), an inlet (2) for supplying a gas (3) to be ionized into the secondary plasma region (10), and a further inlet (5) for supplying the metastable particles (6a) and/or the ions (6b) of the ionization gas (6) into the secondary plasma region (10). The invention also relates to a mass spectrometer (20) comprising such an ionization device (1 ) and a detector (17), disposed downstream of the outlet (16) of the ionization device (1), for the mass-spectrometric analysis of the ionized gas (3a, 3a').
摘要翻译：本发明涉及电离装置（1），其包括：用于在初级等离子体区域（9）中产生电离气体（6）的亚稳颗粒（6a）和/或离子（6b）的等离子体产生装置（4）用于在次级等离子体区域（10）中产生辉光放电（12）的场产生装置（13），用于供给待离子化到二次等离子体区域（10）中的气体（3）的入口（2）用于将亚稳颗粒（6a）和/或电离气体（6）的离子（6b）供应到次级等离子体区域（10）中的另外的入口（5）。本发明还涉及一种质谱仪（20），其包括设置在离子化装置（1）的出口（16）下游的这种离子化装置（1）和检测器（17），用于质谱分析电离气体（3a，3a'）。

2. 发明申请

WO2016096233A1 DRUCKREDUZIERUNGSEINRICHTUNG, VORRICHTUNG ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN ANALYSE EINES GASES UND REINIGUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：减压装置，装置的燃气质谱分析，清洗等
公开(公告)号：WO2016096233A1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/EP2015/075589
申请日：2015-11-03
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , GORKHOVER, Leonid , AWAKOWICZ, Peter , BÖKE, Marc , KEUDELL, Achim von , WINTER, Jörg , LAUE, Alexander , BENEDIKT, Jan
IPC分类号： H01J49/24
CPC分类号： H01J49/24
摘要： Die Erfindung betrifft eine Druckreduzierungseinrichtung (3), umfassend: ein Vakuum-Gehäuse (4), welches eine Einlassöffnung (5) für den Einlass eines zu untersuchenden Gases (2) bei einem Umgebungsdruck (P U ) sowie einen Analyseraum (7) für die massenspektrometrische Untersuchung des zu untersuchenden Gases (2) bei einem Arbeitsdruck (P A ) aufweist, wobei die Einlassöffnung (5) und eine Eintrittsöffnung (10) des Analyseraums (7) entlang einer gemeinsamen Sichtlinie (11) angeordnet sind. Das Vakuum-Gehäuse (4) weist eine Mehrzahl von modular miteinander verbindbaren und entlang der Sichtlinie (11) hintereinander anordenbaren Vakuum-Bauteilen (21, 26) auf und durch mindestens eines der Vakuum-Bauteile (23, 27), durch die der Analyseraum (7) verläuft, verläuft auch mindestens ein von dem Analyseraum (7) gasdicht getrennter Druckreduzierungsraum (12). Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases (2), welche eine solche Druckreduzierungseinrichtung (3) aufweist, sowie ein Verfahren zum Reinigen einer solchen Druckreduzierungseinrichtung (7).
摘要翻译：本发明涉及一种减压装置（3），包括：真空外壳（4），其质谱的入口开口（5），用于一个给气体所研究的入口（2）在环境压力（PU）和一个分析室（7）的包括下调查到气体检查在工作压力（PA），其特征在于，所述进入口（5）和所述分析空间（7）的沿视线（11）的公共线的入口开口（10）被布置成（2）。真空外壳（4）包括多个模块化互连的视线的和沿（11）一个在另一个可布置真空组件后面（21，26）和通过真空装置中的至少一个（23，27），通过该分析腔室（7），还延伸分析空间（7）独立的气密减压空间（12）中的至少一个。本发明还涉及一种用于气体（2）的质谱分析的装置，具有这样的减压装置（3），以及用于清洁这种减压装置的方法（7）。

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