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1. 发明申请

WO2014066768A3 COMBINED PRESSURE AND HUMIDITY SENSOR 审中-公开
标题翻译：组合式压力和湿度传感器
公开(公告)号：WO2014066768A3
公开(公告)日：2014-08-07
申请号：PCT/US2013066825
申请日：2013-10-25
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , LAMMEL GERHARD , WAFFENSCHMIDT SYBILLE , FEYH ANDO , O'BRIEN GARY , GRAHAM ANDREW
发明人： LAMMEL GERHARD , WAFFENSCHMIDT SYBILLE , FEYH ANDO , O'BRIEN GARY , GRAHAM ANDREW
IPC分类号： G01L19/00 , G01D21/02 , G01L19/14
CPC分类号： G01N27/041 , G01D3/0365 , G01L19/0038 , G01L19/0092 , G01L19/141 , G01L19/143 , G01L19/147 , G01N27/223 , H01L2224/16225 , H01L2224/32145 , H01L2224/48091 , H01L2224/73253 , H01L2224/73265 , H01L2924/15174 , H01L2924/00014
摘要： A sensor device package includes a pressure sensor (14) and a humidity sensor (16) mounted on the same substrate (12) and in the same housing (18) with light protection for the pressure sensor a media opening for gas exchange for the humidity sensor. Light protection and rapid response times are provided through strategic positioning of the media opening, strategic arrangement of the pressure sensor, humidity sensor, and the media opening, and/or the use of opaque materials.
摘要翻译：一种传感器装置包括一个压力传感器（14）和一个安装在同一个基板（12）上的湿度传感器（16）和同一个壳体（18）中，该压力传感器具有用于压力传感器的光保护用于气体交换湿度的介质开口传感器。通过介质打开的策略性定位，压力传感器的策略布置，湿度传感器和介质打开，和/或使用不透明材料来提供光保护和快速响应时间。

2. 发明申请

WO2004028956A3 METHOD AND MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：方法和微机械部件
公开(公告)号：WO2004028956A3
公开(公告)日：2004-12-23
申请号：PCT/DE0300630
申请日：2003-02-27
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , LAMMEL GERHARD , SCHAEFER FRANK , WEBER HERIBERT , FINKBEINER STEFAN
发明人： LAMMEL GERHARD , SCHAEFER FRANK , WEBER HERIBERT , FINKBEINER STEFAN
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00476 , B81B2201/12 , B81B2203/0118 , B81C2201/0109 , B81C2201/0115
摘要： Disclosed are a production method and a micromechanical component, in which porous silicon (106) is used as a sacrificial layer and a functional layer (130) is exposed by etching away the sacrificial layer.
摘要翻译：它提出了一种制造方法和微机械部件，在多孔硅（106）用作牺牲层和通过蚀刻掉牺牲层（130）暴露的功能层。

3. 发明申请

WO2006081888A3 ACCELERATION MEASURING MICROMECHANICAL SENSOR ELEMENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF 审中-公开
标题翻译：微机械传感器元件FOR MEASURING MAKING的加速度和方法
公开(公告)号：WO2006081888A3
公开(公告)日：2006-10-19
申请号：PCT/EP2005056525
申请日：2005-12-06
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , BENZEL HUBERT , SCHAEFER FRANK , LAMMEL GERHARD
发明人： BENZEL HUBERT , SCHAEFER FRANK , LAMMEL GERHARD
IPC分类号： B81B7/02 , B81B3/00
CPC分类号： B81B7/02 , B81B2201/0235 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315
摘要： The invention relates to an acceleration measuring micromechanical sensor element (4) and to a method for the production thereof, wherein said sensor element comprises at least one substrate (5), a membrane (10) which is formed thereon and under which a cavity (12) is formed, an opening (25) is embodied in the membrane (10) in such a way that it extends to the cavity (12), an acceleration mass is formed on or in the membrane (10), preferably in the form of a solder bump (22) and a piezo resistor (14) formed on the membrane (10) for measuring at least one displacement thereof. In addition, a pressure sensor provided with a corresponding membrane, cavity and piezo resistor is embodied on the substrate, thereby making it possible to produced a combined acceleration and pressure sensor, preferably also an evaluation circuit, in a cost saving manner on a chip which can be afterwards fixed to a mounting substrate according to a in flip-chip-technique.
摘要翻译：本发明涉及一种微机械传感器元件（4），用于测量的加速度，以及用于制造这种传感器元件的方法，所述传感器元件（4）至少包括：一个基板（5）形成一个在所述基板（5）膜（10），下面的（12）形成的一个（12）在膜（10）的开口（25），其延伸到所述空腔形成的一个空腔形成在或在膜的质量（10）的加速度，优选为焊料凸块（压电电阻器形成22），和一个（在振动板10）（14），以测量至少在隔膜（10）的偏转。在基板上，一个压力传感器可以进一步与合适的膜腔和压电电阻形成，使得组合的加速度和压力传感器，并且优选地还评估电路，可以廉价地在一个芯片上形成，在安装基板上的倒装芯片技术以下可以连接。

4. 发明申请

WO2013159972A3 SENSOR WITH SAMPLING MOMENT TIME STAMP 审中-公开
标题翻译：带时间标记的采样时间SENSOR
公开(公告)号：WO2013159972A3
公开(公告)日：2014-02-20
申请号：PCT/EP2013054505
申请日：2013-03-06
申请人： BOSCH GMBH ROBERT
发明人： LAMMEL GERHARD , DORSCH RAINER , CLAUS THOMAS
IPC分类号： G01D9/00
CPC分类号： H03M1/1255 , G01D9/005
摘要： The invention relates to a sensor having a detection element, an analogue frontend and a digital backend; wherein the digital backend is to be connected to a control unit via a digital interface, wherein the sensor provides sampled data in the digital backend. The sensor contains means for providing time information relating to the sampled data in the digital backend, which information can be accessed by the control unit by means of the digital interface. The invention also relates to a method for assigning an item of time information to sampled measurement data from a sensor.
摘要翻译：本发明涉及一种具有感测元件，一个模拟前端和数字后端的传感器; 其中，所述数字后端是通过数字接口的控制单元，其中所述传感器采样的数据在数字后端提供连接。该传感器包括用于在所述数字后端提供扫描数据的时间信息，向其中控制单元能够通过数字接口本发明还涉及一种方法，用于分配上的传感器的采样测量数据的时间的信息进行访问的装置。

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