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    • 3. 发明申请
    • MIKROMECHANISCHES SENSORELEMENT ZUR MESSUNG EINER BESCHLEUNIGUNG UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
    • 微机械传感器元件FOR MEASURING MAKING的加速度和方法
    • WO2006081888A2
    • 2006-08-10
    • PCT/EP2005/056525
    • 2005-12-06
    • ROBERT BOSCH GMBHBENZEL, HubertSCHAEFER, FrankLAMMEL, Gerhard
    • BENZEL, HubertSCHAEFER, FrankLAMMEL, Gerhard
    • B81B7/02B81B3/00
    • B81B7/02B81B2201/0235B81B2201/0264B81B2203/0127B81B2203/0315
    • Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Sensorelement (4) zur Messung einer Beschleunigung und ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Sensorelementes, wobei das Sensorelement (4) mindestens aufweist: ein Substrat (5), eine auf dem Substrat(5) ausgebildete Membran (10), unterhalb der eine Kaverne (12) ausgebildet ist, eine in der Membran (10) ausgebildete Öffnung (25), die sich bis zu der Kaverne (12) erstreckt, eine auf oder in der Membran (10) ausgebildete Beschleunigungsmasse, vorzugsweise ein Lötbump (22), und einen in der Membran (10) ausgebildeten Piezowiderstand (14) zur Messung mindestens einer Auslenkung der Membran (10). Auf dem Substrat kann weiterhin ein Drucksensor mit entsprechender Membran, Kaverne und Piezowiderstand ausgebildet werden, so dass ein kombinierter Beschleunigungs- und Drucksensor, vorzugsweise auch eine Auswerteschaltung, kostengünstig auf einem Chip ausgebildet werden kann, der nachfolgend in Flip-Chip-Technik auf einem Montagesubstrat befestigt werden kann.
    • 本发明涉及一种微机械传感器元件(4),用于测量的加速度,以及用于制造这种传感器元件的方法,所述传感器元件(4)至少包括:一个基板(5),一个(在基板上 5)形成在膜(10)形成下方这就形成了(在膜10)&Ouml的空腔(12);开口(25),其延伸到所述空腔(12),一个上或在膜 (10)训练加速度质量,优选为Lö tbump(22),和一个形成在所述膜(10)的压电电阻器(14),以测量至少在隔膜(10)的偏转。 在基板上,一个压力传感器可以进一步与合适的膜腔和压电电阻形成,使得组合的加速度和压力传感器,并且优选地还评估电路,成本导航可使用便宜的瑞士的芯片,其上随后向倒装芯片技术 可以连接到安装基板上。