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    • 6. 发明申请
    • 整流素子及びその製造方法
    • 整流器和整流器的生产过程
    • WO2009057671A1
    • 2009-05-07
    • PCT/JP2008/069710
    • 2008-10-30
    • 独立行政法人産業技術総合研究所島 久秋永 広幸石橋 章司田村 友幸
    • 島 久秋永 広幸石橋 章司田村 友幸
    • H01L29/66H01L29/47H01L29/86H01L29/872
    • H01L29/24H01L29/872
    •  電気陰性度がTiよりも大きい遷移金属からなる第1及び第2電極の間に、何れか一方の電極に面する側の界面のみが定比組成であり、層全体の平均組成がTiO x (但し、式中xは、1.6≦x<2の関係を満たすものに限る。)の式で表される、酸化チタン層が介在し、該第1電極及び第2電極の間に臨界反転電力を超える大きさの反転電気信号を逆方向に印加することによって整流特性を反転できる整流素子並びに、基板上に、電気陰性度がTiよりも大きい遷移金属からなる第1電極を堆積させる工程、該第1電極上に酸化チタン(TiO x (但し、式中xは、1.6≦x<2の関係を満たすものに限る。))層を堆積させる工程、該酸化チタン(TiO x )層の表面を酸素雰囲気に曝露する工程及び該酸素雰囲気に曝露された酸化チタン(TiO x )層の表面上に電気陰性度がTiよりも大きい遷移金属からなる第2電極を堆積させる工程を含む整流素子の製造方法。
    • 本发明提供了一种整流器,其包括置于具有大于Ti的电负性的过渡金属形成的第一和第二电极之间的氧化钛层。 在氧化钛层中,只有面对任何一个电极的一侧上的界面具有固定的比例组成,并且整个层的平均组成由TiOx表示,其中x满足1.6 = x < 通过在第一和第二电极之间沿相反方向施加超过临界反向电功率的反向电信号来反转整流特性。 还提供了一种用于制造整流器的方法,包括在基板上沉积由电负性大于Ti的过渡金属形成的第一电极的步骤,在第一电极上沉积氧化钛层(TiOx)的步骤 条件是x满足与氧气氛的1.6 = xx)层的关系,并且在暴露于氧化钛(TiOx)层的表面上沉积由电负性大于Ti的过渡金属形成的第二电极的步骤 氧气氛围。
    • 7. 发明申请
    • 微小電極およびその製造方法
    • 微电子及其制造方法
    • WO2007086268A1
    • 2007-08-02
    • PCT/JP2007/050414
    • 2007-01-15
    • 独立行政法人産業技術総合研究所若山 貴行中桐 伸行佐藤 平道秋永 広幸中村 徹
    • 若山 貴行中桐 伸行佐藤 平道秋永 広幸中村 徹
    • G01N27/30
    • G01N27/30
    •  極めて微小な露出面をもつ微小電極及びそれを簡便に製造しうる方法を提供する。  該微小電極を、支持基板、その上に配設された微細パターン電極及び該電極の先端露出部以外を被覆する絶縁性被覆物からなり、かつ該電極の先端露出部が該電極の断面の微小面積で側面において形成されてなるものとする。該電極は、支持基板上に被着させたレジスト膜に微細パターン電極に対応するレジストパターンを形成し、該パターンの上から導電材を付着し、レジスト共々堆積導電材を除去し、得られた微細パターン電極を絶縁性材料で被覆し、側面において微細パターン電極の断面を露出させて得られる。
    • 提供具有非常小的暴露表面的微电极和简单制造这种微电极的方法。 微电极由支撑基板,布置在支撑基板上的精细图案电极和用于覆盖微细图案电极的前端露出部分以外的部分的绝缘覆盖材料构成。 电极的前端露出部分形成在具有精细图案电极的横截面的细小区域的侧面上。 通过在施加在支撑基板上的抗蚀剂膜上形成对应于精细图案电极的抗蚀剂图案,将导电材料粘附在图案上,用抗蚀剂去除沉积的导电材料,覆盖所获得的精细图案而获得电极 电极与绝缘材料接触,并使精细图案电极的横截面暴露在侧面。
    • 8. 发明申请
    • スイッチング素子
    • 切换设备
    • WO2007020832A1
    • 2007-02-22
    • PCT/JP2006/315629
    • 2006-08-08
    • 独立行政法人産業技術総合研究所秋永 広幸保田 周一郎井上 公高木 英典
    • 秋永 広幸保田 周一郎井上 公高木 英典
    • H01L49/02H01L21/822H01L27/04H01L27/10H01L45/00H01L49/00
    • H01L45/04H01L45/1233H01L45/146H01L45/1625H01L45/1675
    • 【課題】大きく異なる2つの安定した抵抗特性を可逆的かつ反復的に示す、高度集積化した不揮発性メモリへ適用可能なスイッチング素子の提供。 【解決手段】2つの電極間に、組成揺らぎを含む単一中心金属元素からなる金属酸化物薄膜が介在した可変抵抗素子を備え、該両電極間に、第1の閾値以上の電圧又は電流と、該第1の閾値の絶対値よりもその絶対値が小さい第2の閾値以下の電圧又は電流と、該第2の閾値の絶対値よりもその絶対値が小さい第3の閾値以下の電圧又は電流とを選択的に印加可能な制御回路と接続し、その絶対値が少なくとも第3の閾値以下の電位域又は電流域における電極間の抵抗特性を可逆的に1000~10000倍変化せしめることを特徴とする、スイッチング素子。
    • [问题]提供可逆地重复显示出两种非常不同的稳定电阻特性并且适用于高度集成的非易失性存储器的开关装置。 解决问题的手段一种切换装置,其特征在于,所述装置包括插入在两个电极之间的可变电阻元件,并且具有由单个中心金属元件构成并包括组成波动的金属氧化物薄膜,用于选择性地施加 第一阈值以上的电压或电流,绝对值小于第一阈值以下的第二阈值以下的电压或电流,或绝对值的第三阈值以下的电压或电流, 小于第二阈值的电阻连接在电极之间,并且绝对值至少等于或小于第三阈值的电位或电流区域中的电极之间的电阻特性可以从1000变化到 10,000次。