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1. 发明申请

WO2007001041A1 流量レンジ可変型流量制御装置审中-公开
标题翻译：可变流量范围流量控制装置
公开(公告)号：WO2007001041A1
公开(公告)日：2007-01-04
申请号：PCT/JP2006/312952
申请日：2006-06-22
申请人：株式会社フジキン , 国立大学法人東北大学 , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 斎藤雅仁 , 日野昭一 , 嶋津強 , 三浦和幸 , 西野功二 , 永瀬正明 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 土肥亮介 , 広瀬隆 , 篠原努 , 池田信一 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
发明人：大見忠弘 , 斎藤雅仁 , 日野昭一 , 嶋津強 , 三浦和幸 , 西野功二 , 永瀬正明 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 土肥亮介 , 広瀬隆 , 篠原努 , 池田信一 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D7/00 , G01F1/00 , G01F1/42 , G01F7/00
CPC分类号： G05D7/0641 , G01F1/363 , G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/005 , G01F7/005 , G05D7/0635 , G05D7/0647 , G05D23/1927 , Y10T137/0379 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/8593 , Y10T137/86734 , Y10T137/86815 , Y10T137/87265 , Y10T137/87314 , Y10T137/8741 , Y10T137/87499 , Y10T137/87684
摘要：　１基の流量制御装置によって、より広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図るようにしたものである。　具体的には、オリフィス上流側圧力Ｐ 1 及び又はオリフィス下流側圧力Ｐ 2 を用いて、オリフィス８を流通する流体の流量をＱｃ＝ＫＰ 1 （Ｋは比例定数）又はＱｃ＝ＫＰ 2 m （Ｐ 1 −Ｐ 2 ） n （Ｋは比例定数、ｍとｎは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置のコントロール弁の下流側と流体供給用管路との間の流体通路少なくとも二つ以上の並列状の流体通路とすると共に、前記各並列状の流体通路へ流体流量特性の異なるオリフィスを夫々介在させ、小流量域の流体の流量制御には一方のオリフィスへ前記小流量域の流体を流通させ、また大流量域の流体の流量制御には他方のオリフィスへ前記大流量域の流体を切換え流通させる。
摘要翻译：一种压力式流量控制装置，通过精确地控制在大流量范围内的流体的流动，能够减小尺寸和安装成本。具体地说，在孔口（8）中流动的流体的流量被计算为Qc = KP 1（K是比例因子）或Qc = KP <

2. 发明申请

WO2007023597A1 ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置审中-公开
标题翻译：垫片型式和压力型流量控制器使用相同
公开(公告)号：WO2007023597A1
公开(公告)日：2007-03-01
申请号：PCT/JP2006/309368
申请日：2006-05-10
申请人：株式会社フジキン , 国立大学法人東北大学 , 大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 篠原努 , 廣瀬隆 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
发明人：大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 篠原努 , 廣瀬隆 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D7/06 , F16K27/00 , F16L55/00 , G01F1/42
CPC分类号： F16K27/003 , F16L55/02718 , G01F1/36 , G01F15/001 , G01F15/005 , G05D7/0635
摘要：　本発明は、圧力式流量制御装置を分解、組立することなしに、そのオリフィスを簡単に取り換えできるようにすることにより、制御流量の切換を容易に行えるようにする。　本発明のオリフィス交換型圧力式流量制御装置は、流体供給用配管の接続部を備えた入口側取付用ブロック（３９）と流体取出用配管の接続部を備えた出口側取付用ブロック（４３）との間に圧力式流量制御装置（Ａ）のコントロール弁（２）のバルブボディ（２３）を配設し、当該バルブボディ（２３）の流体入口側と前記入口側取付用ブロック（３９）とを、並びに前記バルブボディ（２３）の流体出口側と前記出口側取付用ブロック（４３）とを、夫々解離可能に気密状に連結することにより、前記コントロール弁（２）を通して気体が流通する流路を形成すると共に、前記バルブボディ（２３）の出口側に設けたガスケット型オリフィス挿入孔（４２ｃ）と出口側取付用ブロック（４３）のガスケット型オリフィス挿入孔（４３ｂ）との間に、圧力式流量制御装置（Ａ）のガスケット型オリフィス（３８）を着脱自在に挿着する構成とする。
摘要翻译：一种孔口可变压力型流量控制器，其能够通过在不拆卸和组装流量控制器的情况下容易地改变孔口而容易地改变控制流程。在流量控制器（A）中，控制阀（2）的阀体（23）设置在具有用于流体供给管的连接部分的入口侧安装块（39）和出口侧安装块（43）之间，具有用于流体取出管的连接部分，并且阀体（23）的流体入口侧可气密地连接到入口侧安装块（39），并且阀体（23）的流体出口侧可释放地连接气密到出口侧安装块（43）以形成允许气体通过控制阀（2）流过其中的流动通道。流量控制器（A）的垫圈型孔口（38）可拆卸地插入形成在阀体（23）的出口侧上的垫圈型孔插入孔（42c）和垫圈型孔插入孔（43b）之间出口侧安装块（43）。

3. 发明申请

WO2007026902A1 圧力センサを保有する流量制御装置を用いた流体供給系の異常検出方法审中-公开
标题翻译：使用流量传感器的流量控制装置检测流体供应系统异常的方法
公开(公告)号：WO2007026902A1
公开(公告)日：2007-03-08
申请号：PCT/JP2006/317390
申请日：2006-08-28
申请人：株式会社フジキン , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 松本篤諮
发明人：永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 松本篤諮
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G01F1/42 , G01M3/04
CPC分类号： G01F1/42 , F16K37/0091 , G05D7/0635
摘要：　流量制御装置を用いた流体供給系に組み込みされている複数のバルブの動作不良やシートリーク等の異常を、流体供給系の配管路からバルブを取り外しすることなしに、圧力センサを保有する流量制御装置の機能を用いて簡単且つ迅速、正確にチェックできるようにする。　具体的には、流量の設定機構と流量及び圧力の表示機構及び又は流量自己診断機構を備える圧力センサを保有する流量制御装置を備えた流体供給系において、前記流量制御装置並にその上流側又は下流側に設けた制御バルブの異常を、前記流量制御装置の前記圧力の表示値及び又は流量自己診断機構の診断値を用いて検出する。
摘要翻译：使用流量控制装置组装在流体供应系统中的阀的操作故障和阀座泄漏等异常可以简单，快速和准确地检查，而不需要从流体供应系统的桩线中移除它们，流量控制装置具有压力传感器。在具有设置有具有流量设定机构的压力传感器和流量/压力显示机构和/或流量自诊断机构的流量控制装置的流体供给系统中，流量控制的异常使用流量控制装置的压力显示值和/或流量自诊断机构的诊断值来检测流量控制装置的上游侧或下游侧的装置和控制装置。

4. 发明申请

WO2004092688A1 耐食金属製熱式質量流量センサとこれを用いた流体供給機器审中-公开
标题翻译：耐腐蚀金属的热式流量传感器及其使用的流体供应设备
公开(公告)号：WO2004092688A1
公开(公告)日：2004-10-28
申请号：PCT/JP2004/001519
申请日：2004-02-12
申请人：株式会社フジキン , 池田信一 , 平田薫 , 西野功二 , 土肥亮介
发明人：池田信一 , 平田薫 , 西野功二 , 土肥亮介
IPC分类号： G01F1/68
CPC分类号： G01F1/6845
摘要：　熱式質量流量センサの耐食性を高めると共に、応答性の向上、パーティクルフリー及び製品品質のバラツキの防止等を可能にした耐食金属製熱式質量流量センサとこれを用いた流体供給機器を提供するものである。　具体的には、熱式質量流量センサを、耐食性金属材料Ｗの裏面側に電解エッチングを施して薄板に形成した耐食性金属基板２及び当該耐食性金属基板２の裏面側に設けた温度センサ３と加熱用ヒータ４を形成する薄膜Ｆから成るセンサ部１と、取り付け溝１３ａ内へ嵌合した前記センサ部１の耐食性金属基板２の外周縁をレーザ溶接により気密状に固着したセンサベース１３とから構成する。
摘要翻译：由耐腐蚀金属制成的热式质量流量传感器，提高热式质量流量传感器的耐腐蚀性，提高响应性，并且使得可以免于颗粒，防止产品质量的变化等; 和使用其的流体供应设备。具体而言，热式质量流量传感器由通过电解蚀刻在耐蚀金属材料（W）的背面上形成为薄片的耐腐蚀金属基板（2）的传感器（1）构成，以及形成温度传感器（3）的薄膜（F）和设置在耐腐蚀金属基板（2）的背面上的加热器（4），以及通过激光焊接外壳安装在安装槽（13a）中的传感器（1）的耐腐蚀金属基板（2）的外周面。

5. 发明申请

WO2007083439A1 ノーマルオープン型の圧電素子駆動式金属ダイヤフラム型制御弁审中-公开
标题翻译：由压电元件驱动的正常开启的金属膜片控制阀
公开(公告)号：WO2007083439A1
公开(公告)日：2007-07-26
申请号：PCT/JP2006/323050
申请日：2006-11-13
申请人：株式会社フジキン , 松本篤諮 , 平田薫 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
发明人：松本篤諮 , 平田薫 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西野功二
IPC分类号： F16K31/02 , F16K7/14
CPC分类号： F16K24/04 , F16K7/14 , F16K31/004 , F16K31/007 , F16K51/02
摘要： A normal-open metal diaphragm control valve driven by a piezoelectric element, capable of accurate and stable flow rate control even under high temperature environments and enabling adjustment of a compressive force applied to the piezoelectric element to be made without disassembling the control valve. Specifically, the control valve has a body (7) in which a valve chamber (7a') and a valve seat (7c) are formed, a metal diaphragm (8) disposed in the valve chamber (7a') and abutted to and separated from the valve seat (7c), an actuator box (10) secured to the body (7), the piezoelectric element (13) disposed in the actuator box (10) and extended downward by application of a voltage thereto to press the metal diaphragm (8) through a metal diaphragm retainer (12), a disc spring mechanism (14) for absorbing the extension of the piezoelectric element (13) when the metal diaphragm (8) abuts to the valve seat (7c) and applying a predetermined pressure to the valve seat (7c), and a preload mechanism (21) always applying an upward compressive force to the piezoelectric element (13) and capable of adjusting the compressive force applied to the piezoelectric element (13) from the outside.
摘要翻译：一种由压电元件驱动的常开金属隔膜控制阀，即使在高温环境下也能够精确稳定的流量控制，并且能够调节施加到压电元件上的压缩力而不拆卸控制阀。具体而言，控制阀具有形成有阀室（7a'）和阀座（7c）的主体（7），配置在阀室（7a'）内的金属隔膜（8）从所述阀座（7c），固定到所述主体（7）的致动器箱（10），设置在所述致动器箱（10）中的所述压电元件（13）并且通过施加电压向下延伸以将所述金属隔膜（8）通过金属隔膜保持器（12），盘弹簧机构（14），用于当金属隔膜（8）抵靠阀座（7c）并且施加预定压力时吸收压电元件（13）的延伸到阀座（7c），并且预压机构（21）总是向压电元件（13）施加向上的压缩力，并且能够调节从外部施加到压电元件（13）的压缩力。

6. 发明申请

WO2005080925A1 耐食金属製流体用センサ及びこれを用いた流体供給機器审中-公开
标题翻译：使用相同的防静电金属和流体供应装置的流体传感器
公开(公告)号：WO2005080925A1
公开(公告)日：2005-09-01
申请号：PCT/JP2005/000266
申请日：2005-01-13
申请人：株式会社フジキン , 平田薫 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介
发明人：平田薫 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介
IPC分类号： G01F1/68
CPC分类号： G01L19/0023 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , Y10T137/7761
摘要：　本発明は、熱式質量流量センサの耐食性を高めると共に、圧力変動に対する測定精度の安定化、応答性の向上、パーティクルフリー、製品品質のバラツキの防止及び圧力測定等を可能にした耐食金属製流体用センサと、これを用いた流体供給機器を提供するものである。　具体的には、本発明の耐食金属製流体用センサは、耐食性金属基板２と、当該耐食性金属基板２の接流体表面の裏面側に設けた温度センサ３ａと加熱用ヒータ３ｂとを形成する薄膜から成る質量流量センサ部１と、耐食性金属基板２の接流体表面の裏面側に設けた歪みセンサ素子４ａを形成する薄膜から成る圧力センサ部４とを備え、流体の質量流量及び圧力を計測するように構成されている。
摘要翻译：防腐金属的流体传感器包括具有增强的防腐性的热质量流量传感器。测量精度对压力变化稳定，响应提高，传感器无颗粒，防止产品质量变化，可进行压力测量。还公开了使用该流体传感器的流体供应装置。具体地说，流体传感器包括防锈金属基体（2），由形成温度传感器（3a）的薄膜和设置在与前侧相反的背侧的加热器（3b）构成的质量流量传感器部分（1）和由形成应变传感器元件（4a）的薄膜构成的压力传感器部（4）的压力传感器部（4），所述应变传感器元件（4a）设置在与所述防腐蚀金属基板（2）的前侧相反的背侧，防锈金属基板（2）的接触体。该流体传感器用于测量流体的质量流量和压力。

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