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1. 发明申请

WO2007001041A1 流量レンジ可変型流量制御装置审中-公开
标题翻译：可变流量范围流量控制装置
公开(公告)号：WO2007001041A1
公开(公告)日：2007-01-04
申请号：PCT/JP2006/312952
申请日：2006-06-22
申请人：株式会社フジキン , 国立大学法人東北大学 , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 斎藤雅仁 , 日野昭一 , 嶋津強 , 三浦和幸 , 西野功二 , 永瀬正明 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 土肥亮介 , 広瀬隆 , 篠原努 , 池田信一 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
发明人：大見忠弘 , 斎藤雅仁 , 日野昭一 , 嶋津強 , 三浦和幸 , 西野功二 , 永瀬正明 , 杉田勝幸 , 平田薫 , 土肥亮介 , 広瀬隆 , 篠原努 , 池田信一 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D7/00 , G01F1/00 , G01F1/42 , G01F7/00
CPC分类号： G05D7/0641 , G01F1/363 , G01F1/6842 , G01F1/6847 , G01F5/005 , G01F7/005 , G05D7/0635 , G05D7/0647 , G05D23/1927 , Y10T137/0379 , Y10T137/7759 , Y10T137/776 , Y10T137/8593 , Y10T137/86734 , Y10T137/86815 , Y10T137/87265 , Y10T137/87314 , Y10T137/8741 , Y10T137/87499 , Y10T137/87684
摘要：　１基の流量制御装置によって、より広い流量域の流体の高精度な流量制御を可能とすることにより、流量制御装置の小型化と設備費の削減を図るようにしたものである。　具体的には、オリフィス上流側圧力Ｐ 1 及び又はオリフィス下流側圧力Ｐ 2 を用いて、オリフィス８を流通する流体の流量をＱｃ＝ＫＰ 1 （Ｋは比例定数）又はＱｃ＝ＫＰ 2 m （Ｐ 1 −Ｐ 2 ） n （Ｋは比例定数、ｍとｎは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置において、当該圧力式流量制御装置のコントロール弁の下流側と流体供給用管路との間の流体通路少なくとも二つ以上の並列状の流体通路とすると共に、前記各並列状の流体通路へ流体流量特性の異なるオリフィスを夫々介在させ、小流量域の流体の流量制御には一方のオリフィスへ前記小流量域の流体を流通させ、また大流量域の流体の流量制御には他方のオリフィスへ前記大流量域の流体を切換え流通させる。
摘要翻译：一种压力式流量控制装置，通过精确地控制在大流量范围内的流体的流动，能够减小尺寸和安装成本。具体地说，在孔口（8）中流动的流体的流量被计算为Qc = KP 1（K是比例因子）或Qc = KP <

2. 发明申请

WO2007023597A1 ガスケット型オリフィス及びこれを用いた圧力式流量制御装置审中-公开
标题翻译：垫片型式和压力型流量控制器使用相同
公开(公告)号：WO2007023597A1
公开(公告)日：2007-03-01
申请号：PCT/JP2006/309368
申请日：2006-05-10
申请人：株式会社フジキン , 国立大学法人東北大学 , 大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 篠原努 , 廣瀬隆 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
发明人：大見忠弘 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明 , 平田薫 , 杉田勝幸 , 篠原努 , 廣瀬隆 , 今井智一 , 吉田俊英 , 田中久士
IPC分类号： G05D7/06 , F16K27/00 , F16L55/00 , G01F1/42
CPC分类号： F16K27/003 , F16L55/02718 , G01F1/36 , G01F15/001 , G01F15/005 , G05D7/0635
摘要：　本発明は、圧力式流量制御装置を分解、組立することなしに、そのオリフィスを簡単に取り換えできるようにすることにより、制御流量の切換を容易に行えるようにする。　本発明のオリフィス交換型圧力式流量制御装置は、流体供給用配管の接続部を備えた入口側取付用ブロック（３９）と流体取出用配管の接続部を備えた出口側取付用ブロック（４３）との間に圧力式流量制御装置（Ａ）のコントロール弁（２）のバルブボディ（２３）を配設し、当該バルブボディ（２３）の流体入口側と前記入口側取付用ブロック（３９）とを、並びに前記バルブボディ（２３）の流体出口側と前記出口側取付用ブロック（４３）とを、夫々解離可能に気密状に連結することにより、前記コントロール弁（２）を通して気体が流通する流路を形成すると共に、前記バルブボディ（２３）の出口側に設けたガスケット型オリフィス挿入孔（４２ｃ）と出口側取付用ブロック（４３）のガスケット型オリフィス挿入孔（４３ｂ）との間に、圧力式流量制御装置（Ａ）のガスケット型オリフィス（３８）を着脱自在に挿着する構成とする。
摘要翻译：一种孔口可变压力型流量控制器，其能够通过在不拆卸和组装流量控制器的情况下容易地改变孔口而容易地改变控制流程。在流量控制器（A）中，控制阀（2）的阀体（23）设置在具有用于流体供给管的连接部分的入口侧安装块（39）和出口侧安装块（43）之间，具有用于流体取出管的连接部分，并且阀体（23）的流体入口侧可气密地连接到入口侧安装块（39），并且阀体（23）的流体出口侧可释放地连接气密到出口侧安装块（43）以形成允许气体通过控制阀（2）流过其中的流动通道。流量控制器（A）的垫圈型孔口（38）可拆卸地插入形成在阀体（23）的出口侧上的垫圈型孔插入孔（42c）和垫圈型孔插入孔（43b）之间出口侧安装块（43）。

3. 发明申请

WO2004113860A1 圧力センサ及び圧力制御装置並びに圧力式流量制御装置の自動零点補正装置审中-公开
标题翻译：压力传感器，压力控制器和压力型流量控制器的自动零点校正装置
公开(公告)号：WO2004113860A1
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：PCT/JP2004/008118
申请日：2004-06-10
申请人：株式会社フジキン , 大見忠弘 , 杉山一彦 , 日野昭一 , 高橋栄治 , 三枝慎 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己 , 杉田勝幸
发明人：大見忠弘 , 杉山一彦 , 日野昭一 , 高橋栄治 , 三枝慎 , 池田信一 , 西野功二 , 土肥亮介 , 上野山豊己 , 杉田勝幸
IPC分类号： G01L19/02
CPC分类号： G01L19/02 , G01L9/065 , G01L19/0023 , G05D7/0635
摘要：　圧力センサの経時零点ドリフトを自動補正して、その使用期間に拘わらず圧力を正確に検出できるようにした圧力センサと、これを用いた圧力制御装置及び流量制御装置を提供するものである。　具体的には、流体圧力を測定する半導体感圧素子を用いた圧力センサに於いて、圧力センサからのセンサ出力電圧を増幅器を通して外部へ出力すると共に、前記センサ出力電圧をＤ／Ａ変換器を通して圧力センサの経時零点ドリフト補正手段へ入力し、当該経時零点ドリフト補正手段のセンサ出力判定手段に於いて前記センサ出力電圧が設定値より大きいか否かを判定し、更に前記経時零点ドリフト補正手段の作動条件判定手段に於いて圧力センサの作動条件を判定し、前記センサ出力電圧が設定値より大きく且つ圧力センサの作動条件が予かじめ設定した作動条件下にあるときは、Ｄ／Ａ変換器を通して前記センサ出力電圧と同一電圧で且つ逆極性の零点補正用電圧を前記増幅器のオフセット端子へ入力し、圧力センサの経時零点ドリフトを消去する。

4. 发明申请

WO2005068886A1 流体通路のウォータハンマーレス開放方法及びこれを用いた薬液供給方法並びにウォータハンマーレス開放装置审中-公开
标题翻译：用于无水通道的无水开放方法，使用该方法的化学供应方法和无水开式装置
公开(公告)号：WO2005068886A1
公开(公告)日：2005-07-28
申请号：PCT/JP2005/000264
申请日：2005-01-13
申请人：株式会社フジキン , 大見忠弘 , 西野功二 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西村龍太郎
发明人：大見忠弘 , 西野功二 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 池田信一 , 西村龍太郎
IPC分类号： F16K47/00
CPC分类号： F16K47/02 , Y10T137/0324 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7842 , Y10T137/86389 , Y10T137/86397 , Y10T137/86461
摘要：　極く簡単な装置や操作により、ウォータハンマーを生ずることなしに、しかも短時間内に、流体通路を急開放できるようにする。　流体通路に介設したアクチエータ作動式バルブと、アクチエータ作動式バルブへ二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａを供給する電空変換装置と、前記アクチエータ作動式バルブの上流側管路に着脱自在に固着した振動センサと、振動センサにより検出した振動検出信号Ｐｒが入力されると共に、電空変換装置へ前記二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａのステップ作動圧Ｐｓ′の大きさを制御する制御信号Ｓｃを出力し、当該制御信号Ｓｃの調整により電空変換装置から振動検出信号Ｐｒがほぼ零となるステップ作動圧Ｐｓ′の二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａを出力させるチューニングボックスと、からウォータハンマーレス開放装置を構成する。
摘要翻译：可以通过简单的装置和操作在短时间内快速打开流体通道而不引起水锤。无水锤打开装置包括：致动器操作阀，布置在流体通道上; 用于向致动器操作阀提供两级致动器操作压力Pa的电动气动转换装置; 可拆卸地固定在致动器操作阀的管的上游侧的振动传感器; 以及调谐箱，用于接收由振动传感器检测到的振动检测信号Pr，输出用于将两状态致动器操作压力Pa的阶跃操作压力Ps的值控制到电动气动转换装置的控制信号Sc，并输出通过调整控制信号Sc，来自电动气动转换装置的振动检测信号Pr的阶梯操作压力Ps'的两级致动器操作压力Pa变为几乎为零。

5. 发明申请

WO2004066048A1 クラスター化する流体の流量制御方法及びこれに用いるクラスター化する流体用の流量制御装置审中-公开
标题翻译：用于聚集流体的流量控制方法和用于聚集流体的流量控制装置
公开(公告)号：WO2004066048A1
公开(公告)日：2004-08-05
申请号：PCT/JP2004/000346
申请日：2004-01-16
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 杉山一彦 , 水澤兼悦 , 高橋栄治 , 宇野富雄 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明
发明人：大見忠弘 , 杉山一彦 , 水澤兼悦 , 高橋栄治 , 宇野富雄 , 西野功二 , 土肥亮介 , 池田信一 , 永瀬正明
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： H01L21/67023 , G05D7/0635 , Y10T137/6416 , Y10T137/6606 , Y10T137/7761
摘要：　圧力式流量制御装置を用いて、真空チャンバ等へ供給するＨＦガス等のクラスター化する流体を、３～３００ＳＣＣＭ程度の流量範囲について、高精度で流量制御できるようにしたものである。　具体的には、オリフィス上流側のガスの圧力Ｐ１　とオリフィス下流側のガスの圧力Ｐ２　との比Ｐ２　／Ｐ１　を気体の臨界圧力比以下に保持した状態でオリフィスを流通するガスの流量ＱをＱ＝ＫＰ１　（但しＫは定数）として演算するようにした圧力式流量制御装置を用いたクラスター化する流体の流量制御方法に於いて、前記圧力式流量制御装置を４０℃以上の温度に加温するか、或いはクラスター化する流体に希釈ガスを加えて分圧以下にすることにより、分子の会合を解離させ、その後単分状態にしたクラスター化する流体を前記オリフィスを通して流通させる。
摘要翻译：使用压力式流量控制装置，可以在大约3-300SCCM的流量范围内高精度地控制诸如HF气体的聚集流体的流量被提供给真空室等。具体而言，使用压力型流量控制装置控制流量的聚集流体的流量的方法，其中计算流过孔口的气体的流量Q为Q = KP1（K为常数），比例为P2 / 保持高达气体的临界压力比的孔 - 上游侧气体压力P1和下游侧气体压力P2之间的P1，其中压力型流量控制装置被加热至至少40℃，或聚集添加稀释气体至最高分压，从而允许通过解离分子缔合产生的聚集流体，然后使其保持在单分子状态，流过孔口。

6. 发明申请

WO2004057432A1 流体通路の閉鎖方法とこれに用いるウォータハンマーレスバルブ装置及びウォータハンマーレス閉鎖装置审中-公开
标题翻译：封闭流体通道，无水阀和水无缝闭合装置的方法
公开(公告)号：WO2004057432A1
公开(公告)日：2004-07-08
申请号：PCT/JP2003/016287
申请日：2003-12-18
申请人：株式会社フジキン , 大見忠弘 , 池田信一 , 西野功二 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 西村龍太郎
发明人：大見忠弘 , 池田信一 , 西野功二 , 永瀬正明 , 土肥亮介 , 西村龍太郎
IPC分类号： G05D16/02
CPC分类号： F16K47/02 , F16K47/023 , F16L55/043 , Y10T137/0324 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/86461
摘要：　極く簡単な装置や操作により、ウォータハンマーを生ずることなしに、しかも短時間内に、流体通路を緊急閉鎖できるようにする。　そのため、流体通路に介設したアクチエータ作動式バルブとアクチエータ作動式バルブへ二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａを供給する電空変換装置と、前記アクチエータ作動式バルブの上流側管路に着脱自在に固着した振動センサと、振動センサにより検出した振動検出信号Ｐｒが入力されると共に電空変換装置へ前記二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａのステップ作動圧Ｐｓ′の大きさを制御する制御信号Ｓｃを出力し、当該制御信号Ｓｃの調整により電空変換装置から振動検出信号Ｐｒがほぼ零となるステップ作動圧Ｐｓ′の二段階状のアクチエータ作動圧Ｐａを出力させるチューニングボックスとから、ウォータハンマーレス閉鎖装置を構成する。
摘要翻译：流体通道在短时间内紧急关闭，而不会通过非常简单的装置或操作引起水锤。无水锤关闭装置包括设置在流体通道中的致动器操作阀和用于向致动器操作阀提供两步致动器工作压力Pa的电动气动转换器，可拆卸地固定到上游侧管道的振动传感器执行器操作动作阀的线以及从振动传感器接收振动检测信号Pr的调谐箱，并输送用于控制两步致动器工作压力Pa的阶梯式工作压力Ps'的大小的控制信号Sc 并且调节控制信号Sc以提供步进工作压力Ps'的两步致动器工作压力Pa，以使振动检测信号Pr从电动气动转换器基本上达到零。

7. 发明申请

WO2005033817A1 チャンバの内圧制御装置及び内圧被制御式チャンバ审中-公开
标题翻译：用于控制室内压力和内压控制室的装置
公开(公告)号：WO2005033817A1
公开(公告)日：2005-04-14
申请号：PCT/JP2004/013368
申请日：2004-09-14
申请人：株式会社フジキン , 大見忠弘 , 寺本章伸 , 宇野富雄 , 土肥亮介 , 西野功二 , 中村修 , 松本篤諮 , 永瀬正明 , 池田信一
发明人：大見忠弘 , 寺本章伸 , 宇野富雄 , 土肥亮介 , 西野功二 , 中村修 , 松本篤諮 , 永瀬正明 , 池田信一
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D16/208 , Y10T137/7761 , Y10T137/8741 , Y10T137/87507
摘要：　流量の制御精度が小流量域で大幅に低下するのを防止し、全流量制御域に亘って高精度な流量制御を可能とすることにより、チャンバへ供給するガス流量を調整してチャンバ内圧を広範囲に亘って高精度で制御する。　具体的には、並列状に接続した複数基の圧力式流量制御装置と、複数基の圧力式流量制御装置の作動を制御する制御装置とから形成され、真空ポンプにより排気されたチャンバへ所望のガスを流量制御しつつ供給するチャンバへのガス供給装置に於いて、一基の圧力式流量制御装置をチャンバへ供給する最大流量の多くとも１０％までのガス流量域を制御する装置に、残余の圧力式流量制御装置を残りのガス流量域を制御する装置とし、更にチャンバに圧力検出器を設けると共に当該圧力検出器の検出値を制御装置へ入力し、圧力式流量制御装置への制御信号を調整してチャンバへのガス供給量を制御することにより、チャンバ内圧を制御する。
摘要翻译：在低流量区域防止流量控制精度降低，从而能够对整个流量控制区域进行高精度的流量控制。由此，通过调节供给到室的气体的流量，可以在宽范围内高精度地控制室内压力。一种用于将气体供给到室的气体供给装置，其中该装置由并联连接的压力型流量控制装置和用于控制流量控制装置并输送所需气体的控制装置同时控制流量，到由真空泵脱气的室。气体供给装置被构造成使得压力型流量控制装置之一控制供给到室的最大流量的最大值的10％的气体流量范围，并且剩余流量控制装置控制剩余范围。此外，压力检测器安装在室中，并且来自检测器的检测值被输入到控制装置中。对压力式流量控制装置的控制信号进行调节，以控制供给室的气体量，控制室内压力。

8. 发明申请

WO2005003694A1 差圧式流量計及び差圧式流量制御装置审中-公开
标题翻译：差压式流量计和差压式流量计控制器
公开(公告)号：WO2005003694A1
公开(公告)日：2005-01-13
申请号：PCT/JP2004/008596
申请日：2004-06-18
申请人：株式会社フジキン , 大見忠弘 , 杉山一彦 , 宇野富雄 , 池田信一 , 西野功二 , 中村修 , 土肥亮介 , 松本篤諮
发明人：大見忠弘 , 杉山一彦 , 宇野富雄 , 池田信一 , 西野功二 , 中村修 , 土肥亮介 , 松本篤諮
IPC分类号： G01F1/42
CPC分类号： G01F1/50 , G01F1/42 , G05D7/0635
摘要：　差圧式流量計の構造を簡素化して製造コストの引下げを図ると共に、１００％～１％の広い流量範囲に亘って誤差Ｅが（１％ＳＰ）以下の高精度な流量計測をリアルタイムに且つインライン状態で行えるようにする。　そのため、オリフィスと、オリフィス上流側の圧力Ｐ 1 の検出器と、オリフィス下流側の流体圧力Ｐ 2 の検出器と、オリフィス上流側の流体温度Ｔの検出器と、前記各検出器からの検出圧力Ｐ 1 、Ｐ 2 及び検出温度Ｔを用いてオリフィスを流通する流体流量Ｑを演算する制御演算回路とからなる差圧式流量計に於いて、前記流体流量ＱをＱ＝Ｃ 1 ・Ｐ 1 ／√Ｔ・（（Ｐ 2 ／Ｐ 1 ） m −（Ｐ 2 ／Ｐ 1 ） n ） 1/2 （但しＣ 1 は比例定数、ｍ及びｎは定数）により演算する。
摘要翻译：可以通过简化结构和降低流量的高精度测量来降低生产成本的差压式流量计可以在线性状态下实时地进行，在宽的流动下，误差E不大于（1％SP））率范围为100％-1％。差压式流量计包括孔口，孔口上游侧的压力P1检测器，孔口下游侧的压力检测器P2，孔口上游侧的流体温度T检测器，以及控制操作电路，用于通过检测压力P1和P2以及来自各个检测器的检测温度T来操作通过孔的流体的流量Q，其中流体的流量Q根据以下表达式操作; Q = C1.P1 /√T（（P2 / P1） - （P2 / P1））1/2（其中，C1是比例常数，m和n是常数）。

9. 发明申请

WO2003058363A1 改良型圧力式流量制御装置审中-公开
标题翻译：先进的压力式流量控制装置
公开(公告)号：WO2003058363A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/JP2002/012250
申请日：2002-11-22
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本篤諮 , 杉山一彦 , 乾秀二郎 , 酒井泰治 , 植山将宜
发明人：大見忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本篤諮 , 杉山一彦 , 乾秀二郎 , 酒井泰治 , 植山将宜
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： An advanced pressure type flow control device capable of accurately controlling a flow by using an experimental flow expression established to accurately fit to the actual flow of compressible fluid in a non-critical area, wherein the experimental flow expression of the compressible fluid in the non-critical area non-sound velocity area is expressed as Qc = KP2m P1 - P2n, and the fluid flow passing through an orifice 4 is calculated by using the expression Qc = KP2m P1 - P2n K is a proportional constant, m and n are constants so that the flow can be accurately and rapidly controlled to a specified one, and a pressure ratio P2/P1 = r provided by an upstream side pressure P1 and a downstream side pressure P2 is always compared with a critical value rc and the flow is calculated by using an expression Qc = KP1 under the critical condition of r rc so that the flow can be accurately and rapidly controlled to the specified one in correspondence to all conditions of the fluid.
摘要翻译：一种先进的压力型流量控制装置，其能够通过使用建立以准确地适应非关键区域中的可压缩流体的实际流动的实验流程表来精确地控制流量，其中可压缩流体在非关键区域中的实验流量表达，临界面非声速区域表示为Qc = KP2m P1-P2n，并且通过使用表达式Qc = KP2m P1-P2n计算通过孔口4的流体流量，K是比例常数，m和n是常数流量可以精确而快速地控制到指定的流量，并且由上游侧压力P1和下游侧压力P2提供的压力比P2 / P1 = r始终与临界值rc进行比较，流量由在r> rc的非临界条件下，在r <= rc的临界条件下使用表达式Qc = KP1，并且在r> rc的非临界条件下使用表达式Qc = KP2m P1-P2n，使得流动可以被精确和快速地控制到指定的一个对应于流体的所有条件。

10. 发明申请

WO2003058187A1 圧力センサ、圧力制御装置及び圧力式流量制御装置の温度ドリフト補正装置审中-公开
标题翻译：压力传感器，压力控制器和压力型流量控制器的温度变送器
公开(公告)号：WO2003058187A1
公开(公告)日：2003-07-17
申请号：PCT/JP2002/012251
申请日：2002-11-22
申请人：株式会社フジキン , 東京エレクトロン株式会社 , 大見忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本篤諮 , 杉山一彦
发明人：大見忠弘 , 宇野富雄 , 中村修 , 池田信一 , 土肥亮介 , 西野功二 , 松本篤諮 , 杉山一彦
IPC分类号： G01L19/04
CPC分类号： G05D7/0635 , G01D3/022 , G01F1/50 , G01F15/046 , G01L9/025
摘要： A pressure sensor, a pressure controller and a flow controller in which the pressure can be detected accurately regardless of temperature variation by correcting temperature drift of the pressure sensor automatically. The temperature drift corrector of a pressure type flow controller comprises an upstream side pressure sensor (10) interposed between an orifice (4) and a control valve (22) and detecting the upstream side pressure P 1 . The pressure type flow controller for controlling flow rate at the orifice (4) by opening/closing the control valve (22) while operating the flow rate at the orifice (4) based on the upstream side pressure P 1 comprises a temperature sensor (14) for measuring the fluid temperature, a memory means (64) for storing the relation between the fluid temperature T and the output drift of the upstream side pressure sensor (10), and means for correcting temperature drift by operating the output drift of the upstream side pressure sensor (10) from the data of the memory means (64) when the fluid temperature T is varied and eliminating the output drift of the upstream side pressure sensor (10) by the output drift thus operated. According to the arrangement, temperature drift of the pressure sensor is corrected automatically and accurate flow control is ensured.
摘要翻译：压力传感器，压力控制器和流量控制器，其中通过自动校正压力传感器的温度漂移，可以精确地检测压力，而不管温度变化如何。压力型流量控制器的温度漂移校正器包括介于孔口（4）和控制阀（22）之间的上游侧压力传感器（10），并且检测上游侧压力P 1> 1。压力型流量控制器，用于通过在基于上游侧压力P s1 包括用于测量流体温度的温度传感器（14），用于存储流体温度T和上游侧压力传感器（10）的输出漂移之间的关系的存储装置（64），以及用于校正温度漂移的装置当流体温度T变化时，操作上游侧压力传感器（10）的输出漂移与存储装置（64）的数据，并且消除上游侧压力传感器（10）的输出漂移，由此产生的输出漂移。根据该结构，自动校正压力传感器的温度漂移，并且确保精确的流量控制。

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