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    • 5. 发明申请
    • III族元素窒化物結晶製造装置およびIII族元素窒化物結晶製造方法
    • 用于生产III类元素氮化物的晶体的装置和用于生产III族元素的晶体的方法
    • WO2005103341A1
    • 2005-11-03
    • PCT/JP2005/008072
    • 2005-04-27
    • 松下電器産業株式会社森勇介峯本尚北岡康夫木戸口勲川村史朗佐々木孝友梅田英和高橋康仁
    • 森勇介峯本尚北岡康夫木戸口勲川村史朗佐々木孝友梅田英和高橋康仁
    • C30B9/00
    • C30B29/403C30B9/10C30B29/406C30B35/00Y10T117/1064Y10T117/1096
    •  高品質の結晶が製造可能なIII族元素窒化物結晶製造装置およびIII族元素窒化物結晶製造方法を提供する。  本発明の装置を用いた結晶成長は、例えば、以下のようにして行うことができる。反応容器(120)内に結晶原料(131)および窒素含有ガスを導入して加熱器(110)で加熱し、かつ加圧雰囲気下で結晶を成長させる。前記ガスは、ガス供給装置(180)から前記反応容器のガス導入口を通して前記反応容器(120)内に導入し、ついで、前記反応容器のガス排出口から耐圧容器(102)の内部に排出する。前記ガスが耐圧容器(102)を介さず反応容器(120)に直接導入するため、耐圧容器(102)等に付着した不純物の結晶成長の場への混入を防止できる。また、前記ガスが反応容器(120)内においてフローするため、蒸発したアルカリ金属等のガス導入口等での凝集やガス供給装置(180)等への流入等がない。これらの結果、得られるIII族元素窒化物結晶の品質を向上させることができる。
    • 用于生产III族元素氮化物的晶体的装置和用于制造III族元素氮化物的晶体的方法,通过该晶体可以生产高质量的晶体。 通过该装置的晶体生长可以例如以下述方式进行。 将晶体(131)和含氮气体的原料引入反应容器(120)中并通过加热器(110)加热,并在加压气氛中生长晶体。 上述气体从气体供给单元(180)通过反应容器的气体入口输送到反应容器(120)中,从反应容器的气体出口排出到压力容器(102)的内部。 由于上述气体直接通过导入反应容器(120)的压力容器(102),粘附在压力容器(102)等上的杂质混入到晶体生长领域 避免。 此外,当上述气体流过反应容器(120)的内部时,可以避免例如在气体入口等处的蒸发的碱金属等的冷凝和其进入气体供应单元( 180)等。结果,可以提高所获得的III族元素氮化物的晶体的质量。
    • 10. 发明申请
    • 音響光学素子及びそれを用いた光描画装置
    • 光学元件和光学绘图装置
    • WO2006003955A1
    • 2006-01-12
    • PCT/JP2005/011994
    • 2005-06-29
    • 松下電器産業株式会社峯本尚北岡康夫木戸口勲根上卓之高橋康仁西山寿美渋谷公彦
    • 峯本尚北岡康夫木戸口勲根上卓之高橋康仁西山寿美渋谷公彦
    • G02F1/33
    • G02F1/0072
    •  紫外領域の光でも利用可能で、レーザダメージや光損傷がなく、音響光学性能に優れる音響光学素子及びそれを用いた光描画装置を提供する。  本発明の音響光学素子は、高周波信号入力部(65)、トランスデューサ部(64)および音響光学媒体(6)を含み、前記高周波信号入力部(65)から入力した高周波信号を、前記トランスデューサ部(64)により機械振動に変換し、前記機械振動により前記音響光学媒体(6)の光学的な特性が変化する音響光学素子であって、前記音響光学媒体が、III族窒化物結晶であることを特徴とする。また、本発明の光描画装置は、光源、音響光学素子、駆動回路および描画面を有し、前記光源からの光が、前記駆動回路からの信号に応じて前記音響光学素子において回折され、その回折光が、前記描画面に描画される光描画装置であって、前記音響光学素子の音響光学媒体が、III族窒化物結晶であることを特徴とする。
    • 一种即使在紫外线区域也可以使用光的声光元件,没有激光损伤和光学损伤,并且具有优异的声光性能。 声光元件包括高频信号输入部分(65),换能器部分(64)和声光介质(6)。 从高频输入部(65)输入的高频信号由换能器部(64)转换为机械振动。 机械振动改变声光介质(6)的光学特性。 声光元件的特征在于声光介质是III族氮化物晶体。 光学绘图装置包括光源,声光元件,驱动电路和绘图屏。 根据来自驱动电路的信号,来自光源的光被声光元件衍射,并且衍射光被绘制在绘图屏上。 光学绘图装置的特征在于,声光元件的声光介质是III族氮化物晶体。