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    • 1. 发明申请
    • 기판 검사방법
    • 检查基板的方法
    • WO2012050378A2
    • 2012-04-19
    • PCT/KR2011/007630
    • 2011-10-13
    • 주식회사 고영테크놀러지이현기권달안전정열
    • 이현기권달안전정열
    • G01N21/93G01B11/00
    • G01N21/93G01B11/24G01N21/956
    • 본 발명은 측정대상물이 형성된 기판을 검사하는 방법에 관한 것으로, 본 발명에 따르면, 측정대상물이 형성된 기판을 측정하여 기판에 대한 평면 방정식을 생성하고, 기판에 형성된 측정대상물의 영역을 구한다. 이후, 측정대상물의 영역을 측정대상물의 높이를 고려하여 평면 방정식에 의한 기판면으로 변환한다. 이후, 평면 방정식에 의한 기판면으로 변환된 측정대상물의 영역과 기준 데이터에 의한 측정대상물의 영역을 기초로 측정대상물을 검사한다. 이와 같이, 측정대상물이 형성된 기판의 기울어진 자세에 따른 측정대상물의 옵셋값을 구하고 이를 통해 측정데이터의 왜곡을 보상함으로써, 측정데이터의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
    • 本发明涉及一种用于检查其上形成有待测物体的基板的方法,并且根据本发明,包括以下步骤:测量其上形成有被测量物体的基板以产生平面方程 为基材; 找到形成在基板上的被测量物体的面积; 考虑被测量物体的高度,使用平面方程将待测物体的面积转换为基板平面; 并根据被测量物体的面积,使用平面方程转换为基板平面,根据参考数据检查被测量物体的面积。 结果,从形成有被测量物体的基板的倾斜位置求出被测定物的偏移值,并利用该偏移值来补偿测量数据的失真,可提高测量对象的可靠性 待测物体的测量。