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    • 1. 发明申请
    • 太陽電池の製造方法および太陽電池の製造装置
    • 太阳能电池制造方法和太阳能电池制造设备
    • WO2010146698A1
    • 2010-12-23
    • PCT/JP2009/061135
    • 2009-06-18
    • 株式会社アルバック山室 和弘佐藤 誠一矢作 充湯山 純平中村 久三
    • 山室 和弘佐藤 誠一矢作 充湯山 純平中村 久三
    • H01L31/04
    • H01L31/03921H01L31/186Y02E10/50Y02P70/521
    •  この太陽電池の製造方法は、複数の区画素子(21,21s)を含み、互いに隣接する前記区画素子(21,21s)どうしが電気的に接続された光電変換体(12)を形成し、前記光電変換体(12)のうち、構造欠陥(R,A1,A2,A3)を有する前記区画素子(21s)を特定し、互いに隣接する前記区画素子(21,21s)どうしの間で複数個所の抵抗値を測定して得られる抵抗値の分布に基づき、前記区画素子内(21s)で前記構造欠陥の存在する領域(Z)を絞り込み、この絞り込まれた前記構造欠陥が存在する前記領域(Z)内を画像撮像部(24)によって撮像し、得られた画像から前記構造欠陥の位置を正確に特定することにより、前記区画素子(21s)内で前記構造欠陥が存在する部位を限定し、前記構造欠陥が存在する部位にレーザー光線を照射し前記構造欠陥を除去する。
    • 提供一种太阳能电池制造方法,包括:形成包含多个部分元件(21,21s)的光电转换体(12)的步骤,其中相邻的部分元件(21,21s)电连接; 用于识别在光电转换体(12)中具有结构缺陷(R,A1,A2,A3)的截面元件(21s)的步骤; 根据通过测量相邻部分元件(21,21s)之间的多个位置处的电阻值而获得的电阻值的分布,使包含结构缺陷的部分元件(21s)内的区域(Z)变窄的步骤; 用于通过成像单元(24)对包含结构缺陷的变窄区域(Z)进行成像的步骤; 以及用于准确地识别所获得的图像中的结构缺陷的位置的步骤。 因此,可以通过在包含结构缺陷的部分施加激光来限制在部件(21s)内部存在结构缺陷的部分并去除结构缺陷。
    • 6. 发明申请
    • 真空排気装置および真空排気装置の運転方法
    • 真空泵系统和真空泵系统的运行方法
    • WO2003023229A1
    • 2003-03-20
    • PCT/JP2002/009048
    • 2002-09-05
    • 株式会社アルバック柴山 浩司山下 祐一矢作 充田島 孝彦相川 純一田中 智成菅家 幸雄深浦 裕治
    • 柴山 浩司山下 祐一矢作 充田島 孝彦相川 純一田中 智成菅家 幸雄深浦 裕治
    • F04C23/00
    • F04C23/001F04C2220/12F16K15/042
    • Pairs of rotors R1, R2, R3, R4, R5 and R6 driven rotationally by a motor 22 are disposed in the body 21 of a main pump 20 comprising a multistage Roots dry vacuum pump. A suction opening 23 communicating with the rotor chamber of the rotor R1 is provided in the upper wall part at the left end of the body 21, a delivery section 24 communicating with the delivery side of the rotor chamber of the rotor R6 on the final stage is coupled to an exhaust pipe 25 provided with a silencer 26 and further coupled to a check valve 28 through a pipe 27. The check valve 28 has its forward direction toward the atmospheric side. The delivery section 24 or a delivery section 24' at the intermediate stage is coupled to an auxiliary pump 30 having an exhaust capacity smaller than that of the main pump 20. When the motor 22 is driven, gas exhausted through rotation of the rotors R1-R6 is carried sequentially to the downstream side from the rotor chambers and a vacuum processing chamber coupled to the suction opening 23 is exhausted. The delivery section 24 on the final stage is exhausted by driving the auxiliary pump 30, and the pressure is reduced. Consequently, the burden of the exhaust action on the rotor R6 on the final stage or the rotor R5on the intermediate stage is lightened, and the power consumption of the motor 22 can be reduced significantly as compared with the prior art.
    • 由马达22旋转驱动的转子R1,R2,R3,R4,R5和R6设置在包括多级罗茨干式真空泵的主泵20的主体21中。 在主体21的左端部的上壁部设置有与转子R1的转子室连通的吸入口23,与最终级的转子R6的转子室的输出侧连通的输送部24 连接到设置有消音器26的排气管25,并且还通过管道27联接到止回阀28.止回阀28具有朝向大气侧的向前方向。 在中间阶段的输送部分24或输送部分24'联接到排气容量小于主泵20的排放能力的辅助泵30.当马达22被驱动时,通过转子R1- R6从转子室顺序地运送到下游侧,并且与抽吸口23连接的真空处理室被排出。 通过驱动辅助泵30,最后一级的输送部分24被排出,并且压力降低。 因此,与现有技术相比,在最终级的转子R6或中间级的转子R5上的排气作用的负担被减轻,与现有技术相比,马达22的功率消耗可以显着降低。
    • 9. 发明申请
    • ステージ装置
    • 阶段装置
    • WO2009028526A1
    • 2009-03-05
    • PCT/JP2008/065244
    • 2008-08-27
    • 株式会社アルバック田中 保三湯山 純平矢作 充南 展史高橋 誠伊藤 慎也
    • 田中 保三湯山 純平矢作 充南 展史高橋 誠伊藤 慎也
    • H01L21/68B05C5/00B23Q1/00
    • B65G7/04
    •  本設置場所での位置合わせが容易なステージ装置を提供する。台車(22)上に副ベース板(21)が配置された架台(25)を乗せて副載置台(20a~20d)を構成し、台車(22)で副ベース板(21)を移動させ、架台(25)を主ベース板(11)を有する主載置台(10)に固定する。副載置台(20a~20d)に設けた調整機構(30)によって、主ベース板(11)副ベース板と(21)を位置合わせする。主載置台(10)と副載置台(20a~20d)には、主位置決め部材(16)と副位置決め部材(24 1 、24 2 )が設けられているので、位置合わせ状態が復元できるようにして分離することができる。従って搬送した後、組み立てる際に、位置合わせが容易である。
    • 提供了一种可以容易地定位在实际安装地点的平台装置。 具有布置在其上的辅助基板(21)的框架(25)放置在托架(22)上,从而构成辅助放置台(20a至20d)​​。 辅助基板(21)由托架(22)移动,框架(25)固定在具有主底板(11)的主放置台(10)上。 通过安装在辅助放置台(20a至20d)​​上的调节机构(30),主底板(11)和辅助底板(21)彼此定位。 主放置台(10)和辅助放置台(20a〜20d)配备有主定位构件(16)和辅助定位构件(241和242),使得它们可以如此分离以恢复定位状态。 结果,主载置台(10)和辅助放置台(20a〜20d)在承载后组装时可以容易地彼此定位。