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1. 发明申请

WO2003023229A1 真空排気装置および真空排気装置の運転方法审中-公开
标题翻译：真空泵系统和真空泵系统的运行方法
公开(公告)号：WO2003023229A1
公开(公告)日：2003-03-20
申请号：PCT/JP2002/009048
申请日：2002-09-05
申请人：株式会社アルバック , 柴山浩司 , 山下祐一 , 矢作充 , 田島孝彦 , 相川純一 , 田中智成 , 菅家幸雄 , 深浦裕治
发明人：柴山浩司 , 山下祐一 , 矢作充 , 田島孝彦 , 相川純一 , 田中智成 , 菅家幸雄 , 深浦裕治
IPC分类号： F04C23/00
CPC分类号： F04C23/001 , F04C2220/12 , F16K15/042
摘要： Pairs of rotors R1, R2, R3, R4, R5 and R6 driven rotationally by a motor 22 are disposed in the body 21 of a main pump 20 comprising a multistage Roots dry vacuum pump. A suction opening 23 communicating with the rotor chamber of the rotor R1 is provided in the upper wall part at the left end of the body 21, a delivery section 24 communicating with the delivery side of the rotor chamber of the rotor R6 on the final stage is coupled to an exhaust pipe 25 provided with a silencer 26 and further coupled to a check valve 28 through a pipe 27. The check valve 28 has its forward direction toward the atmospheric side. The delivery section 24 or a delivery section 24' at the intermediate stage is coupled to an auxiliary pump 30 having an exhaust capacity smaller than that of the main pump 20. When the motor 22 is driven, gas exhausted through rotation of the rotors R1-R6 is carried sequentially to the downstream side from the rotor chambers and a vacuum processing chamber coupled to the suction opening 23 is exhausted. The delivery section 24 on the final stage is exhausted by driving the auxiliary pump 30, and the pressure is reduced. Consequently, the burden of the exhaust action on the rotor R6 on the final stage or the rotor R5on the intermediate stage is lightened, and the power consumption of the motor 22 can be reduced significantly as compared with the prior art.
摘要翻译：由马达22旋转驱动的转子R1，R2，R3，R4，R5和R6设置在包括多级罗茨干式真空泵的主泵20的主体21中。在主体21的左端部的上壁部设置有与转子R1的转子室连通的吸入口23，与最终级的转子R6的转子室的输出侧连通的输送部24 连接到设置有消音器26的排气管25，并且还通过管道27联接到止回阀28.止回阀28具有朝向大气侧的向前方向。在中间阶段的输送部分24或输送部分24'联接到排气容量小于主泵20的排放能力的辅助泵30.当马达22被驱动时，通过转子R1- R6从转子室顺序地运送到下游侧，并且与抽吸口23连接的真空处理室被排出。通过驱动辅助泵30，最后一级的输送部分24被排出，并且压力降低。因此，与现有技术相比，在最终级的转子R6或中间级的转子R5上的排气作用的负担被减轻，与现有技术相比，马达22的功率消耗可以显着降低。

2. 发明申请

WO2009123039A1 太陽電池の製造方法および太陽電池の製造装置审中-公开
标题翻译：太阳能电池制造方法和太阳能电池制造设备
公开(公告)号：WO2009123039A1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：PCT/JP2009/056247
申请日：2009-03-27
申请人：株式会社アルバック , 山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
发明人：山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
IPC分类号： H01L31/04 , G01R31/00
CPC分类号： H01L31/208 , H01L31/046 , H02S50/10 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：　この太陽電池の製造方法は、複数の区画素子（２１，２１ｓ）を含み、互いに隣接する前記区画素子（２１，２１ｓ）どうしが電気的に接続された光電変換体（１２）を形成し、前記光電変換体（１２）のうち、構造欠陥を有する区画素子（２１ｓ）を特定し、互いに隣接する区画素子（２１，２１ｓ）どうしの間で複数個所の抵抗値を測定して得られる抵抗値の分布から欠陥部位を特定することにより、前記区画素子（２１ｓ）内で前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）が存在する部位を限定し、前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）が存在する部位にバイアス電圧を印加して前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）を除去する。
摘要翻译：公开了一种太阳能电池的制造方法，其中形成有包括多个隔室元件（21,21s）的光电转换器（12），并且其中相邻的上述隔间元件（21,21s）彼此电连接。在上述光电转换器（12）内，规定具有结构缺陷的隔室元件（21s），并且通过基于通过测量相互相邻的隔间元件（21,22）之间的多个位置处的电阻值而获得的电阻值的分布来指定缺陷位置， 21s）中规定了在上述隔室元件（21s）内存在结构缺陷（R，A1，A2，A3）的位置，并且将偏置电压施加到上述结构缺陷（R，A1， A2，A3）以消除上述结构缺陷（R，A1，A2，A3）。

3. 发明申请

WO2009060855A1 貼合せ基板製造装置および貼合せ基板製造方法审中-公开
标题翻译：接合基板制造设备和接合基板制造方法
公开(公告)号：WO2009060855A1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：PCT/JP2008/070114
申请日：2008-11-05
申请人：株式会社アルバック , 佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
发明人：佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
IPC分类号： B29C65/00 , B30B15/00 , B65G49/06 , G02F1/13 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67092 , B32B37/10 , B65G49/061 , B65G49/064 , B65G2249/02 , B65G2249/045
摘要：　上基板と下基板とを位置合わせしつつ貼り合わせて貼合せ基板を製造する貼合せ基板製造装置であって：前記下基板を載置するベース部と；このベース部に立設された支持棒と；この支持棒に沿って上下移動可能であり、かつ、前記上基板を保持可能な上加圧部材と；を備え、前記上加圧部材を下降させることにより、前記上加圧部材に保持された前記上基板と前記ベース部に載置された前記下基板とが貼り合わせられることを特徴とする。
摘要翻译：公开了一种用于通过在使上基板和下基板彼此对准的同时接合上基板和下基板来制造接合基板的接合基板制造装置。该装置设有用于放置下基板的基部，直立设置在基部上的支撑杆，以及能够沿着支撑杆垂直移动并保持上基板的上加压构件。由上加压构件保持的上基板和位于基部上的下基板通过下压上加压构件而彼此接合。

4. 发明申请

WO2009063906A1 貼合せ基板製造装置および貼合せ基板製造方法审中-公开
标题翻译：接合基板制造设备和接合基板制造方法
公开(公告)号：WO2009063906A1
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/JP2008/070589
申请日：2008-11-12
申请人：株式会社アルバック , 佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
发明人：佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
IPC分类号： B29C65/00 , B30B15/00 , B65G49/06 , G02F1/13 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/677
CPC分类号： B65G49/064 , B32B37/1018 , B32B38/1833 , B32B2038/1891 , B32B2457/202 , B65G49/061 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , H01L21/67092
摘要：　上基板と下基板とを位置合わせし、貼り合わせて貼合せ基板を製造する貼合せ基板製造装置であって：前記下基板を支持するベース部と；前記ベース部から立設された第一支持棒と；前記第一支持棒に沿って上下移動可能であり、前記上基板を保持可能である上加圧部材と；前記上加圧部材から独立して上下移動可能である上部チャンバ部材および下部チャンバ部材を含む貼合せ処理室と；を備え、前記上加圧部材が移動することで、前記貼合せ処理室の内部で前記上基板と前記下基板とを貼り合わせ可能であり、前記上部チャンバ部材および前記下部チャンバ部材が、互いに当接する方向または離間する方向に同時に移動可能であることを特徴とする貼合せ基板製造装置。
摘要翻译：公开了一种用于通过使上基板和下基板彼此对准和结合来制造接合基板的接合基板制造装置。该装置设有用于支撑下基板的基部; 从所述基部直立设置的第一支撑杆; 上部加压构件，其可以沿着所述第一支撑杆垂直移动并保持所述上部基板; 以及接合处理室，其包括能够独立于上部加压构件垂直移动的上部室构件和下部室构件。上基板和下基板可以通过移动上加压构件而在接合处理室内部彼此接合。上室构件和下室构件可以在构件彼此抵接的方向或者构件彼此分离的方向上同时移动。

5. 发明申请

WO2007129551A1 印刷装置审中-公开
标题翻译：打印设备
公开(公告)号：WO2007129551A1
公开(公告)日：2007-11-15
申请号：PCT/JP2007/058618
申请日：2007-04-20
申请人：株式会社アルバック , 内田寛人 , 崎尾進 , 竹井日出夫 , 矢作充 , 湯山純平 , 沢森朗 , 遠藤茂 , 杉本道治
发明人：内田寛人 , 崎尾進 , 竹井日出夫 , 矢作充 , 湯山純平 , 沢森朗 , 遠藤茂 , 杉本道治
IPC分类号： B05C5/00 , B05C9/10
CPC分类号： B41J29/17 , B41J2/16532 , B41J2/16585 , B41J29/377
摘要：【課題】塗布層への塵の混入が無い印刷装置を提供する。【解決手段】本願の印刷装置１は第一の噴出ヘッド４０と印刷ヘッド３０とを有しており、第一の噴出ヘッド４０は印刷ヘッド３０よりも移動方向Ｄ先頭側に位置する。印刷対象物５にインクが着弾する前に、第一の噴出ヘッド４０から除電ガスが吹き付けられて印刷対象物５が除電され、塵が除去されるので、塗布層１２には塵が混入しない。また、噴出孔４６とノズル領域３２の間には吸引孔４７が配置されており、ノズル領域３２には除電ガスの気流が発生しなので、ノズル３５のメニスカスも乱れない。
摘要翻译： [问题]提供一种在涂层中不混合灰尘的打印装置。解决问题的手段打印装置（1）设置有第一喷射头（40）和打印头（30），并且第一喷射头（40）位于打印头（30）的前方移动方向（D）。由于要进行打印的物体（5）的电荷被从第一喷射头（40）吹出的电荷中和气体中和，并且在墨水落在物体（5）之前除去灰尘，所以不会混合灰尘在涂层（12）中。此外，由于在喷射口（46）和喷嘴区域（32）之间设置有吸入孔（47），在喷嘴区域（32）中没有产生中和气体流动，喷嘴（35）的弯液面也不会受到干扰。

6. 发明申请

WO2007105455A1 ステージ装置审中-公开
标题翻译：舞台设备
公开(公告)号：WO2007105455A1
公开(公告)日：2007-09-20
申请号：PCT/JP2007/053354
申请日：2007-02-23
申请人：株式会社アルバック , 田中保三 , 湯山純平 , 矢作充 , 南展史
发明人：田中保三 , 湯山純平 , 矢作充 , 南展史
IPC分类号： H01L21/68 , B23Q1/01
CPC分类号： H01L21/682 , G03F7/70716 , G03F7/70791 , G03F7/70975
摘要：　陸送可能に分割できるとともに被処理基板に対する適正な処理を確保できるステージ装置を提供する。　被処理基板Ｗを支持する基板支持面と、基板支持面を挟んで対向配置された一対のガイドフレーム（１３Ｘ）と、一対のガイドフレーム（１３Ｘ）間にわたって延在し一対のガイドフレーム（１３Ｘ）に対して移動自在に支持されたガントリー（１３Ｙ）と、ガントリー（１３Ｙ）に設置された基板処理ユニット（１４）とを備え、ガイドフレーム（１３Ｘ）は、基板処理ユニット（１４）による基板処理に必要とされるガントリー（１３Ｙ）の移動経路（作業領域Ｒ１）を形成するメインフレーム部（１５Ａ）と、メインフレーム部（１５Ａ）の長さ方向の一端部または両端部に接続され、ガントリー（１３Ｙ）の非作業位置（非作業領域Ｒ２）までの移動経路を形成するサブフレーム部（１５Ｂ）との結合体で構成されている。
摘要翻译：可以被分割以使其能够由陆地运输并且可以适当地处理基底的舞台装置。舞台装置具有用于支撑待处理的基板（W）的基板支撑表面，跨越基板支撑表面彼此相对设置的一对引导框架（13X），安装成跨越所述一对引导框架（13X）和可移动地支撑在所述一对引导框架（13X）上，以及安装在所述台架（13Y）上的基板处理单元（14）。引导框架（13X）是主框架部件（15A）和副框架部件（15B）的连接体。主框架部件（15A）形成由基板处理单元（14）处理基板所需的路线的台架（13Y）的移动路线（工作区域R1）。子框架部分15B连接到主框架部分15A的纵向方向上的一端或两端，形成台架13Y的移动路线到非工作位置（非工作状态）面积（R2））。

7. 发明申请

WO2009123040A1 太陽電池の製造方法，太陽電池の製造装置，及び太陽電池审中-公开
标题翻译：太阳能电池制造方法，太阳能电池制造装置和太阳能电池
公开(公告)号：WO2009123040A1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：PCT/JP2009/056249
申请日：2009-03-27
申请人：株式会社アルバック , 山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
发明人：山室和弘 , 佐藤誠一 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三
IPC分类号： H01L31/04 , G01R31/00
CPC分类号： H01L31/208 , H01L31/0463 , H02S50/10 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：　この太陽電池の製造方法は、複数の区画素子（２１，２１ｓ）を含み、互いに隣接する前記区画素子（２１，２１ｓ）どうしが電気的に接続された光電変換体（１２）を形成し、前記光電変換体（１２）のうち、構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）を有する第１区画素子（２１ｓ）を特定し、互いに隣接する前記区画素子（２１，２１ｓ）どうしの間で複数個所の抵抗値を測定して得られる抵抗値の分布に基づき、欠陥部位を特定することにより、前記第１区画素子（２１ｓ）内で構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）が存在する部位を限定し、前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）が存在する部位を含む前記第１区画素子（２１ｓ）と、前記第１区画素子（２１ｓ）に隣接する第２区画素子（２１）との間の境界部（１９）を横断するように、前記第１区画素子（２１ｓ）及び前記第２区画素子（２１）にレーザー光線を照射し、前記構造欠陥（Ｒ，Ａ１，Ａ２，Ａ３）を除去もしくは分離する。
摘要翻译：公开了一种太阳能电池的制造方法，其中形成有包括多个隔室元件（21,21s）的光电转换器（12），并且其中相邻的上述隔间元件（21,21s）彼此电连接。在上述光电转换器（12）内，规定具有结构缺陷（R，A1，A2，A3）的第一隔室元件（21s），并且通过基于通过测量多个电阻值获得的电阻值的分布来指定缺陷位置定义相互相邻的隔间元件（21,21s）之间的位置，在上述第一隔室元件（21s）内存在结构缺陷（R，A1，A2，A3）的位置，并将激光施加到上述第一隔室元件（21s）和与上述第一隔室元件（21s）相邻的第二隔室元件（21），以跨过上述第一隔室元件（21s）之间的边界部分（19），其包括上述结构缺陷（R ，A1，A2，A3），并且上述第二隔室元件（21）和上述缺陷（R，A1，A2，A3）被消除或隔离。

8. 发明申请

WO2009028527A1 ステージ装置审中-公开
标题翻译：阶段装置
公开(公告)号：WO2009028527A1
公开(公告)日：2009-03-05
申请号：PCT/JP2008/065245
申请日：2008-08-27
申请人：株式会社アルバック , 田中保三 , 湯山純平 , 矢作充 , 南展史 , 高橋誠 , 伊藤慎也
发明人：田中保三 , 湯山純平 , 矢作充 , 南展史 , 高橋誠 , 伊藤慎也
IPC分类号： H01L21/68 , B05C5/00 , B23Q1/00
CPC分类号： B65H1/00 , B41J11/06 , B65H2405/312 , B65H2701/11312 , B65H2801/15
摘要：　本設置場所での組み立て精度が高く、作業が容易なステージ装置を提供する。本発明のステージ装置（５）では、主ベース板（１１）上の第一、第二の主レール（１７ａ，１７ｂ）にそれぞれ接続され、第一、第二の主レール（１７ａ，１７ｂ）を延長させる副レール（１８）が、別々の副ベース板（２１）上に設けられている。従って、副ベース板（２１）を位置合わせして主ベース板（１１）に固定する際に、既に主ベース板（１１）に固定されている副ベース（２１）板の位置合わせ精度に影響が及ばない。
摘要翻译：提供了一种台架装置，其组装精度高，并且在实际安装地点容易进行。在平台装置（5）中，分别与主底板（11）上的第一和第二主导轨（17a和17b）连接的辅助导轨（18），从而使第一和第二主导轨（17a和17b））安装在不同的辅助基板（21）上。因此，在辅助基板21被固定在主基板11上的情况下，对已经固定在主基板11上的辅助基板21的定位精度没有影响）。

9. 发明申请

WO2009004913A1 被膜形成方法审中-公开
标题翻译：涂层成型方法
公开(公告)号：WO2009004913A1
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：PCT/JP2008/061015
申请日：2008-06-17
申请人：株式会社アルバック , 宮田貴裕 , 村田真朗 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三 , 吉良敦史 , 不破耕 , 田中愛 , 奥野亨 , 崎尾進
发明人：宮田貴裕 , 村田真朗 , 矢作充 , 湯山純平 , 中村久三 , 吉良敦史 , 不破耕 , 田中愛 , 奥野亨 , 崎尾進
IPC分类号： B05D1/26 , B05D3/00 , B41J2/01
CPC分类号： B41J2/155
摘要：　筋の見えない被膜を形成する。基板７上で、第一の印刷ヘッド２０ａと、第二の印刷ヘッド２０ｂとが重なる範囲では、第一の印刷ヘッド２０ａから吐出された第一の吐出液が着弾する着弾位置と、第二の印刷ヘッド２０ｂから吐出された第二の吐出液が着弾する着弾位置とを混在させる。どちらの吐出液が着弾するかは乱数に従って決定する。第一の吐出液によって形成される被膜３０ａと、第二の吐出液によって形成される被膜３０ｂの間に第一、第二の吐出液が混在して形成される被膜３０ｃが配置されるので、境界がぼやけ、筋が見えなくなる。
摘要翻译：旨在形成具有无条纹外观的外套。在第一印刷头（20a）和第二印刷头（20b）重叠的基板（7）的范围内，混合从第一印刷头（20a）排出的第一排出液体的喷射位置和第二喷射液体从第二打印头（20b）排出。由随机数决定哪个排出的液体被喷射。通过混合第一和第二排出液形成的涂层（30c）被布置在由第一排出液体形成的涂层（30a）和由第二排出液体形成的涂层（30b）之间，使得边界变得模糊使条纹消失。

10. 发明申请

WO2009060890A1 貼合せ基板製造装置および貼合せ基板製造方法审中-公开
标题翻译：接合基板制造设备和接合基板制造方法
公开(公告)号：WO2009060890A1
公开(公告)日：2009-05-14
申请号：PCT/JP2008/070190
申请日：2008-11-06
申请人：株式会社アルバック , 佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
发明人：佐藤誠一 , 矢作充 , 南展史 , 武者和博 , 湯山純平 , 村田真朗 , 宮田貴裕 , 中村久三
IPC分类号： B29C65/00 , B30B15/00 , B65G49/06 , G02F1/13 , G02F1/1339 , G09F9/00 , H01L21/677
CPC分类号： B65G49/064 , B32B37/10 , B32B38/1858 , B65G49/061 , B65G2249/02 , B65G2249/045 , G02F1/1303 , H01L21/67092
摘要：　本発明の貼合せ基板製造装置は、上基板と下基板とを位置合わせしつつ貼り合わせて貼合せ基板を製造する貼合せ基板製造装置であって、前記下基板を支持するベース部と；上下移動可能に構成され、前記ベース部とともに貼合せ処理室を形成するチャンバ部材と；前記ベース部に立設された支持棒と；前記支持棒に沿って前記チャンバ部材から独立して上下移動可能であり、かつ、前記上基板を保持可能な上加圧部材と；を備え、前記上加圧部材が移動することにより、前記貼合せ処理室の内部で上基板と前記下基板とが貼り合わされる。
摘要翻译：公开了一种用于通过在使上基板和下基板彼此对准的同时接合上基板和下基板来制造接合基板的接合基板制造装置。该装置设有用于支撑下基板的基部，可垂直移动的腔室部件，与基部形成接合处理室，直立设置在基部上的支撑杆，以及可垂直地设置的上部加压部件沿着支撑杆独立于室构件移动并保持上基板。上基板和下基板通过移动上加压构件而在接合处理室内部彼此接合。

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