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    • 1. 发明申请
    • 太陽電池の製造方法,太陽電池の製造装置,及び太陽電池
    • 太阳能电池制造方法,太阳能电池制造装置和太阳能电池
    • WO2009123040A1
    • 2009-10-08
    • PCT/JP2009/056249
    • 2009-03-27
    • 株式会社アルバック山室 和弘佐藤 誠一矢作 充湯山 純平中村 久三
    • 山室 和弘佐藤 誠一矢作 充湯山 純平中村 久三
    • H01L31/04G01R31/00
    • H01L31/208H01L31/0463H02S50/10Y02E10/50Y02P70/521
    •  この太陽電池の製造方法は、複数の区画素子(21,21s)を含み、互いに隣接する前記区画素子(21,21s)どうしが電気的に接続された光電変換体(12)を形成し、前記光電変換体(12)のうち、構造欠陥(R,A1,A2,A3)を有する第1区画素子(21s)を特定し、互いに隣接する前記区画素子(21,21s)どうしの間で複数個所の抵抗値を測定して得られる抵抗値の分布に基づき、欠陥部位を特定することにより、前記第1区画素子(21s)内で構造欠陥(R,A1,A2,A3)が存在する部位を限定し、前記構造欠陥(R,A1,A2,A3)が存在する部位を含む前記第1区画素子(21s)と、前記第1区画素子(21s)に隣接する第2区画素子(21)との間の境界部(19)を横断するように、前記第1区画素子(21s)及び前記第2区画素子(21)にレーザー光線を照射し、前記構造欠陥(R,A1,A2,A3)を除去もしくは分離する。
    • 公开了一种太阳能电池的制造方法,其中形成有包括多个隔室元件(21,21s)的光电转换器(12),并且其中相邻的上述隔间元件(21,21s)彼此电连接。 在上述光电转换器(12)内,规定具有结构缺陷(R,A1,A2,A3)的第一隔室元件(21s),并且通过基于通过测量多个电阻值获得的电阻值的分布来指定缺陷位置 定义相互相邻的隔间元件(21,21s)之间的位置,在上述第一隔室元件(21s)内存在结构缺陷(R,A1,A2,A3)的位置,并将激光施加到上述第一隔室 元件(21s)和与上述第一隔室元件(21s)相邻的第二隔室元件(21),以跨过上述第一隔室元件(21s)之间的边界部分(19),其包括上述结构缺陷(R ,A1,A2,A3),并且上述第二隔室元件(21)和上述缺陷(R,A1,A2,A3)被消除或隔离。
    • 9. 发明申请
    • ステージ装置
    • 舞台设备
    • WO2007105455A1
    • 2007-09-20
    • PCT/JP2007/053354
    • 2007-02-23
    • 株式会社アルバック田中 保三湯山 純平矢作 充南 展史
    • 田中 保三湯山 純平矢作 充南 展史
    • H01L21/68B23Q1/01
    • H01L21/682G03F7/70716G03F7/70791G03F7/70975
    •  陸送可能に分割できるとともに被処理基板に対する適正な処理を確保できるステージ装置を提供する。  被処理基板Wを支持する基板支持面と、基板支持面を挟んで対向配置された一対のガイドフレーム(13X)と、一対のガイドフレーム(13X)間にわたって延在し一対のガイドフレーム(13X)に対して移動自在に支持されたガントリー(13Y)と、ガントリー(13Y)に設置された基板処理ユニット(14)とを備え、ガイドフレーム(13X)は、基板処理ユニット(14)による基板処理に必要とされるガントリー(13Y)の移動経路(作業領域R1)を形成するメインフレーム部(15A)と、メインフレーム部(15A)の長さ方向の一端部または両端部に接続され、ガントリー(13Y)の非作業位置(非作業領域R2)までの移動経路を形成するサブフレーム部(15B)との結合体で構成されている。
    • 可以被分割以使其能够由陆地运输并且可以适当地处理基底的舞台装置。 舞台装置具有用于支撑待处理的基板(W)的基板支撑表面,跨越基板支撑表面彼此相对设置的一对引导框架(13X),安装成跨越所述一对 引导框架(13X)和可移动地支撑在所述一对引导框架(13X)上,以及安装在所述台架(13Y)上的基板处理单元(14)。 引导框架(13X)是主框架部件(15A)和副框架部件(15B)的连接体。 主框架部件(15A)形成由基板处理单元(14)处理基板所需的路线的台架(13Y)的移动路线(工作区域R1)。 子框架部分15B连接到主框架部分15A的纵向方向上的一端或两端,形成台架13Y的移动路线到非工作位置(非工作状态) 面积(R2))。