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1. 发明申请

WO2010097975A1 光電変換装置审中-公开
标题翻译：光电转换器件
公开(公告)号：WO2010097975A1
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：PCT/JP2009/064200
申请日：2009-08-11
申请人：三菱重工業株式会社 , 小林靖之 , 坂井智嗣 , 呉屋真之
发明人：小林　靖之 , 坂井　智嗣 , 呉屋　真之
IPC分类号： H01L31/0236 , H01L31/0224 , H01L31/075
CPC分类号： H01L31/1884 , H01L31/02168 , H01L31/022466 , H01L31/022483 , H01L31/076 , H01L31/1824 , H01L31/202 , Y02E10/545 , Y02E10/548 , Y02P70/521
摘要：　基板側の透明電極層、中間層、及び裏面側の電極層の構造が最適化されることにより、取り出し電流が増大した光電変換装置を提供する。基板（１）上に、少なくとも、透明電極層（２）と、光電変換層（３）と、裏面電極層（４）とを備え、前記透明電極層（２）の前記光電変換層（３）が設けられている側の表面が、山部（２ａ）と、該山部（２ａ）の表面に設けられた微小凹凸部（２ｂ）とを備え、凹凸構造のピッチが１．２μｍ以上１．６μｍ以下とされ、前記山部（２ａ）の高さが０．２μｍ以上０．８μｍ以下とされ、前記微小凹凸部（２ｂ）における凸部のピッチが０．０５μｍ以上０．１４μｍ以下とされ、前記凸部の高さが０．０２μｍ以上０．１μｍ以下とされることを特徴とする光電変換装置（１００）。
摘要翻译：提供一种光电转换装置（100），其优化基板侧的透明电极层的结构，中间层和后侧的电极层，以增加可提取的电流。光电转换装置具有至少形成有透明电极层（2），光电转换层（3）和背面侧电极层（4）的基板（1）。配置有光电转换层（3）的透明电极层（2）的表面具有山形部分（2a），其表面具有微小的凸凹结构部分（2b）。凸/凹结构的间距为1.2〜1.6μm。山部（2a）的高度为0.2〜0.8μm。微小凸凹结构部（2b）的凸部间距为0.05〜0.14μm，凸部高度为0.02〜0.1μm。

2. 发明申请

WO2010097972A1 薄膜検査装置及びその方法审中-公开
标题翻译：检查薄膜的装置和方法
公开(公告)号：WO2010097972A1
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：PCT/JP2009/062125
申请日：2009-07-02
申请人：三菱重工業株式会社 , 坂井智嗣 , 中野要治 , 小林靖之 , 山口賢剛 , ▲高▼野暁巳
发明人：坂井　智嗣 , 中野　要治 , 小林　靖之 , 山口　賢剛 , ▲高▼野　暁巳
IPC分类号： G01B11/06 , H01L21/205
CPC分类号： G01B11/0625
摘要：　薄膜検査装置は、第１透明薄膜及び第２透明薄膜の少なくとも一方の膜厚変動に影響を受ける分光反射スペクトルの特徴量の中から少なくとも２つの特徴量を選択し、選択した該特徴量の各々と第１透明薄膜の膜厚及び第２透明薄膜の膜厚とをそれぞれ関連付けた少なくとも２つの特徴量特性が格納された記憶部（１４）と、被検査基板（Ｓ）に対して透明ガラス基板側から白色光を照射する光照射部（１１）と、被検査基板（Ｓ）からの反射光を受光する受光部（１２）と、受光された反射光に基づく分光反射スペクトルから記憶部（１４）に格納されている各特徴量の実測値を求め、求めた各特徴量の実測値と記憶部（１４）に格納されている特徴量特性とを用いて、第１透明薄膜及び第２透明薄膜の膜厚をそれぞれ求める演算部（１５）とを備える。
摘要翻译：薄膜检查装置设置有存储部分（14），其从至少第一透明薄膜或第二透明薄膜的膜厚度波动影响的光谱反射光谱特征量中选择至少两个特征量并且存储将所选择的特征量中的每一个与第一透明薄膜的膜厚和第二透明薄膜的膜厚相关联的至少两个特征量特性; 光透射部（11），其从透明玻璃基板侧照射被检查用基板（S），白色光; 接收来自所述基板（S）的反射光的光接收部（12）。以及计算部（15），其基于接收到的反射光从所述光谱反射光谱获得存储在所述存储部（14）中的每个特征量的实际测量值，并且所述第一透明薄膜的膜厚度和通过使用所获得的存储在存储部分（14）中的特征量和特征量特性的实际测量值来确定第二透明薄膜。

3. 发明申请

WO2010018717A1 抵抗率検査方法及びその装置审中-公开
标题翻译：电阻检查方法及其器件
公开(公告)号：WO2010018717A1
公开(公告)日：2010-02-18
申请号：PCT/JP2009/062117
申请日：2009-07-02
申请人：三菱重工業株式会社 , 坂井智嗣 , ▲高▼野暁巳 , 小林靖之 , 山口賢剛
发明人：坂井　智嗣 , ▲高▼野　暁巳 , 小林　靖之 , 山口　賢剛
IPC分类号： G01N21/21 , G01N21/35 , G01R27/02 , H01L31/04
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/3563 , G01N21/55 , G01N21/8422 , G01R31/2831 , H01L31/1884 , Y10T29/53126
摘要：　非破壊、非接触で効率的にかつ高精度で透明導電膜の抵抗率を計測することを目的とする。事前に行われた検査条件選定方法により選定された波長を有するＰ偏光の照明光を該方法により選定された入射角で、製造ラインを搬送される透光性基板上に製膜された透明導電膜に膜面側から照射する光照射装置（３）と、透明導電膜において反射された反射光を検出する光検出装置（２）と、検出した光の強度に基づいて該波長についての反射光の光量に係る評価値を算出し、評価値と抵抗率とが予め関連付けられている相関特性を用いて、算出した評価値から抵抗率を求める情報処理装置（７）とを具備する抵抗率検査装置を提供する。
摘要翻译：透明导电膜的电阻率以非破坏性，非接触且高效的方式以高精度确定。电阻率检查装置包括：照明装置（3），用于照射透明基板上形成的透明导电膜，所述透明导电膜在透明导电膜侧的制造线中被输送，具有通过检查条件选择的波长选择的P偏振照明光方法，通过该方法选择的入射角，用于检测从透明导电膜反射的光的光电检测装置（2）和用于计算与波长的反射光的强度有关的评价值的信息处理装置（7）从所检测的光的强度和通过使用相关特性使得评估值和电阻彼此相关联来从评估值确定电阻率。

4. 发明申请

WO2012115150A1 信号処理装置およびレーザ計測装置审中-公开
标题翻译：信号处理装置和激光测量装置
公开(公告)号：WO2012115150A1
公开(公告)日：2012-08-30
申请号：PCT/JP2012/054277
申请日：2012-02-22
申请人：三菱重工業株式会社 , 株式会社ローラン , 近藤明生 , 小林靖之 , 高桑義直 , 茂木建二
发明人：近藤　明生 , 小林　靖之 , 高桑　義直 , 茂木　建二
IPC分类号： G01N21/39
CPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/39 , G01N2021/399
摘要：　信号処理装置およびレーザ計測装置であって、受光信号をデジタルデータに変換するＡ／Ｄ変換部と、Ａ／Ｄ変換部で変換された受光信号のデジタルデータを１フレーム分取得し、取得した１フレーム分のデジタルデータを、変調周波数を整数倍した周波数である指定周波数および指定周波数を中心として周波数がステップ周波数の整数倍分異なる周波数のそれぞれで離散フーリエ変換し、指定周波数および指定周波数を中心として周波数がステップ周波数の整数倍分異なる周波数のそれぞれでＤＦＴ成分を算出するＤＦＴ計算部と、ＤＦＴ計算部で算出したＤＦＴ成分に対して畳み込み計算する畳み込み計算部と、畳み込み計算部で計算した結果に対し逆離散フーリエ変換を行い、スペクトル信号を生成する逆ＤＦＴ計算部と、を有する。
摘要翻译：一种信号处理装置和激光测量装置，具有：将光接收信号转换为数字数据的A / D转换器; 获得由A / D转换器转换的光接收信号的数字数据的一帧部分的DFT计算单元，使用作为调制频率的指定频率离散付里叶变换所获得的数字数据的一帧部分乘以整数，以及具有指定频率的频率作为中心频率并且与步进频率的整数倍不同，并且使用具有指定频率的指定频率和频率作为中心频率计算DFT分量，并且与积分多次步进频率; 卷积计算单元，对由DFT计算单元计算的DFT分量执行卷积计算; 以及逆DFT计算单元，对由卷积计算单元计算的结果进行离散傅立叶逆变换，并生成分光信号。

5. 发明申请

WO2010064455A1 光電変換装置审中-公开
标题翻译：光电转换器件
公开(公告)号：WO2010064455A1
公开(公告)日：2010-06-10
申请号：PCT/JP2009/050100
申请日：2009-01-07
申请人：三菱重工業株式会社 , 呉屋真之 , 小林靖之 , 坂井智嗣
发明人：呉屋真之 , 小林靖之 , 坂井智嗣
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/1812 , H01L31/046 , H01L31/076 , Y02E10/548
摘要：　高い変換効率を得るためのトリプル型光電変換装置の適切な膜厚構成を提供する。基板（１）上に、透明電極層（２）と、ｐｉｎ接合を有する電池層（９１，９２，９３）を３層積層された光電変換層（３）と、裏面電極層（４）とを備える光電変換装置（１００）であって、光の入射側に設けられた入射部の電池層（９１）が、膜厚が１００ｎｍ以上２００ｎｍ以下の非晶質シリコンｉ層を有し、光の入射側に対して反対側に設けられた底部の電池層（９３）が、膜厚が７００ｎｍ以上１６００ｎｍ以下の結晶質シリコンゲルマニウムｉ層を有し、結晶質シリコンゲルマニウムｉ層中のゲルマニウム原子とシリコン原子との和に対するゲルマニウム原子の割合が１５原子％以上２５原子％以下であり、入射部の電池層（９１）と底部の電池層（９３）との間に設けられた中間部の電池層（９２）が、膜厚が１０００ｎｍ以上２０００ｎｍ以下の結晶質シリコンｉ層を有する。
摘要翻译：提供了用于获得高转换效率的三重光电转换装置的合适的膜厚结构。具体而言，在光电转换装置（100）的基板（1）上，层叠有具有针状接点的三个电池层（91,92,93）的透明电极层（2），光电转换层（3），以及配置有背面电极层（4）。布置在光入射侧的光入射区域的电池层（91）具有厚度为100nm以上但不大于200nm的非晶硅i层。布置在与光入射侧相反的一侧的底部的电池层（93）具有膜厚度为700nm以上且不大于1,600nm的结晶硅锗i层。晶体硅锗层中锗原子与锗原子和硅原子之和的比率为15atm％以上且25atm％以下。布置在光入射部分的电池层（91）和底部的电池层（93）之间的中间部分的电池层（92）具有膜厚度为1000nm以上的晶体硅i层但不超过2000nm。

6. 发明申请

WO2009119125A1 光電変換装置审中-公开
标题翻译：光电转换器
公开(公告)号：WO2009119125A1
公开(公告)日：2009-10-01
申请号：PCT/JP2009/050098
申请日：2009-01-07
申请人：三菱重工業株式会社 , 坂井智嗣 , 浅原裕司 , 小林靖之 , 森匡史 , 鶴我薫典 , 山下信樹
发明人：坂井智嗣 , 浅原裕司 , 小林靖之 , 森匡史 , 鶴我薫典 , 山下信樹
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/022466 , H01L21/02554 , H01L21/02573 , H01L21/02631 , H01L31/022483 , H01L31/0236 , H01L31/02366 , H01L31/0547 , H01L31/0687 , H01L31/1884 , Y02E10/52 , Y02E10/544
摘要：　透明導電層を最適化することによって、光電変換装置の短絡電流を向上させる。基板（１）上に第１透明電極層（２）と、発電層（３）と、第２透明電極層（６）と、裏面電極層（４）とを備える光電変換装置（１００）であって、前記第２透明電極層（６）の膜厚が８０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、波長６００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下の領域における前記第２透明電極層（６）の光吸収率が１．５％以下であることを特徴とする光電変換装置（１００）。及び、前記第２透明電極層（６）の膜厚が８０ｎｍ以上１００ｎｍ以下であり、前記第２透明電極層（６）及び前記裏面電極層（４）で反射された光の反射率が、波長６００ｎｍ以上１０００ｎｍ以下の領域で９１％以上であることを特徴とする光電変換装置（１００）。
摘要翻译：通过优化透明导电层来增强光电转换器的短路电流。光电转换器（100）具有形成在基板（1）上的第一透明电极层（2），发电层（3），第二透明电极层（6）和背面电极层（4）。第二透明电极层（6）的膜厚为80nm以上但不大于100nm，并且第二电极层（6）在600nm以上且不大于1000nm的波长区域的光吸收率 nm为1.5％以下。在光电转换器（100）中，第二透明电极层（6）的膜厚为80nm以上但不大于100nm，第二透明电极层（6）和背面电极层（4）在600nm以上且不大于1000nm的波长区域中具有91％以上的光的反射率。

7. 发明申请

WO2012115149A1 信号処理装置およびレーザ計測装置审中-公开
标题翻译：信号处理装置和激光测量装置
公开(公告)号：WO2012115149A1
公开(公告)日：2012-08-30
申请号：PCT/JP2012/054276
申请日：2012-02-22
申请人：三菱重工業株式会社 , 株式会社ローラン , 近藤明生 , 小林靖之 , 高桑義直 , 茂木建二
发明人：近藤　明生 , 小林　靖之 , 高桑　義直 , 茂木　建二
IPC分类号： G01N21/39
CPC分类号： G01N21/3504 , G01N21/274
摘要：　フィルタ処理部と、スペクトル信号抽出器と、を含む信号処理装置およびレーザ計測装置である。フィルタ処理部は、設定周波数の成分を含むデジタルの信号を供給する信号供給部と、信号供給部から設定周波数の成分を抽出するフィルタ特性を変更可能なデジタルフィルタと、デジタルフィルタで処理された信号を変換するＤ／Ａ変換器と、受光信号からＤ／Ａ変換器から出力された信号を減算し、受光信号から設定された周波数成分を減算する減算処理部と、減算処理部から出力された信号を変換し、変換した信号をスペクトル信号抽出器に出力するＡ／Ｄ変換器と、Ａ／Ｄ変換器からスペクトル信号抽出器に出力する信号を取得し、当該信号に含まれる前記設定周波数の成分に基づいて前記デジタルフィルタのパラメータを所定の時間応答で調整するパラメータ調整部と、を有する。
摘要翻译：一种信号处理装置和激光测量装置，其包括滤波处理单元和分光信号提取单元。滤波处理单元具有：信号提供单元，其提供包括设定频率分量的数字信号; 数字滤波器，其从信号提供单元提取设定频率分量，并且能够改变滤波器特性; D / A转换器，转换由数字滤波器处理的信号; 减法处理单元，从光接收信号中减去由D / A转换器输出的信号，并从光接收信号中减去设定频率分量; A / D转换器，其转换由减法处理单元输出的信号，并将转换的信号输出到分光信号提取单元; 以及参数调整单元，其将从A / D转换器输出的信号获取到分光信号提取单元，并且基于包括在所述信号中的设定频率分量，在规定的时间响应中调整数字滤波器的参数。

8. 发明申请

WO2011104958A1 プラズマ処理装置审中-公开
标题翻译：等离子体加工装置
公开(公告)号：WO2011104958A1
公开(公告)日：2011-09-01
申请号：PCT/JP2010/070977
申请日：2010-11-25
申请人：住友精密工業株式会社 , 林靖之 , 富阪賢一
发明人：林　靖之 , 富阪　賢一
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： H01J37/32623 , H01J37/321
摘要：　本発明は、基板の外周側縁部上面を覆う保護部材を高精度に位置決めすることができるプラズマ処理装置に関する。プラズマ処理装置１は、処理チャンバ１１と、基板Ｋが載置される基台２１と、処理ガスを供給するガス供給装置４５と、処理ガスをプラズマ化するプラズマ生成装置５０と、基台２１に高周波電力を供給する高周波電源５５と、環状且つ板状に形成され、基台２１の外周部に載置可能に構成されるとともに、基台２１の外周部に載置されたときに、内周側縁部によって基板Ｋの外周側縁部上面を覆う環状且つ板状の保護部材３１と、保護部材３１を支持する支持部材３５と、基台２１を昇降させる昇降シリンダ３０とを備える。保護部材３１の下面には、基台２１上に載置される際に基台２１の外周部と係合する少なくとも３つの第１突起３３がピッチ円上に形成され、このピッチ円の中心は、保護部材３１の中心軸と同軸になっている。
摘要翻译：公开了一种等离子体处理装置，其可以高精度地定位覆盖基板的外周边缘的顶表面的保护构件。一种等离子体处理装置（1）具有：处理室（11）; 具有安装在其上的基板（K）的基座（21）供给处理气体的气体供给装置（45）等离子体产生装置（50），其将处理气体形成为等离子体; 高频电源（55），其向所述基座（21）供给高频电力; 形成为环状板状的环状板状保护部件（31）形成为能够安装在基座（21）的外周部，并且覆盖外周缘部的基板（K）与其内周边缘安装在基座（21）的外周部分上; 支撑构件（35），其支撑所述保护构件（31）; 和提升并降低基座（21）的升降缸（30）。至少三个第一突起（33）形成在保护构件（31）的下表面上的节圆上，当保护构件（31）被保持时，第一突起（33）与基座（21）的外周部分接合）安装在基座（21）上，节圆的中心与保护构件（31）的中心轴线同轴。

9. 发明申请

WO2011040078A1 光電変換装置审中-公开
标题翻译：光电转换器件
公开(公告)号：WO2011040078A1
公开(公告)日：2011-04-07
申请号：PCT/JP2010/057768
申请日：2010-05-06
申请人：三菱重工業株式会社 , 坂井智嗣 , 小林靖之
发明人：坂井　智嗣 , 小林　靖之
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： H01L31/022466 , H01L31/076 , Y02E10/548
摘要：　反射特性が最適化された中間コンタクト層を備える光電変換装置を提供する。基板(１)上に基板(１)と反対側の表面に凹凸構造を備える透明電極層(２)と、２つの発電層(９１,９２)からなる光電変換層(３)と、裏面電極層(４)と、２つの発電層(９１,９２)の間に設けられる中間コンタクト層(５)とを備え、中間コンタクト層(５)が、基板(１)側から順に、酸化チタンを主とする酸化チタン膜と、透明導電性酸化物を主とする裏面側透明導電膜とを含み、酸化チタン膜の膜厚が、裏面側透明導電膜の膜厚が５ｎｍのときに６５ｎｍ以上１１０ｎｍ以下、１０ｎｍのときに６５ｎｍ以上９５ｎｍ以下、１５ｎｍのときに６５ｎｍ以上９０ｎｍ以下、２０ｎｍのときに６０ｎｍ以上８５ｎｍ以下、２５ｎｍのときに５５ｎｍ以上７０ｎｍ以下、及び、３０ｎｍのときに５５ｎｍ以上６５ｎｍ以下で表される領域の範囲内である光電変換装置(１００)。
摘要翻译：提供了一种设置有中间接触层的光电转换装置，其反射特性被优化。光电转换装置（100）具有设置在基板（1）上且在与基板（1）相反的表面上设置有不平坦结构的透明电极层（2），光电转换层 3）由两个发电层（91,92），下侧电极层（4）和设置在两个发电层（91,92）之间的中间接触层（5）组成。中间接触层（5）由主要由氧化钛构成的氧化钛膜和主要由透明导电氧化物构成的底面透明导电膜从基板（1）侧依次构成。当底面透明导电膜的厚度为5nm时，氧化钛膜的厚度在65-110nm的范围内，同样地，当为10nm时为65〜95nm，当为15nm时为65〜90nm ，当为20nm时为60-85nm，当为25nm时为55-70nm，如果为30nm则为55-65nm。

10. 发明申请

WO2011024304A1 風車の監視装置及び方法並びにプログラム审中-公开
标题翻译：用于监测风力涡轮机的装置和方法以及程序
公开(公告)号：WO2011024304A1
公开(公告)日：2011-03-03
申请号：PCT/JP2009/065174
申请日：2009-08-31
申请人：三菱重工業株式会社 , 石岡昌人 , 小林靖之
发明人：石岡　昌人 , 小林　靖之
IPC分类号： F03D7/04
CPC分类号： G05B23/024 , F03D17/00 , F05B2270/80 , F05B2270/803
摘要：　風車の状態監視を自動で行うとともに、その状態評価を適切な基準に従い定量的に行うこと。被診断データファイルが格納される第１記憶部（２５）と、正常データファイルが格納される第２記憶部（２８）と、第１記憶部（２５）から診断に用いる複数のデータセットを抽出して設定するとともに、第２記憶部から診断に用いる複数のデータセットを抽出して設定する診断設定部（２９）と、設定された被診断データファイルのデータセット及び基準データファイルのデータセットを元に、統計的演算手法を用いて、風車の状態を表す状態指標値を算出する指標値算出部（３０）と、前記状態指標値に基づいて、風車の状態を評価する異常判定部（３１）と、その評価結果を通知する通知部（３２）とを備える風車の監視装置を提供する。
摘要翻译：自动监测风力发电机的状况，并根据适当的标准进行定量评估。提供了一种用于监测风力涡轮机的装置，所述装置包括：第一存储单元（25），其中存储要被诊断的数据文件; 存储正常数据文件的第二存储单元（28）; 诊断设置单元，用于从第一存储单元（25）提取用于诊断和设置数据集的多个数据集，并且从第二存储单元提取多个数据集用于诊断和设置数据集; 指标值计算部（30），其使用统计计算方法，根据要诊断的数据文件的设定数据集和所述待设定的数据集的数据集，计算表示所述风力涡轮机的状态的条件指标值参考数据文件; 用于根据所述条件指标值来评价所述风力涡轮机的状况的异常判定单元（31）以及通知单元（32），用于通知评估结果。

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