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    • 59. 发明申请
    • FOTOEMPFÄNGER MIT EINER VIELZAHL VON FOTOZELLEN UND DURCHKONTAKTIERUNGEN SOWIE VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG
    • 有用作制造光电和通孔和方法的各种光接收器
    • WO2014072203A1
    • 2014-05-15
    • PCT/EP2013/072553
    • 2013-10-29
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
    • HEDLER, HarryWEIDNER, KarlZAPF, Jörg
    • H01L27/146
    • H01L21/76898H01L23/481H01L27/14634H01L27/14636H01L27/1469H01L2224/13
    • Die Erfindung betrifft einen Fotoempfänger mit einem Trägerchip (11) bzw. ein Verfahren zu dessen Herstellung. Auf der Detektorseite (12) dieses Trägerchips sind Fotozellen angeordnet, die über Durchkontaktierungen (17) mit Kontakten (16a) auf einer Kontaktierungsseite (15) des Trägerchips verbunden sind. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Fotozellen jeweils zu mehreren Clustern (13) zusammengefasst sind, wobei alle Fotozellen jedes Clusters (13) über eine der Durchkontaktierungen (17) mit der Kontaktierungsseite (15) verbunden sind. Die Durchgangslöcher sind erfindungsgemäß mit sich verjüngendem Querschnitt insbesondere in Form von Pyramidenstümpfen ausgebildet. Dies vereinfacht vorteilhaft die Fertigung der Durchgangslöcher, die beispielsweise durch anisotropes Ätzen in Silizium hergestellt werden können. Auch die Herstellung der Leitpfade, die die Durchkontaktierungen bilden, sind durch die leichte Zugänglichkeit der Lochwände einfach herstellbar. Die Ansteuerung von mehreren Clustern (13) hat vorteilhaft zur Folge, dass die jeweiligen Gruppen von Fotozellen eine begrenzte Kapazität aufweisen, wodurch aufgrund geringer parasitärer Kapazitäten vorteilhaft eine gute Zeitauflösung des Fotoempfängers erreicht werden kann.
    • 本发明涉及一种包括载体片(11)和用于其生产的方法的感光体。 在此载体芯片的检测器侧(12)被设置光电池,其通过在载体芯片的接触侧(15)触点(17)具有触点(16A)连接。 根据本发明,它是通过通孔(17)与接触面(15)连接的一个条件是在每种情况下多个群集(13)的光电池组合在一起,每个群集(13)的所有的光电池。 通孔根据本发明的具有在截棱锥的形式的锥形横截面特别是形成。 这有利地简化了通孔,其可以在硅来制备,例如,通过各向异性蚀刻的制造。 生产形成通孔的导电通路的可通过容易获得的孔壁能够容易地制造。 几个簇(13)的控制有利地具有的后果是光电池的各个组具有有限的容量,这是由于低的寄生电容有利地在感光体的一个很好的时间分辨率可以达到。