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    • 42. 发明申请
    • 半導体装置
    • 半导体器件
    • WO2013005304A1
    • 2013-01-10
    • PCT/JP2011/065374
    • 2011-07-05
    • 三菱電機株式会社陳 則中村 勝光
    • 陳 則中村 勝光
    • H01L29/739H01L29/06H01L29/78
    • H01L29/7397H01L29/0615H01L29/063H01L29/0696H01L29/0821H01L29/0834H01L29/1095H01L29/41708H01L29/7393H01L29/861
    •  ゲート電極(7)とエミッタ電極(9)を持つ絶縁ゲート型バイポーラトランジスタがトランジスタ領域に設けられている。トランジスタ領域の周囲に終端領域が配置されている。トランジスタ領域において、N型ドリフト層(1)の下に第1のN型バッファ層(18)が設けられている。第1のN型バッファ層(18)の下にP型コレクタ層(19)が設けられている。終端領域において、N型ドリフト層(1)の下に第2のN型バッファ層(20)が設けられている。P型コレクタ層(19)と第2のN型バッファ層(20)にコレクタ電極(21)が直接に接続されている。第2のN型バッファ層(20)の不純物濃度はコレクタ電極(21)に近づくほど小さくなる。第2のN型バッファ層(20)は、コレクタ電極(21)とはオーミックコンタクトを構成していない。
    • 具有栅极(7)和发射极(9)的绝缘栅双极晶体管设置在晶体管区域中。 端子区域布置在晶体管区域周围。 在晶体管区域中,在N型漂移层(1)的下方设置有第一N型缓冲层(18)。 在第一N型缓冲层(18)的下方设置P型集电极层(19)。 在终端区域中,在N型漂移层(1)的下方设置第二N型缓冲层(20)。 集电极(21)与P型集电极层(19)和第二N型缓冲层(20)直接连接。 第二N型缓冲层(20)的杂质浓度朝向集电极(21)减少。 第二N型缓冲层(20)不与集电极(21)形成欧姆接触。
    • 45. 发明申请
    • 半導体装置およびその製造方法
    • 半导体器件及其制造方法
    • WO2012124786A1
    • 2012-09-20
    • PCT/JP2012/056777
    • 2012-03-15
    • 富士電機株式会社豊田 善昭
    • 豊田 善昭
    • H01L27/088H01L21/8234H01L29/06H01L29/739H01L29/78
    • H01L29/7813H01L21/823412H01L21/823418H01L21/823456H01L21/823487H01L27/088H01L29/0615H01L29/0696H01L29/1095H01L29/402H01L29/4236H01L29/66666H01L29/7397H01L29/7803H01L29/7811H01L29/7827
    •  縦型トレンチゲート型MOSFET素子部(30)と、p - 型ウェル拡散領域(4a)を有する制御用横型nチャネルMOSFET素子部(22)と、これらを取り巻く終端耐圧領域(23)と、を備えた半導体装置であって、終端耐圧領域(23)がLOCOS酸化膜(11c)と端部のトレンチに外接するp型サステイン領域(50)と、それに外接するp - 型拡散領域(4b)と、を備え、p - 型拡散領域(4b)をp型ベース領域(5)より深く低濃度とし、p型サステイン領域(50)をp - 型拡散領域(4b)より浅く高濃度とし、p - 型ウェル拡散領域(4a)をp型ベース領域(5)とp型サステイン領域(50)より深く低濃度とし、終端耐圧領域(23)とp - 型ウェル拡散領域(4a)の耐圧をMOSFET素子部(30)の耐圧より高くした。
    • 一种具有垂直沟槽栅MOSFET MOSFET元件区域(30)的半导体器件,具有p型阱扩散区域(4a)的控制水平n沟道MOSFET元件区域(22)。 以及围绕所述区域的端子电压击穿区域(23)。 所述端子电压击穿区域(23)设置有:与LOCOS氧化膜(11c)和端部沟槽外部接触的p型维持区域(50) 以及与所述p型维持区域外部接触的p型扩散区域(4b)。 所述p型扩散区域(4b)的浓度比p型基极区域(5)更深且更低,p型维持区域(50)的浓度比p型扩散区域(4b)更浅, ),p型阱扩散区域(4a)的浓度比p型基极区域(5)和p型维持区域(50)的浓度越来越低,并且端子电压击穿区域的击穿电压 (23)和p型阱扩散区(4a)比MOSFET元件区(30)高。
    • 46. 发明申请
    • SOI LATERAL MOSFET DEVICE AND INTEGRATED CIRCUIT THEREOF
    • SOI侧面MOSFET器件及其集成电路
    • WO2012094780A8
    • 2012-09-07
    • PCT/CN2011000232
    • 2011-02-15
    • UNIV ELECTRONIC SCIENCE & TECHLUO XIAORONGYAO GUOLIANGLEI TIANFEIWANG YUANGANGZHANG BOLI ZHAOJI
    • LUO XIAORONGYAO GUOLIANGLEI TIANFEIWANG YUANGANGZHANG BOLI ZHAOJI
    • H01L29/78H01L29/423
    • H01L29/7824H01L27/0922H01L29/0634H01L29/0696H01L29/1095H01L29/4236H01L29/4238H01L29/7825H01L29/7831
    • A silicon-on-insulator (SOI) lateral MOSFET device and the integrated circuit thereof are provided. In said device, an active layer (3) includes a body region (9) and a drain region (12) which are located on the surface of the active layer (3) respectively and are separated from each other, and also a planar gate channel region (14'), a source region (11a), a body contact region (10) and a source region (11b) which are located on the surface of the body region (9) and are set in sequence from the side adjacent to the drain region (12). The active layer (3) located between the body region (9) and the drain region (12) is a drift region, wherein the drift region and the body region (9) have opposite conduction types. A semiconductor buried layer (4) is set beneath the surface of the active layer (3), wherein the semiconductor buried layer (4) and the body region (9) have the same conduction type. Said device has a trench gate structure (8) and a planar gate structure (8'), wherein the trench gate structure (8) contacts with the body region (9) and longitudinally extends from the surface of the active layer (3) to a dielectric buried layer (2), and the planar gate structure (8') is formed above the body region (9). Said device has the advantages of high withstand voltage, low specific on-resistance, low power consumption, low cost, and easy miniaturization and integration.
    • 提供了一种绝缘体上硅(SOI)横向MOSFET器件及其集成电路。 在所述装置中,有源层(3)包括分别位于有源层(3)的表面上并彼此分离的主体区域(9)和漏极区域(12),并且还包括平面栅极 沟槽区域(14'),源极区域(11a),体接触区域(10)和源极区域(11b),其位于身体区域(9)的表面上并且从邻近的侧面 到漏极区域(12)。 位于身体区域(9)和漏极区域(12)之间的有源层(3)是漂移区域,其中漂移区域和体区域(9)具有相反的导电类型。 半导体埋层(4)设置在有源层(3)的表面下方,其中半导体掩埋层(4)和体区(9)具有相同的导电类型。 所述器件具有沟槽栅极结构(8)和平面栅极结构(8'),其中沟槽栅极结构(8)与主体区域(9)接触并且从活性层(3)的表面纵向延伸到 电介质掩埋层(2),并且平面栅极结构(8')形成在主体区域(9)的上方。 所述器件具有耐受电压高,导通电阻低,功耗低,成本低,易于小型化和集成的优点。
    • 47. 发明申请
    • 半導体装置およびその製造方法
    • 半导体器件及其制造方法
    • WO2012105613A1
    • 2012-08-09
    • PCT/JP2012/052293
    • 2012-02-01
    • ローム株式会社中野 佑紀中村 亮太
    • 中野 佑紀中村 亮太
    • H01L29/78H01L21/336H01L29/12
    • H01L29/063H01L21/046H01L27/088H01L29/045H01L29/0607H01L29/0623H01L29/0696H01L29/0878H01L29/1037H01L29/1095H01L29/1608H01L29/41766H01L29/4236H01L29/66068H01L29/66666H01L29/7811H01L29/7813H01L29/7827
    •  本発明の半導体装置は、側壁および底壁が形成されたゲートトレンチを有するワイドバンドギャップ半導体からなる半導体層と、前記ゲートトレンチの前記側壁および前記底壁上に形成されたゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜を介して前記半導体層に対向するように、前記ゲートトレンチに埋め込まれたゲート電極とを含み、前記半導体層は、前記半導体層の表面側に露出するように形成され、前記ゲートトレンチの前記側壁の一部を形成する第1導電型のソース領域と、前記ソース領域に対して前記半導体層の裏面側に前記ソース領域に接するように形成され、前記ゲートトレンチの前記側壁の一部を形成する第2導電型のボディ領域と、前記ボディ領域に対して前記半導体層の前記裏面側に前記ボディ領域に接するように形成され、前記ゲートトレンチの前記底壁を形成する第1導電型のドリフト領域と、前記ゲートトレンチの一部の領域において、前記側壁と前記底壁とが交わる前記ゲートトレンチのエッジ部に選択的に形成された第2導電型の第1耐圧保持領域とを含む。
    • 该半导体器件包括:半导体层,包括具有栅极沟槽的宽带隙半导体,其中形成有侧壁和底壁; 形成在栅极沟槽的侧壁和底壁上的栅极绝缘膜; 以及嵌入在栅极沟槽中以与栅极绝缘膜相对的半导体层的栅电极。 其中,半导体层包括:形成为暴露于半导体层的表面侧的第一导电型源极区域,以及形成栅极沟槽的侧壁的一部分; 形成为与所述源极区域相接触所述半导体层的背面侧的源极区域并形成所述栅极沟槽的侧壁的截面的第二导电型体区域; 形成为与所述半导体层的与所述体区相对的所述背面侧的体区域接触并形成所述栅沟槽的底壁的第一导电型漂移区域; 以及第一导电类型的第一击穿电压保持区域,其选择性地形成在栅极沟槽的边缘部分中的侧壁和底壁相交的栅极沟槽的一部分的区域中。
    • 49. 发明申请
    • POWER SEMICONDUCTOR DEVICE
    • 功率半导体器件
    • WO2011157814A3
    • 2012-03-01
    • PCT/EP2011060089
    • 2011-06-17
    • ABB TECHNOLOGY AGSTORASTA LIUTAURASKOPTA ARNOSTRAHIMO MUNAF
    • STORASTA LIUTAURASKOPTA ARNOSTRAHIMO MUNAF
    • H01L29/739H01L29/06H01L29/10H01L29/78
    • H01L27/088H01L29/0696H01L29/1095H01L29/7395H01L29/7396
    • A power semiconductor device with a wafer (10) comprising the following layers between an emitter electrode (2) on an emitter side (11) and a collector electrode (25) on a collector side (15) is provided: - an (n-) doped drift layer (3), - an n doped first region (81), which is arranged between the drift layer (3) and the collector electrode (25), - a p doped base layer (4), which is arranged between the drift layer (3) and the emitter electrode (2), which base layer (4) is in direct electrical contact to the emitter electrode (2), - an n doped source region (6), which is arranged at the emitter side (11) embedded into the base layer (4) and contacts the emitter electrode (2), - a gate electrode (7), which is electrically insulated from the base layer (4), the source region (6) and the drift layer (3). The emitter electrode (2) contacts the base layer (4) and the source region (6) within a contact area (22). An active semiconductor cell (18) is formed within the wafer (10), which includes layers or parts of such layers, which lie in orthogonal projection with respect to the emitter side (11) of the contact area (22) of the emitter electrode, to which the source region is in contact, said source region (6), and such a part of the base layer (4), at which an electrically conductive channel can be formed. The device further comprises a p doped well (5), which is arranged in the same plane as the base layer (4), but outside the active cell (18). The well (5) is electrically connected to the emitter electrode (2) at least one of directly or via the base layer (4).
    • 提供一种功率半导体器件,其具有在发射极侧的发射电极(2)和集电极侧(15)上的集电极(25)之间包括以下层的晶片(10): - (n- )掺杂漂移层(3), - n掺杂的第一区(81),其布置在所述漂移层(3)和所述集电极(25)之间,-p掺杂的基极层(4) 漂移层(3)和发射电极(2),该基极层(4)与发射极(2)直接电接触; n个掺杂源极区(6),其布置在发射极侧 11)嵌入到基极层(4)中并与发射电极(2)接触; - 栅极电极(7),其与基极层(4),源极区域(6)和漂移层( 3)。 发射电极(2)在接触区域(22)内接触基底层(4)和源极区域(6)。 在晶片(10)内形成有源半导体单元(18),该半导体单元(10)包括相对于发射极电极的接触区域(22)的发射极侧(11)处于正交投影的这些层的这些层或部分 源极区域接触的区域,所述源极区域(6)以及基底层(4)的一部分可以形成导电沟道。 该器件还包括p掺杂阱(5),其布置在与基极层(4)相同的平面中,但位于活性电池(18)的外部。 阱(5)直接或经由基底层(4)中的至少一个电连接到发射极(2)。