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    • 32. 发明申请
    • BAUELEMENT MIT EINER MIKROMECHANISCHEN MIKROFONSTRUKTUR
    • 微机械麦克风结构的施工要素
    • WO2013011114A2
    • 2013-01-24
    • PCT/EP2012/064251
    • 2012-07-20
    • ROBERT BOSCH GMBHZOELLIN, JochenLAERMER, FranzDALEY, MikeSCHELLING, Christoph
    • ZOELLIN, JochenLAERMER, FranzDALEY, MikeSCHELLING, Christoph
    • H04R7/06B81B3/0051B81B2201/0257H04R19/005H04R19/04H04R2201/003
    • Es werden Möglichkeiten zur Realisierung eines substratseitigen Überlastschutzes für die Membranstruktur eines Mikrofonbauelements mit einer mikromechanischen Mikrofonstruktur vorgeschlagen, der die Dämpfungseigenschaften der Mikrofonstruktur möglichst wenig beinträchtigt. Die Mikrofon struktur umfasst eine Membranstruktur (2) mit mindestens einer akustisch aktiven Membran (11), die in einer Membranschicht über einem Halbleitersubstrat (1) ausgebildet ist. Sie überspannt mindestens eine Schallöffnung (13) in der Substratrückseite. Ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (14) ist im Schichtaufbau des Bauelements (10) über der Membranschicht ausgebildet. Erfindungsgemäß sind am äußeren Randbereich der Membranstruktur (2) zumindest Fortsätze (17) ausgebildet, die über den Randbereich der Schallöffnung (13) hinausragen, so dass der Randbereich der Schallöffnung (13) als substratseitiger Anschlag für die Membranstruktur (2) fungiert.
    • 有Mö用于实现基板侧导航用途的可能性berlastschutzes˚F导航用途ř提出具有d&AUML的微机械麦克风结构的麦克风组件的膜结构; M&ouml麦克风结构的阻尼特性;尽可能少beintr BEAR chtigt。 该麦克风结构包括具有至少一个声学活性膜(11)的膜结构(2),该声学活性膜形成在半导体衬底(1)上方的膜层中。 它跨越衬底背面的至少一个声音开口(13)。 在膜层上方的装置(10)的层结构中形成固定的声学上可透射的反向元件(14)。 发明Ä大街 是在Ä膜结构u的ROAD旧的边缘区域(2)至少续Ä梓(17)形成,所述导航运用在声音&OUML的边缘区域中;突出开口(13),从而使声&OUML的边缘区域中;开口(13)作为底物侧 停止膜结构(2)的作用。