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21. 发明申请

WO2014068638A1 部品供給装置审中-公开
标题翻译：组件供应装置
公开(公告)号：WO2014068638A1
公开(公告)日：2014-05-08
申请号：PCT/JP2012/077900
申请日：2012-10-29
申请人：富士機械製造株式会社 , 清水利律 , 大橋広康 , 山▲崎▼ 敏彦 , 村井正樹
发明人：清水　利律 , 大橋　広康 , 山▲崎▼　敏彦 , 村井　正樹
IPC分类号： H05K13/02 , H01L21/677
CPC分类号： B65G47/06 , H01L21/67721 , H01L21/67724 , H01L21/67775 , H01L24/75 , H01L2224/7565 , H05K13/021 , H05K13/0434
摘要：　部品供給装置は、基板に部品を実装する実装機に隣接して配置され、実装機に部品を供給する。この部品供給装置は、基材上に複数の部品が配置された部品載置部材を収容するマガジンを備える補給部と、補給部が取付けられる第１の側面と、実装機が隣接して配置される第２の側面とを備えており、マガジンに収容された部品載置部材を搬送する搬送部を有している。補給部は、搬送部の第１の側面に対してスライド可能に取付けられている。
摘要翻译：该部件供给装置配置在将部件安装在基板上的安装装置的旁边，部件供给装置将部件供给到安装装置。所述部件供给装置设置有供给部，所述供给部设置有容纳在其内的成分放置部件的盒，所述部件放置部件具有设置在所述基材上的部件; 安装所述供应部的第一侧表面; 以及具有与其相邻设置的安装装置的第二侧表面。部件供给装置具有传送部件，其传送容纳在盒体中的部件放置部件。供应部分可滑动地附接到转印部分的第一侧表面。

22. 发明申请

WO2013065451A1 基板処理装置および基板処理方法审中-公开
标题翻译：基板加工单元及加工基板的方法
公开(公告)号：WO2013065451A1
公开(公告)日：2013-05-10
申请号：PCT/JP2012/076047
申请日：2012-10-05
申请人：株式会社ニコン
发明人：奈良　圭 , 堀　正和 , 鈴木　智也
IPC分类号： G03F7/22 , B65H20/10 , B65H23/025 , G03F7/20 , G03F7/213 , G03F7/24 , H01L21/027
CPC分类号： B65H23/0216 , B65H23/0258 , B65H2511/516 , B65H2553/42 , B65H2801/61 , G03F7/24 , G03F7/70791 , H01L21/67721 , H01L21/6776
摘要：　帯状に形成された基板を第一方向（Ｘ）に搬送し、基板の被処理面を処理する基板処理装置において、基板を第一方向に案内する第一案内部材（１１）と、第一方向に交差する第二方向における基板の寸法が、第一案内部材から第一方向の下流側へ向けて徐々に拡大又は縮小するように基板を案内する第二案内部材（１２）と、第一案内部材と第二案内部材との間で、基板の被処理面を処理する処理装置とを備える。
摘要翻译：一种用于在第一方向（X）上传送条形基板并处理基板的待处理表面的基板处理单元设置有用于沿第一方向引导基板的第一引导构件（11），第二引导件用于引导基板的构件（12），使得在与第一方向相交的第二方向上的基板的尺寸从第一引导构件沿第一方向下游逐渐增大或减小;以及处理装置，用于处理待处理的表面的第一引导构件和第二引导构件之间的基板。

23. 发明申请

WO2011121685A1 平板搬送装置审中-公开
标题翻译：平板输送装置
公开(公告)号：WO2011121685A1
公开(公告)日：2011-10-06
申请号：PCT/JP2010/006321
申请日：2010-10-26
申请人：シャープ株式会社 , 中村久和 , 神徳千幸 , 津幡俊英
发明人：中村久和 , 神徳千幸 , 津幡俊英
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/06
CPC分类号： H01L21/67721 , B65G49/064 , B65G49/068 , H01L21/67706
摘要：製造ライン（Ｌ）上の各ポジションにガラス基板（Ｇ）（平板）を搬送する平板搬送装置（１）において、ガラス基板（Ｇ）の進行方向に所定の間隔をあけて複数の搬送用回転軸（７）を配置し、各搬送用回転軸（７）にガラス基板（Ｇ）の裏面側に当接する複数の搬送用ローラー（８）を回転自在に配置する。第２ガラス振り分け装置（６）の手前における複数のアライメント用回転軸（９），（１０），（１１）に、軸方向外側に搬送用ローラー（８）よりも外径の大きいガイドローラー（１３），（１４），（１５）を設ける。これらの対向するガイドローラー（１３），（１４），（１５）の最大径部分間の間隔をガラス基板（Ｇ）の進行方向に向かって徐々に狭くし（Ｌ１＞Ｌ２＞Ｌ３）、各ガイドローラー（１３），（１４），（１５）の間隔をガラス基板（Ｇ）の幅に合わせて変更可能に構成する。このことで、同じ製造ラインで異なるサイズの平板をできるだけ平板の側面や表面に接触することなく、平板の直進性を保つように流せるようにする。
摘要翻译：将玻璃基板（平板; G）输送到生产线（L）上的预定位置的平板输送装置（1）包括沿着玻璃基板（G）的方向设置的多个可旋转输送轴（7））间隔开规定的间隙行进，多个输送辊（8）可旋转地安装在可转动的输送轴（7）上，以与玻璃基板（G）的后表面接触。多个可旋转对准轴（9,10,11）设置在第二玻璃分类装置（6）之前，并且具有大于输送辊的外径的成对的相对的导辊（13,14,15） 8）在轴向的外侧位置处设置用于可旋转对准轴。引导辊（13,14,15）的最大直径部分之间的间隙在玻璃基板（G）（L1> L2> L3）的行进方向上逐渐减小，导辊（13， 14，15）可以根据玻璃基板（G）的宽度而变化。利用这种结构，具有不同尺寸的平板可以在相同的生产线上行进，使得尽可能地避免与平板的侧表面或前表面接触时保持平板的行进平直度。

24. 发明申请

WO2011065478A1 基板処理装置及び表示素子の製造方法审中-公开
标题翻译：基板加工装置及制造显示元件的方法
公开(公告)号：WO2011065478A1
公开(公告)日：2011-06-03
申请号：PCT/JP2010/071124
申请日：2010-11-26
申请人：株式会社ニコン , 宮地章 , 木内徹 , 奈良圭
发明人：宮地　章 , 木内　徹 , 奈良　圭
IPC分类号： B65G49/06 , H01L21/677 , H01L51/50 , H05B33/10
CPC分类号： H01L21/67721 , B65G49/067 , B65G2249/045 , H01L21/6776 , H01L27/3244 , H01L51/56 , H05B33/10
摘要：　基板処理装置は、基板に対して所定の処理を行う処理部と、当該処理部に対して移動すると共に、基板の被処理面を形成させつつ基板を保持する基板保持部とを備える。
摘要翻译：公开了一种基板处理装置，其具备：处理部，对基板进行规定的处理; 以及基板保持部，其相对于处理部移动，并且在形成有基板的被处理面的同时保持基板。

25. 发明申请

WO2010144126A3 SYSTEM AND METHOD FOR VAPOR PHASE REFLOW OF A CONDUCTIVE COATING 审中-公开
标题翻译：用于导电涂层蒸汽相反射的系统和方法
公开(公告)号：WO2010144126A3
公开(公告)日：2011-04-07
申请号：PCT/US2010001644
申请日：2010-06-08
申请人： TYCO ELECTRONICS CORP , CHOU GEORGE JYH-SHANN , HILTY ROBERT DANIEL
发明人： CHOU GEORGE JYH-SHANN , HILTY ROBERT DANIEL
IPC分类号： C23C14/58 , B23K1/00 , B23K1/015 , C23C16/56
CPC分类号： B23K1/0016 , B23K1/012 , B23K1/015 , B23K3/00 , B23K2201/42 , C23C14/16 , C23C14/56 , C23C14/5806 , H01L21/67721 , H01L21/6776
摘要： A system for manufacturing electrical components includes a reflow chamber having an inlet port and an outlet port. The inlet port receives a web of interconnected electrical components having a conductive coating into the reflow chamber. The outlet port discharges the web from the reflow chamber. The reflow chamber directs the web of interconnected electrical components along a predetermined pathway through the reflow chamber. The reflow chamber retains a heated and saturated vapor to heat the conductive coating as the web passes along the pathway through the chamber to reflow the conductive coating about the electrical components.
摘要翻译：一种用于制造电气部件的系统包括具有入口和出口的回流室。入口端口将具有导电涂层的相互连接的电气部件的腹板接纳到回流室中。出口将回流焊管排出。回流室将互连的电气部件的腹板沿预定的通路引导通过回流室。当纸幅沿着通过室的路径通过时，回流室保持加热和饱和的蒸气以加热导电涂层，以围绕电气部件回流导电涂层。

26. 发明申请

WO2010140597A3 TRANSPORTING METHOD, TRANSPORTING APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND EXPOSURE APPARATUS 审中-公开
标题翻译：运输方式，运输工具，曝光方法和曝光装置
公开(公告)号：WO2010140597A3
公开(公告)日：2011-01-27
申请号：PCT/JP2010059292
申请日：2010-05-26
申请人： NIPPON KOGAKU KK , YAMAGUCHI MAIKO
发明人： YAMAGUCHI MAIKO
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70791 , B65H20/00 , B65H23/1886 , B65H2403/942 , B65H2406/344 , B65H2701/1719 , H01L21/67706 , H01L21/67721
摘要： A ladder type stage apparatus (28) that transports a film-shaped substrate (P) includes a plurality of rods (30A-30L) whose longitudinal directions are aligned in a direction that is orthogonal to the moving direction of the film-shaped substrate in order to support the film-shaped substrate; chains (32A,32B) that join the rods along a closed-loop trajectory; and a drive motor (36A,36B) that moves the rods along this loop-shaped trajectory via the chains.
摘要翻译：传送薄膜状基板（P）的梯型台装置（28）具有多个杆（30A-30L），其长度方向与膜状基板的移动方向正交的方向排列为了支撑膜状基板; 链条（32A，32B），沿着闭环轨迹连接杆; 以及驱动马达（36A，36B），其通过链条沿着该环形轨迹移动杆。

27. 发明申请

WO2010150928A1 소재 정렬시스템 审中-公开
标题翻译：材料安装系统
公开(公告)号：WO2010150928A1
公开(公告)日：2010-12-29
申请号：PCT/KR2009/003423
申请日：2009-06-25
申请人： 주식회사 솔로몬메카닉스
发明人： 정수룡 , 김성일 , 조현주 , 신오철
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67793 , H01L21/67706 , H01L21/67721
摘要： 본 발명은, 칩(Chip) 형태로 이루어지는 소재가 서로 적층되지 않고 단층으로 정렬되도록 하는 소재 정렬시스템에 관한 것이다. 본 발명에 의한 소재 정렬시스템은, 제어수단(100)의 제어에 따라, 호퍼(202)에 적치된 소재를 공급하는 소재공급수단(200)과; 상기 소재공급수단(200)에 의해 공급되는 소재의 무게를 측정하는 무게측정수단(210)과; 진동을 발생시켜, 소재가 이동 중에 정렬되도록 하는 요동수단(300) 및 전달수단(310)과; 다수의 소재가 이송되어, 서로 근접하여 정렬되도록 하는 컨베이어조립체(400) 및 정렬수단(500)과; 상기 컨베이어조립체(400)에 정렬된 다수의 소재를 전달받아 이송하는 이동수단(550)과; 상기 이동수단(550)에 의해 이송된 소재가, 정렬플레이트(610)에 일정 형태로 나열되도록 지지하는 지지수단(600); 등으로 구성된다. 이와 같은 구성을 가지는 본 발명의 소재 정렬시스템에 의하면, 작업능률이 향상되는 이점이 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种用于在不层叠材料的情况下以单层形式布置芯片型材料的材料布置系统。根据本发明，所述材料配置系统包括：供给堆叠在料斗（202）上的材料的材料供给装置（200）; 测量由所述材料供应装置（200）供应的材料的重量的重量测量装置（210）; 振动装置（300）和传送装置（310），其能够通过产生振动来移动材料; 输送机组件（400）和布置装置（500），所述多个材料被输送并相邻布置在所述布置装置上; 移动装置（550），其接收布置在所述输送机组件（400）上的所述多个材料，并移动所述材料; 以及支撑装置（600），其支撑由所述移动装置（550）移动以被规则地布置在布置板（610）上的材料。因此，本发明的材料配置系统可以提高工作效率。

28. 发明申请

WO2010140597A2 TRANSPORTING METHOD, TRANSPORTING APPARATUS, EXPOSURE METHOD, AND EXPOSURE APPARATUS 审中-公开
标题翻译：运输方式，运输工具，曝光方法和曝光装置
公开(公告)号：WO2010140597A2
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：PCT/JP2010/059292
申请日：2010-05-26
申请人： NIKON CORPORATION , YAMAGUCHI Maiko
发明人： YAMAGUCHI Maiko
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70791 , B65H20/00 , B65H23/1886 , B65H2403/942 , B65H2406/344 , B65H2701/1719 , H01L21/67706 , H01L21/67721
摘要： A ladder type stage apparatus that transports a film-shaped substrate includes a plurality of rods whose longitudinal directions are aligned in a direction that is orthogonal to the moving direction of the film-shaped substrate in order to support the film-shaped substrate; chains that join the rods along a closed-loop trajectory; and a drive motor that moves the rods along this loop-shaped trajectory via the chains.
摘要翻译：传送薄膜状基板的阶梯式装置包括多个杆，其长度方向与膜状基板的移动方向正交的方向排列，以支撑该薄膜状基板; 沿着闭环轨迹连接杆的链条; 以及驱动马达，其通过链条沿着该环形轨迹移动杆。

29. 发明申请

WO2010035126A2 DIFFUSION DEVICE FOR THE PRODUCTION OF SOLAR CELLS AND METHOD FOR PRODUCING SOLAR CELLS 审中-公开
标题翻译：用于生产太阳能电池的扩散装置和用于生产太阳能电池的方法
公开(公告)号：WO2010035126A2
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：PCT/IB2009006981
申请日：2009-09-28
申请人： CT THERM PHOTOVOLTAICS TECHNOL , NUSSBAUMER HARTMUT
发明人： NUSSBAUMER HARTMUT
CPC分类号： H01L31/1804 , H01L21/67005 , H01L21/67173 , H01L21/67236 , H01L21/67721 , H01L21/6776 , Y02E10/547 , Y02P70/521
摘要： A diffusion device (1; 28) for the production of solar cells comprises a first dopant source applicator {3) by means of which a dopant source (5) can be disposed on a substrate (7), a first continuous furnace (12) arranged downstream in the process direction (10) through which the substrates (7) can pass, by means of which dopant from the dopant source (5) can be diffused into the substrate (7), and a second continuous furnace (14; 44) arranged downstream of the first continuous furnace (12) in the process direction which is disposed such that a surface passivating layer is formed on the substrates (7) while they pass through the second continuous furnace (14; 44), and an etching device (16) disposed between the first (12) and the second (14; 44) continuous furnace which is arranged to at least partially remove layers formed at the surface of the substrates (7) during the passage through the first continuous furnace (12); and a process for producing solar cells (60).
摘要翻译：用于生产太阳能电池的扩散装置（1; 28）包括第一掺杂剂源施加器（3），通过该第一掺杂剂源施加器可以将掺杂剂源（5）设置在基板（7）上，第一连续炉（12）布置在基板（7）可以通过的处理方向（10）的下游，通过该方法可以将来自掺杂剂源（5）的掺杂剂扩散到基板（7）中，以及第二连续炉（14; 44））设置在所述第一连续炉（12）的下游，所述处理方向被布置成使得在所述基板（7）通过所述第二连续炉（14; 44）时在所述基板（7）上形成表面钝化层，以及蚀刻装置（16），设置在第一连续炉（12）和第二连续炉（14; 44）之间，所述连续炉被布置成在通过第一连续炉（12）期间至少部分地去除在基板（7）的表面处形成的层， ; 和太阳能电池（60）的制造方法。

30. 发明申请

WO2009122836A1 薄膜積層体の製造装置および方法审中-公开
标题翻译：薄膜层压板的生产设备及方法
公开(公告)号：WO2009122836A1
公开(公告)日：2009-10-08
申请号：PCT/JP2009/053876
申请日：2009-03-02
申请人：富士電機システムズ株式会社 , 横山勝治
发明人：横山勝治
IPC分类号： C23C16/54 , B65H5/06 , H01L21/677 , H01L31/04
CPC分类号： C23C14/54 , B65H23/0324 , B65H23/038 , B65H2301/323 , C23C14/562 , C23C16/52 , C23C16/545 , H01L21/67706 , H01L21/67721 , H01L31/0392 , H01L31/03926 , H01L31/1876 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要：　帯状可撓性基板の幅方向を鉛直方向に向けながら、基板を水平方向に長い距離にわたり搬送しても、基板の鉛直方向における位置を精度高く維持する。帯状可撓性基板１の表面に複数の薄膜を積層して薄膜積層体を製造する際に、複数の成膜室の間のうち少なくとも１つの間に配置され、基板の鉛直方向上側の端部を挟む少なくとも一対のグリップローラ５２Ｕを、このグリップローラの回転方向が基板１の搬送方向に対して角度θ U をつけて上方斜めになるように設置し、このグリップローラ５２Ｕの基板１を挟む力を変化させることで、基板１に上昇する力Ｆ X が発生し、基板１の高さを制御することができる。
摘要翻译：公开了一种薄膜层叠体的生产设备，其中即使在基板的宽度方向被引导时在基板被沿水平方向长距离地输送的情况下也能够以高精度保持柔性条带基板的垂直方向的位置朝向垂直方向。当通过在柔性条带基板（1）的表面上层叠多个薄膜来制造薄膜层叠体时，至少一对夹持辊（52U）布置在多个膜中的至少两个成膜室之间沉积室并且在垂直方向的上侧夹持基板的端部倾斜向上安装，使得夹持辊的旋转方向相对于基板（1）的输送方向形成角度θU，并且可以通过改变用于夹持基板（1）的夹持辊（52U）的力来控制基板（1）的高度，从而在基板（1）中产生上升力（Fx）。

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