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1. 发明申请

WO2015051637A1 一种掩模板搬运治具审中-公开
公开(公告)号：WO2015051637A1
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：PCT/CN2014/076852
申请日：2014-05-06
申请人：京东方科技集团股份有限公司 , 北京京东方显示技术有限公司
发明人：李艳秋 , 魏崇喜 , 李伟
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/67706 , B25J11/0095 , B25J15/0052 , G02F1/1303 , H01L21/67346 , H01L21/67721 , H01L21/68728 , H01L27/1288
摘要：一种掩模板搬运治具，包括：搬运支架；用于固定待搬运的掩模板（4）的固定结构（2），所述固定结构设置在所述搬运支架上。本发明的有益效果是：避免人手与掩模板的直接接触，降低掩模板搬运过程中被损坏的风险，提高工作效率。

2. 发明申请

WO2014068639A1 部品供給装置审中-公开
标题翻译：组件供应装置
公开(公告)号：WO2014068639A1
公开(公告)日：2014-05-08
申请号：PCT/JP2012/077901
申请日：2012-10-29
申请人：富士機械製造株式会社 , 清水利律 , 大橋広康 , 山▲崎▼ 敏彦 , 村井正樹
发明人：清水　利律 , 大橋　広康 , 山▲崎▼　敏彦 , 村井　正樹
IPC分类号： H05K13/02 , H01L21/677
CPC分类号： H05K13/043 , B65G47/06 , H01L21/67721 , H01L21/67724 , H01L21/67775 , H01L24/75 , H01L2224/7565 , H05K13/021
摘要：　部品供給装置は、ウエハシート補給部の近傍の位置から実装機の近傍の位置までの間を移動する移動スライダと、移動スライダに支持されるテーブルと、特定の回転軸の周りにテーブルを回転させる回転機構を有している。テーブルは、回転軸を中心とする円周上に設定された第１の支持点、第２の支持点及び第３の支持点で移動スライダに支持されている。回転機構は、第１の支持点を回転軸に対して円弧運動させるための第１ガイドと、第２の支持点及び第３の支持点を回転軸に対して円弧運動させる従動ガイドを有している。
摘要翻译：该部件供给装置具有：移动滑块，其在靠近晶片供给部的位置与靠近安装装置的位置之间移动; 由移动滑块支撑的桌子; 以及旋转机构，其使台围绕特定的旋转轴线旋转。该移动滑块在第一支撑点，第二支撑点和第三支撑点处被支撑，所述第一支撑点，第二支撑点和第三支撑点被设置在圆周上，其中旋转轴在中心。旋转机构具有第一引导件，用于使第一支撑点相对于旋转轴线进行电弧运动，并且具有第二支撑点和第三支撑点的从动引导件相对于旋转轴线进行电弧运动。

3. 发明申请

WO2014003029A1 ワーク押出装置およびそれを備えるワーク供給装置审中-公开
标题翻译：工件喷射装置和工件提供装置
公开(公告)号：WO2014003029A1
公开(公告)日：2014-01-03
申请号：PCT/JP2013/067438
申请日：2013-06-26
申请人：武蔵エンジニアリング株式会社
发明人：生島　和正
IPC分类号： B23P19/00 , B65G1/00 , B65H3/24 , H01L21/50 , H05K13/02
CPC分类号： H01L21/67721 , H05K13/0061
摘要：課題：撓みが少なく、先端の高さを一定に維持でき、しかも長寿命であるワーク押出装置およびワーク供給装置の提供。解決手段：押出部材と、押出部材を第一の方向に押し出す駆動部とを備え、押出部材が、第一の方向と異なる第二の方向にワークを押し出すワーク押出装置であって、押出部材が、複数の連結片と、複数の連結片を屈曲可能に連結する糸状部材とを備え、押出部材を第二の方向に方向転換させる方向転換部を備えることを特徴とするワーク押出装置。　当該ワーク押出装置と、マガジン搭載部と、マガジン搭載部を昇降移動する昇降装置とを備えるワーク供給装置。
摘要翻译： [问题]为了提供弯曲少的工件排出装置，能够保持固定的前端高度，并且具有长的使用寿命和工件供给装置。 [解决方案]一种具有排出构件的工件排出装置和用于沿第一方向推出排出构件的驱动部，并且其中排出构件沿与第一方向不同的第二方向推动工件。工件排出装置的特征在于，排出构件设置有多个连接件和用于可弯曲地连接多个连接件的丝状构件，并且设置有用于将排出构件的方向切换到第二方向的方向切换部。设置有所述工件排出装置的工件供给装置，料斗装载部和用于升高和降低料盒加载部的升降装置。

4. 发明申请

WO2012081607A1 基板処理システム及び表示素子の製造方法审中-公开
标题翻译：基板处理系统和用于制造显示元件的方法
公开(公告)号：WO2012081607A1
公开(公告)日：2012-06-21
申请号：PCT/JP2011/078879
申请日：2011-12-14
申请人：株式会社ニコン , 浜田智秀 , 木内徹 , 増川孝志
发明人：浜田　智秀 , 木内　徹 , 増川　孝志
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L21/67775 , H01L21/67721 , H01L21/67736 , H01L21/67745
摘要：　基板を収容する収容室を有する複数の基板収容装置と、複数の基板収容装置のそれぞれに接続される接続部を有し、基板収容装置が接続部に接続された状態で基板に対して処理を行う複数の基板処理装置と、複数の基板収容装置のそれぞれが複数の基板処理装置のそれぞれに接続されるように案内する案内装置と、複数の基板収容装置のそれぞれが複数の基板処理装置のそれぞれに対して所定の順序で接続されるように案内装置を制御する制御装置とを備える。
摘要翻译：该基板处理系统设置有：具有用于容纳基板的室的多个基板壳体装置; 多个基板处理装置，其具有连接到多个基板外壳装置中的每一个的连接点，并且处理具有连接到该连接点的基板外壳装置的基板; 引导装置，其以这样的方式提供引导，使得多个基板外壳装置中的每一个连接到多个基板处理装置中的每一个; 以及控制装置，其以这样的方式控制引导装置，使得多个基板外壳装置中的每一个以规定的顺序连接到多个基板处理装置中的每一个。

5. 发明申请

WO2011142805A2 RAPID THERMAL ACTIVATION OF FLEXIBLE PHOTOVOLTAIC CELLS AND MODULES 审中-公开
标题翻译：柔性光电池和模块的快速热激活
公开(公告)号：WO2011142805A2
公开(公告)日：2011-11-17
申请号：PCT/US2011/000814
申请日：2011-05-10
申请人： THE UNIVERSITY OF TOLEDO , COMPAAN, Alvin, D.
发明人： COMPAAN, Alvin, D.
IPC分类号： H01L31/0296
CPC分类号： H01L31/186 , H01L21/67173 , H01L21/67721 , H01L21/6776 , H01L31/03925 , H01L31/03926 , H01L31/0445 , H01L31/073 , H01L31/1836 , H01L31/1864 , Y02E10/543 , Y02P70/521
摘要： A photovoltaic cell includes a polymer window and at least one active semiconductor layer that is conditioned using a cadmium chloride treatment process. The photovoltaic cell is heated, during the cadmium chloride treatment process by a rapid thermal activation process to maintain polymer transparency. A method of producing a photovoltaic cell using the rapid thermal activation process and an apparatus to conduct rapid thermal activation processing are also disclosed.
摘要翻译：光伏电池包括聚合物窗口和使用氯化镉处理工艺调节的至少一个有源半导体层。在氯化镉处理过程中通过快速热活化过程来加热光伏电池，以保持聚合物的透明度。还公开了使用快速热激活方法制造光伏电池的方法和进行快速热激活处理的装置。

6. 发明申请

WO2011109560A1 EPITAXIAL LIFT OFF SYSTEMS AND METHODS 审中-公开
标题翻译：外延提升系统和方法
公开(公告)号：WO2011109560A1
公开(公告)日：2011-09-09
申请号：PCT/US2011/026926
申请日：2011-03-02
申请人： ALTA DEVICES, INC. , BROWN, Brian , BURROWS, Brian , BERKSTRESSOR, David , HE, Gang , GMITTER, Thomas, J.
发明人： BROWN, Brian , BURROWS, Brian , BERKSTRESSOR, David , HE, Gang , GMITTER, Thomas, J.
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： B32B43/006 , H01L21/67086 , H01L21/67092 , H01L21/67132 , H01L21/67706 , H01L21/67721 , H01L21/6776 , H01L21/7813 , H01L31/1896 , Y02E10/50 , Y10T156/1111 , Y10T156/15
摘要： Epitaxial lift off systems and methods are presented. In one embodiment a tape is disposed on the opposite side of the epitaxial material than the substrate is used to hold the epitaxial material during the etching and removal steps of the ELO process. In various embodiments, the apparatus for removing the ELO film from the substrates without damaging the ELO film may include an etchant reservoir, substrate handling and tape handling mechanisms, including mechanisms to manipulate (e.g., cause tension, peel, widen the etch gap, etc.) the lift off component during the lift off process.
摘要翻译：提出了外延提升系统和方法。在一个实施例中，在ELO工艺的蚀刻和去除步骤期间，将带设置在外延材料的相对侧上，而不是衬底用于保持外延材料。在各种实施例中，用于从衬底上移除ELO膜而不损坏ELO膜的设备可以包括蚀刻剂储存器，衬底处理和带处理机构，包括操作机构（例如引起张力，剥离，加宽蚀刻间隙等））在剥离过程中脱离组件。

7. 发明申请

WO2011001980A1 平面型表示装置の解体装置及び解体方法、並びに、搬送装置审中-公开
标题翻译：用于分离平板显示装置的装置和方法以及传送装置
公开(公告)号：WO2011001980A1
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：PCT/JP2010/061064
申请日：2010-06-29
申请人：グリーンサイクル株式会社 , 柳井邦彦
发明人：柳井　邦彦
IPC分类号： B09B3/00
CPC分类号： H01L21/67721 , H01J9/52 , H01L21/67742 , Y02W30/828
摘要：　解体作業の合理化、簡素化を達成し得る平面型表示装置の解体装置を提供する。平面型表示装置の解体装置１０は、（Ａ）平面型表示装置５０の画像表示部５１を真空吸着する真空吸着装置４０、（Ｂ）取付け手段３０、及び、（Ｃ）取付け手段３０を水平方向に移動させる移動手段２０を備え、取付け手段３０は、（Ｂ－１）移動手段２０に移動可能に取り付けられた取付け部材３１、並びに、（Ｂ－２）取付け部材３１に対して水平方向に延び、且つ、水平軸ＡＸ H を回転軸として回転自在に取付け部材３１に取り付けられた支持部材３５から成り、真空吸着装置４０は、必要に応じて、垂直軸ＡＸ V を回転軸として回転自在に支持部材３５に取り付けられている。
摘要翻译：一种用于拆卸平板显示装置的装置，能够使拆卸工作合理化和简化。一种用于拆卸平板显示装置的装置（10）设置有：（A）用于真空吸附平板显示装置（50）的图像显示部分（51）的真空吸引装置（40）。（B）安装装置（30）; 和（C）用于在水平方向上移动安装装置（30）的移动装置（20）。安装装置（30）包括：（B-1）可移动地安装到移动装置上的安装构件（31）; 和（B-2）相对于安装构件（31）在水平方向上延伸并且安装到安装构件（31）以便能够围绕水平轴线（AXH）旋转的支撑构件（35）。如果需要，真空抽吸装置（40）以可绕垂直轴线（AXV）旋转的方式安装在支撑构件（35）上。

8. 发明申请

WO2010135077A2 SOLAR CELL TRANSPORT 审中-公开
标题翻译：太阳能电池运输
公开(公告)号：WO2010135077A2
公开(公告)日：2010-11-25
申请号：PCT/US2010033484
申请日：2010-05-04
申请人： KLA TENCOR CORP , TRUYENS CAROLUS
发明人： TRUYENS CAROLUS
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/042
CPC分类号： H01L21/67721 , H01L21/67706
摘要： A transport system for substrates, the transport system having at least one belt for receiving the substrates thereon, retainers disposed at spaced distances on the belt, the spaced distances being at least as wide as a width of the substrates, the retainers rising to an elevation above the belt that is sufficient to stop the substrates from sliding when the substrates bump against the retainers, a motor for moving the belt, and a motion controller for providing asymmetric acceleration and deceleration of the belt, such that the belt decelerates faster than the belt accelerates, thereby aligning the substrates against the retainers through successive acceleration and deceleration cycles.
摘要翻译：用于基底的输送系统，所述输送系统具有用于在其上接收基底的至少一个带，保持器，其间隔距离设置在所述带上，所述间隔距离至少与所述基底的宽度一样宽，所述保持器升高到高度在皮带上方，当基板撞击保持器时，足以阻止基板滑动，用于移动皮带的马达和用于提供皮带的不对称加速和减速的运动控制器，使得皮带比皮带更快地减速加速，从而通过连续的加速和减速循环将基板与保持器对准。

9. 发明申请

WO2010087218A1 可撓性基板の位置制御装置审中-公开
标题翻译：柔性基板的位置控制器
公开(公告)号：WO2010087218A1
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：PCT/JP2010/050140
申请日：2010-01-08
申请人：富士電機ホールディングス株式会社 , 横山勝治 , 山田隆典 , 和田剛典
发明人：横山　勝治 , 山田　隆典 , 和田　剛典
IPC分类号： B65H23/025 , B65H23/038 , H01L21/205 , H01L31/04
CPC分类号： B65H20/02 , B65H23/038 , B65H2301/321 , B65H2301/323 , B65H2301/325 , B65H2403/942 , B65H2404/144 , B65H2404/1451 , C23C14/562 , C23C16/545 , H01L21/67712 , H01L21/67721 , H01L21/6776 , H01L31/0392 , H01L31/03926 , H01L31/206 , Y02E10/50 , Y02P70/521 , Y10T156/17
摘要：　帯状の可撓性基板（１）を縦姿勢で横方向に搬送し、前記基板の搬送経路に設置された処理部にて、前記基板に処理を行なう処理装置における可撓性基板の位置制御装置（１００）は、前記基板の上側縁部を挟持する一対の挟持ローラ（１３１，１３２）と、前記一対の挟持ローラを回転可能かつ相互に接離可能に支持する支持機構（１４０）と、前記支持機構を介して前記一対の挟持ローラに加圧力を付与する付勢手段（１５０）と、前記付勢手段による前記加圧力の調整手段（１６０）とを備えている。前記一対の挟持ローラは、前記基板の挟持面に対する加圧方向が基板幅方向縁端側に向かう傾斜を有しかつ前記挟持面における回転方向が搬送方向と略同方向になるように支持されている。帯状可撓性基板の下垂や皺の発生を抑制でき、高品質の処理を行えると共に、可撓性基板の逆方向への搬送にも対応可能である。
摘要翻译：一种位于处理装置中的柔性基板的位置控制器（100），该处理装置在水平方向上以直立姿态传送条形柔性基板（1），并通过设置在传送路径上的处理部分处理基板基板的上侧设置有：一对夹着基板的上侧端部的夹持辊（131,132）支撑机构（140），其支撑所述一对夹持辊，使得所述辊可以旋转并且可以彼此接触或分离; 通过所述支撑机构对所述一对夹持辊施加加压力的按压机构（150）以及调节装置（160），其调节由所述按压装置施加的加压力。所述一对夹持辊被支撑成使得相对于其上将被夹持基板的基板表面的加压方向朝向基板宽度方向的端侧倾斜，并且在该基板表面上的旋转方向基本相同作为转移方向。位置控制器抑制条状柔性基板的下垂和皱纹的产生，使得可以进行高质量的加工，并且也可应用于柔性基板沿相反方向的转印。

10. 发明申请

WO2009015742A3 DEVICE AND METHOD FOR HOLDING AND TRANSPORTING SUBSTRATES 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR者和运输SUBSTRATES
公开(公告)号：WO2009015742A3
公开(公告)日：2009-04-30
申请号：PCT/EP2008005395
申请日：2008-07-02
申请人： SCHMID GMBH & CO GEB , NICOLET LAURENT
发明人： NICOLET LAURENT
IPC分类号： B65G49/06 , H01L21/00 , H01L21/677 , H01L31/18 , H05K13/00
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G49/064 , B65G2249/04 , H01L21/67057 , H01L21/67086 , H01L21/67721 , H05K13/0061
摘要： In order to transport printed circuit boards (30) through a processing system (12), printed circuit boards (30) lying one behind another can be connected by means of holding clips (22) to form a type of chain. The outer ends of the holding clips (22) are suspended on two spaced-apart transport chains (16) which provide for transport and mounting. The holding clips are formed in two parts with a lower holding part (22) and an upper holding part (40), between which a printed circuit board (30) is mounted.
摘要翻译：对于由保持托架（22）的装置通过一个处理单元（12）一个在另一个电路板的后面可以连接到一种链（30）的输送的印刷电路板（30）。该保持托架（22）的外端部安装在两个隔开的输送机链（16），其提供了用于传输和安装。所述托架被设计成两个部分以较低的保持部分（32）和上部分（40），在其之间的印刷电路板（30）被支撑。

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