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    • 12. 发明申请
    • 成形装置及び成形方法、インプリント用型、並びに当該インプリント用型を用いたインプリント方法
    • 成型设备,成型方法,压印模具以及使用印花模具的印刷方法
    • WO2013047753A1
    • 2013-04-04
    • PCT/JP2012/075094
    • 2012-09-28
    • SCIVAX株式会社河口宏輔萩野竜也田中覚
    • 河口宏輔萩野竜也田中覚
    • B29C59/02B29C51/10H01L21/027
    • B29C59/02B29C51/10B29C51/262B29C51/46B29C59/021B29C59/026B29C2059/023
    •  微細パターンを有するフィルムに立体形状を成形することができる成形装置及び成形方法、立体形状の表面に微細パターンを転写することができるインプリント用型、並びに当該インプリント用型を用いたインプリント方法を提供する。微細パターン20aを有するフィルム20に、当該フィルム20の厚みを超える立体形状を成形するための成形装置であって、フィルム20を微細パターン20a側から流体によって加圧するための加圧室30と、当該加圧室30内の流体の圧力を調節する加圧手段35と、を有する加圧部3と、立体形状からなる受圧面321を有し、フィルム20を支持する受圧ステージ32と、フィルム20の温度を調節する温調部と、で構成される。この成形装置を用いて、微細パターンが形成されたフィルム20に立体形状を成型する。また、これをインプリント用型として、インプリント技術に適用する。
    • 提供一种成型装置和成型方法,其能够在具有精细图案的膜中模制三维形状,能够将精细图案转印到三维形状的表面上的压印模具和压印方法 使用压印模具。 一种成型装置,其特征在于,在具有微细图案(20a)的膜(20)中,具有厚度超过所述膜(20)厚度的三维形状的成型装置由加压单元(3)构成,所述加压单元 用于通过来自精细图案(20a)侧的流体对膜(20)进行加压的室(30)和用于调节加压室(30)中的流体的压力的加压装置(35),受压级 32),其具有形成为三维形状并支撑所述膜(20)的压力接收表面(321)和调节所述膜(20)的温度的温度调节单元。 使用该成型装置,在形成微细图案的膜(20)中成型三维形状。 该模制的立体形状作为压印模具应用于压印技术。
    • 13. 发明申请
    • 剛体ステージを備えた流体圧インプリント装置及び加圧ステージ
    • 流体压力设备提供刚性阶段和加压阶段
    • WO2013035759A1
    • 2013-03-14
    • PCT/JP2012/072654
    • 2012-09-05
    • SCIVAX株式会社河口宏輔谷口豊田中覚
    • 河口宏輔谷口豊田中覚
    • B29C59/02H01L21/027
    • B29C59/02B29C2059/023
    •  被成形面の平面度を改善可能な流体圧インプリント装置及びそれに用いるステージを提供する。加圧部3における加圧室30内の流体圧によって型1の成型パターンを被成形物2に転写するインプリント装置であって、加圧室30の一部を構成する加圧室用筐体33と、型1と被成形物2を加圧するための剛体部材311と加圧室用筐体33と剛体部材311との間に配置され加圧室30を密閉する密閉部材312を有する加圧ステージ31と、加圧ステージ31の圧力を受けた型1および被成形物2を支持する受圧ステージ32と、加圧室30内の流体の圧力を調節する加圧手段35と、で構成される。
    • 提供能够提高待模制表面的平坦度的流体压力压印装置及其中使用的台。 一种用于通过加压单元(3)中的加压室(30)中的流体压力将模具(1)的模具图案转印到待模制对象(2)的压印装置由加压室壳体(33) ),其包括用于对模具(1)加压的刚性构件(311)和待模制物体(2)的加压台(31),以及密封构件(312),其构成加压室(30)的一部分, 设置在加压室壳体(33)和刚性构件(311)之间以密封加压室(30),以及支撑模具(1)和待模制物体(2)的压力承受台(32),其中 受压阶段(31)的压力,以及调节加压室(30)中的流体压力的加压装置(35)。
    • 14. 发明申请
    • 流体圧インプリント装置およびインプリント方法
    • 流体压力印刷装置和印刷方法
    • WO2012165310A1
    • 2012-12-06
    • PCT/JP2012/063397
    • 2012-05-24
    • SCIVAX株式会社河口宏輔田村裕宣田中覚
    • 河口宏輔田村裕宣田中覚
    • B29C59/02G11B5/84H01L21/027
    • G11B5/855
    •  型と被成形物との間の気体を確実に除去することができるインプリント装置およびインプリント方法を提供する。型100の成型パターンを被成形物200に転写するためのインプリント装置であって、型100と被成形物200を流体によって加圧するための加圧室51を有する加圧部5と、加圧部5の圧力を受けた型100および被成形物200を支持するステージ2と、加圧室51内の流体の圧力を調節する加圧手段6と、型100と被成形物200の周りの雰囲気を減圧するための減圧室91を有する減圧部9と、減圧室91内において、型100と被成形物200の間を離す離間手段7と、で構成する。
    • 提供了一种压印装置和压印方法,通过该方法可以可靠地去除模具和被模制物体之间的气体。 将模具(100)的模制图案转印到待模制对象(200)上的压印装置通过以下方式构成:加压单元(5),包括加压室(51)以对模具(100)加压 待流体物体(200); 支撑来自加压单元(5)的压力的模具(100)和待模制对象物(200)的阶段(2); 加压装置(6),用于调节加压室(51)中的流体的压力; 减压单元(9),包括用于使模具(100)周围的气氛和被成型体(200)减压的减压室(91) 以及分离装置(7),用于将模具(100)与待模制对象(200)分离到减压室(91)中。
    • 15. 发明申请
    • インプリント装置
    • 印刷设备
    • WO2012117930A1
    • 2012-09-07
    • PCT/JP2012/054389
    • 2012-02-23
    • SCIVAX株式会社河口宏輔谷口 豊田中覚
    • 河口宏輔谷口 豊田中覚
    • B29C59/04H01L21/027B29L7/00
    • B29C59/04
    •  フィルム状の被成形物に加わる圧力をコントロールできるインプリント装置を提供する。フィルム状の型100のパターンをフィルム状の被成形物200に転写するためのインプリント装置であって、円周面上で回転方向に所定距離Sの間、型100及び被成形物200を押圧する成型ロール1と、成型ロール1に型100を搬送する型搬送手段2と、無限軌道構造の被成形物用送りベルト31を有し、被成形物200を成型ロール1に搬送する被成形物搬送手段3と、成型ロール1が型100と被成形物200とを押圧している間に、被成形物200を露光又は加熱する定着手段4と、を具備する。
    • 提供一种能够控制施加到要形成的薄膜状制品的压力的压印装置。 压印装置被配置为将膜状模具(100)的图案转印到待成形的薄膜状物品(200)上,并设置有:用于按压模具(100)的成形辊(1)和 在辊(1)的圆周表面上沿旋转方向形成(200)预定距离(S)的制品; 用于将模具(100)输送到成型辊(1)的模具输送装置(2); 一种物品输送装置(3),包括具有用于将待成形物品(200)输送到成形辊(1)的环形履带结构的物品进给带(31); 以及用于当模具(100)和制品(200)被成形辊(1)按压时,用于使要形成的制品(200)露出以照亮或加热制品(200)的固定装置(4)。