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热词
    • 1. 发明申请
    • 成形装置及び成形方法、インプリント用型、並びに当該インプリント用型を用いたインプリント方法
    • 成型设备,成型方法,压印模具以及使用印花模具的印刷方法
    • WO2013047753A1
    • 2013-04-04
    • PCT/JP2012/075094
    • 2012-09-28
    • SCIVAX株式会社河口宏輔萩野竜也田中覚
    • 河口宏輔萩野竜也田中覚
    • B29C59/02B29C51/10H01L21/027
    • B29C59/02B29C51/10B29C51/262B29C51/46B29C59/021B29C59/026B29C2059/023
    •  微細パターンを有するフィルムに立体形状を成形することができる成形装置及び成形方法、立体形状の表面に微細パターンを転写することができるインプリント用型、並びに当該インプリント用型を用いたインプリント方法を提供する。微細パターン20aを有するフィルム20に、当該フィルム20の厚みを超える立体形状を成形するための成形装置であって、フィルム20を微細パターン20a側から流体によって加圧するための加圧室30と、当該加圧室30内の流体の圧力を調節する加圧手段35と、を有する加圧部3と、立体形状からなる受圧面321を有し、フィルム20を支持する受圧ステージ32と、フィルム20の温度を調節する温調部と、で構成される。この成形装置を用いて、微細パターンが形成されたフィルム20に立体形状を成型する。また、これをインプリント用型として、インプリント技術に適用する。
    • 提供一种成型装置和成型方法,其能够在具有精细图案的膜中模制三维形状,能够将精细图案转印到三维形状的表面上的压印模具和压印方法 使用压印模具。 一种成型装置,其特征在于,在具有微细图案(20a)的膜(20)中,具有厚度超过所述膜(20)厚度的三维形状的成型装置由加压单元(3)构成,所述加压单元 用于通过来自精细图案(20a)侧的流体对膜(20)进行加压的室(30)和用于调节加压室(30)中的流体的压力的加压装置(35),受压级 32),其具有形成为三维形状并支撑所述膜(20)的压力接收表面(321)和调节所述膜(20)的温度的温度调节单元。 使用该成型装置,在形成微细图案的膜(20)中成型三维形状。 该模制的立体形状作为压印模具应用于压印技术。
    • 2. 发明申请
    • ローラ式加圧装置、インプリント装置およびローラ式加圧方法
    • 辊式加压装置,印刷装置和辊式加压方法
    • WO2015186736A1
    • 2015-12-10
    • PCT/JP2015/066026
    • 2015-06-03
    • SCIVAX株式会社
    • 河口宏輔谷口豊田中覚齋藤幸正杉山正樹的野大輔
    • H01L21/027B29C59/04
    • B29C59/022B29C59/002B29C59/04B29C2059/023H01L21/027
    •  メインローラに生じる弾性変形のむらを抑制することができ、対象物を均一に加圧することができるローラ式加圧装置、インプリント装置及びローラ式加圧方法を提供する。型1と被成形物2のような対象物を加圧するためのものであって、少なくとも表面が弾性部材37aで形成され、対象物を加圧するメインローラ37と、メインローラ37を対象物に対して相対的に移動するためのローラ移動手段と、メインローラ37が対象物に加える圧力を調節する調圧部と、メインローラ37の圧力を、対象物を間に挟んで受ける受圧ステージ322と、少なくとも表面が弾性部材37aより弾性率の大きい部材で形成され、メインローラ37を支持する中間ローラ38と、メインローラ37及び中間ローラ38より軸方向の長さが短く形成され、中間ローラ38を支持するバックアップローラ39と、で構成される。
    • 提供了一种辊式加压装置,其中可以使主辊的弹性变形的不均匀性最小化并且使被检体均匀地加压; 印记装置; 和辊式加压方法。 本发明用于对诸如模具(1)和模制品(2)的对象进行加压,包括:主辊(37),用于按压对象,至少主辊(37)的表面由 弹性构件(37a); 用于使主辊(37)相对于被检体移动的滚子移动装置; 压力调节单元,用于调节由主辊(37)施加到被检体的压力; 压力接收台(322),用于从主辊(37)接收通过被检体的压力; 用于支撑主辊(37)的中间辊(38)至少由中间辊(38)的表面由弹性模量高于弹性部件(37a)的材料形成。 以及用于支撑中间辊(38)的支撑辊(39),所述支撑辊(39)的轴向长度小于主辊(37)和中间辊(38)的轴向长度。
    • 3. 发明申请
    • 加圧部用固定具を備えた流体圧インプリント装置
    • 流体压力加压装置提供加压装置工具
    • WO2013008759A1
    • 2013-01-17
    • PCT/JP2012/067386
    • 2012-07-06
    • SCIVAX株式会社河口宏輔田村裕宣田中覚
    • 河口宏輔田村裕宣田中覚
    • B29C59/02G11B5/84H01L21/027
    • B29C59/02G11B5/855
    •  転写面積が拡大しても、小型の開閉手段を用いることができるインプリント装置を提供する。型の成型パターンを被成形物に転写するためのインプリント装置であって、型100の成型パターンを被成形物200に転写するためのものであって、型100と被成形物200を流体によって加圧するための加圧室51を有する加圧部5と、加圧部5の圧力を受けた型100および被成形物200を支持するステージ2と、加圧室51内の流体の圧力を調節する加圧手段6と、加圧部5とステージ2を相対的に移動するための開閉手段8と、加圧部5で生じる力が開閉手段8に加わるのを防止又は抑制するために、加圧部5とステージ2を固定する固定具1と、で構成する。
    • 提供即使扩大传送区域也能够使用小的开/关手段的压印装置。 压印装置用于将模具的模制图案转印到待模制对象上,即将模具(100)的模制图案转印到待模制对象(200)上,并且通过以下步骤构成:加压 单元(5)包括用于向模具(100)和待模制物体(200)施加流体压力的加压室(51); 用于支撑来自加压单元(5)的压力的模具(100)和待模制对象(200)的阶段(2); 用于调节加压室(51)中的流体压力的加压装置(6); 用于相对于彼此移动加压单元(5)和平台(2)的打开/关闭装置(8) 以及用于固定加压单元(5)和平台(2)的固定工具(1),以防止或抑制在加压单元(5)中产生的力作用在开/关装置(8)上。
    • 4. 发明申请
    • ローラ式加圧装置、インプリント装置、ローラ式加圧方法
    • 辊式加压装置,加压器和辊式加压方法
    • WO2014088107A1
    • 2014-06-12
    • PCT/JP2013/082888
    • 2013-12-06
    • SCIVAX株式会社
    • 河口宏輔谷口豊田中覚
    • B29C59/02H01L21/027
    • B29C59/04B29C59/02B29C59/022B29C2059/023B29L2007/001
    • ローラの圧力を制御して、型や被成形物等の対象物を加圧することができるローラ式加圧装置及び当該ローラ式加圧装置を利用したインプリント装置、インプリント方法を提供する。型(1)や被成形物(2)等の対象物をメインローラ(38)によって加圧するためのものであって、メインローラ(38)が配置された調圧プレートと、メインローラ(38)を対象物に対して相対的に移動するためのローラ移動手段と、調圧プレート(332)の両面にかかる流体の差圧によって生じる力がメインローラ(38)に加わるように当該調圧プレート(332)を保持する調圧部と、メインローラ(38)の圧力を、対象物を間に挟んで受ける受圧ステージ(322)と、調圧プレート(332)の両面にかかる流体圧の差圧を調節する調圧手段と、メインローラ(38)が対象物に加える軸方向の圧力を均一にする均圧手段(バックアップローラ(39))と、で構成する。
    • 本发明提供了一种辊式加压装置,其控制辊的压力以使得能够将压力施加到待模制的模具或制品的物体上,并且还提供打印机和压印方法,其中辊 型加压装置。 辊式加压装置用于使模具(1)或制品(2)成型的物体(2)通过主辊(38)进行加压,其中,辊式加压装置包括压力加压装置, 调节板,滚动移动装置,压力调节单元,受压载物台(322),压力调节装置和压力平衡装置(后备辊(39))。 主辊(38)设置在压力调节板中,辊移动装置相对于物体移动主辊(38)。 压力调节单元保持压力调节板(332),使得由施加到压力调节板(332)的两个表面的流体的压力差产生的力被施加到主辊(38)。 压力承受台322接收夹在其间的物体的主辊38的压力。 压力调节装置调节在压力调节板(332)的两个表面上施加的流体的压力差。 压力均衡装置使在轴向上施加的主辊(38)的压力等于物体。
    • 6. 发明申请
    • 離型装置及び離型方法
    • 模具释放装置和模具释放方法
    • WO2015072572A1
    • 2015-05-21
    • PCT/JP2014/080402
    • 2014-11-17
    • SCIVAX株式会社
    • 河口宏輔田村裕宣田中覚
    • B29C59/02
    • B29C59/022B29C37/0003B29C37/0007B29C2059/023
    •  剥離位置や離型力が制御された離型を行う離型装置を提供する。少なくともいずれか一方がフィルム状である型1および被成形物2を離型するためのものであって、所定の剥離位置10(型と被成形物を剥離させる位置)まで型1と被成形物2とが剥離しないように加圧する剥離防止手段3と、型1又は被成形物2のいずれか一方を保持する保持部4と、フィルム状である型1又は被成形物2に張力を付与する張力付与手段5と、剥離防止手段3と型1及び被成形物2とを相対的に移動させる移動手段6と、で主に構成される。
    • 提供了一种用于执行脱模的脱模装置,其中分离位置和脱模强度被控制。 一种用于从形成的物体(2)释放模具(1)的装置,其中至少一个是膜,主要由以下部件构成:用于压制的防分离装置(3),使得模具(1)和 所形成的物体(2)不分离直到指定的分离位置(10)(模具和被形成物体分开的位置); 用于保持模具(1)或被形成物体(2)的保持部(4); 用于在膜状模具(1)或被形成物体(2)上施加张力的张力施加装置(5); 以及用于相对于彼此移动防分离装置(3),模具(1)和形成物体(2)的移动装置(6)。
    • 7. 发明申请
    • 温調装置およびこれを適用したインプリント装置
    • 温度调节装置,以及使用相同的装置
    • WO2012096019A1
    • 2012-07-19
    • PCT/JP2011/066500
    • 2011-07-20
    • SCIVAX株式会社河口宏輔田中覚
    • 河口宏輔田中覚
    • B29C33/02B29C59/02H01L21/027
    • F28D1/06B29C33/04B29C33/424B82Y10/00B82Y40/00G03F7/0002H01L21/67109
    •  型又は被成形物等の対象物を均一かつ高速に加熱及び冷却することができる温調装置およびこれを適用したインプリント装置を提供する。型100又は被成形物200等の対象物の温度を調節するための温調装置であって、複数の供給口11から所定温度の流体を供給する流体供給手段1と、対象物を保持する保持面22aと、供給口11から供給された流体を受ける流体受け面22bと、を有する保持手段22と、供給口11を内包する温調室31を保持手段22と共に構成する温調用筐体3と、温調室31内の流体を排出する排出流路4と、を具備する。
    • 提供:能够高速地均匀地加热和冷却诸如模具或待形成物体的物体的温度调节装置; 以及使用所述温度调节装置的压印装置。 一种温度调节装置,用于调节诸如模具(100)或待形成物体(200)的物体的温度,所述温度调节装置设置有:流体供应装置(1),用于供应具有预定 温度来自多个供应出口(11); 具有用于保持物体的保持表面(22a)的保持装置(22)和用于接收从供给出口(11)供应的流体的流体接收表面(22b) 用于与保持装置(22)一起形成容纳供应出口(11)的温度调节室(31)的温度调节壳体(3)。 以及用于在温度调节室(31)内排出流体的排出流路(4)。
    • 8. 发明申请
    • 剛体ステージを備えた流体圧インプリント装置及び加圧ステージ
    • 流体压力设备提供刚性阶段和加压阶段
    • WO2013035759A1
    • 2013-03-14
    • PCT/JP2012/072654
    • 2012-09-05
    • SCIVAX株式会社河口宏輔谷口豊田中覚
    • 河口宏輔谷口豊田中覚
    • B29C59/02H01L21/027
    • B29C59/02B29C2059/023
    •  被成形面の平面度を改善可能な流体圧インプリント装置及びそれに用いるステージを提供する。加圧部3における加圧室30内の流体圧によって型1の成型パターンを被成形物2に転写するインプリント装置であって、加圧室30の一部を構成する加圧室用筐体33と、型1と被成形物2を加圧するための剛体部材311と加圧室用筐体33と剛体部材311との間に配置され加圧室30を密閉する密閉部材312を有する加圧ステージ31と、加圧ステージ31の圧力を受けた型1および被成形物2を支持する受圧ステージ32と、加圧室30内の流体の圧力を調節する加圧手段35と、で構成される。
    • 提供能够提高待模制表面的平坦度的流体压力压印装置及其中使用的台。 一种用于通过加压单元(3)中的加压室(30)中的流体压力将模具(1)的模具图案转印到待模制对象(2)的压印装置由加压室壳体(33) ),其包括用于对模具(1)加压的刚性构件(311)和待模制物体(2)的加压台(31),以及密封构件(312),其构成加压室(30)的一部分, 设置在加压室壳体(33)和刚性构件(311)之间以密封加压室(30),以及支撑模具(1)和待模制物体(2)的压力承受台(32),其中 受压阶段(31)的压力,以及调节加压室(30)中的流体压力的加压装置(35)。
    • 9. 发明申请
    • 流体圧インプリント装置およびインプリント方法
    • 流体压力印刷装置和印刷方法
    • WO2012165310A1
    • 2012-12-06
    • PCT/JP2012/063397
    • 2012-05-24
    • SCIVAX株式会社河口宏輔田村裕宣田中覚
    • 河口宏輔田村裕宣田中覚
    • B29C59/02G11B5/84H01L21/027
    • G11B5/855
    •  型と被成形物との間の気体を確実に除去することができるインプリント装置およびインプリント方法を提供する。型100の成型パターンを被成形物200に転写するためのインプリント装置であって、型100と被成形物200を流体によって加圧するための加圧室51を有する加圧部5と、加圧部5の圧力を受けた型100および被成形物200を支持するステージ2と、加圧室51内の流体の圧力を調節する加圧手段6と、型100と被成形物200の周りの雰囲気を減圧するための減圧室91を有する減圧部9と、減圧室91内において、型100と被成形物200の間を離す離間手段7と、で構成する。
    • 提供了一种压印装置和压印方法,通过该方法可以可靠地去除模具和被模制物体之间的气体。 将模具(100)的模制图案转印到待模制对象(200)上的压印装置通过以下方式构成:加压单元(5),包括加压室(51)以对模具(100)加压 待流体物体(200); 支撑来自加压单元(5)的压力的模具(100)和待模制对象物(200)的阶段(2); 加压装置(6),用于调节加压室(51)中的流体的压力; 减压单元(9),包括用于使模具(100)周围的气氛和被成型体(200)减压的减压室(91) 以及分离装置(7),用于将模具(100)与待模制对象(200)分离到减压室(91)中。
    • 10. 发明申请
    • インプリント装置
    • 印刷设备
    • WO2012117930A1
    • 2012-09-07
    • PCT/JP2012/054389
    • 2012-02-23
    • SCIVAX株式会社河口宏輔谷口 豊田中覚
    • 河口宏輔谷口 豊田中覚
    • B29C59/04H01L21/027B29L7/00
    • B29C59/04
    •  フィルム状の被成形物に加わる圧力をコントロールできるインプリント装置を提供する。フィルム状の型100のパターンをフィルム状の被成形物200に転写するためのインプリント装置であって、円周面上で回転方向に所定距離Sの間、型100及び被成形物200を押圧する成型ロール1と、成型ロール1に型100を搬送する型搬送手段2と、無限軌道構造の被成形物用送りベルト31を有し、被成形物200を成型ロール1に搬送する被成形物搬送手段3と、成型ロール1が型100と被成形物200とを押圧している間に、被成形物200を露光又は加熱する定着手段4と、を具備する。
    • 提供一种能够控制施加到要形成的薄膜状制品的压力的压印装置。 压印装置被配置为将膜状模具(100)的图案转印到待成形的薄膜状物品(200)上,并设置有:用于按压模具(100)的成形辊(1)和 在辊(1)的圆周表面上沿旋转方向形成(200)预定距离(S)的制品; 用于将模具(100)输送到成型辊(1)的模具输送装置(2); 一种物品输送装置(3),包括具有用于将待成形物品(200)输送到成形辊(1)的环形履带结构的物品进给带(31); 以及用于当模具(100)和制品(200)被成形辊(1)按压时,用于使要形成的制品(200)露出以照亮或加热制品(200)的固定装置(4)。