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1. 发明申请

WO2012165310A1 流体圧インプリント装置およびインプリント方法审中-公开
标题翻译：流体压力印刷装置和印刷方法
公开(公告)号：WO2012165310A1
公开(公告)日：2012-12-06
申请号：PCT/JP2012/063397
申请日：2012-05-24
申请人： SCIVAX株式会社 , 河口宏輔 , 田村裕宣 , 田中覚
发明人：河口宏輔 , 田村裕宣 , 田中覚
IPC分类号： B29C59/02 , G11B5/84 , H01L21/027
CPC分类号： G11B5/855
摘要：　型と被成形物との間の気体を確実に除去することができるインプリント装置およびインプリント方法を提供する。型100の成型パターンを被成形物200に転写するためのインプリント装置であって、型100と被成形物200を流体によって加圧するための加圧室51を有する加圧部５と、加圧部５の圧力を受けた型100および被成形物200を支持するステージ２と、加圧室51内の流体の圧力を調節する加圧手段６と、型100と被成形物200の周りの雰囲気を減圧するための減圧室91を有する減圧部９と、減圧室91内において、型100と被成形物200の間を離す離間手段７と、で構成する。
摘要翻译：提供了一种压印装置和压印方法，通过该方法可以可靠地去除模具和被模制物体之间的气体。将模具（100）的模制图案转印到待模制对象（200）上的压印装置通过以下方式构成：加压单元（5），包括加压室（51）以对模具（100）加压待流体物体（200）; 支撑来自加压单元（5）的压力的模具（100）和待模制对象物（200）的阶段（2）; 加压装置（6），用于调节加压室（51）中的流体的压力; 减压单元（9），包括用于使模具（100）周围的气氛和被成型体（200）减压的减压室（91）以及分离装置（7），用于将模具（100）与待模制对象（200）分离到减压室（91）中。

2. 发明申请

WO2013008759A1 加圧部用固定具を備えた流体圧インプリント装置审中-公开
标题翻译：流体压力加压装置提供加压装置工具
公开(公告)号：WO2013008759A1
公开(公告)日：2013-01-17
申请号：PCT/JP2012/067386
申请日：2012-07-06
申请人： SCIVAX株式会社 , 河口宏輔 , 田村裕宣 , 田中覚
发明人：河口宏輔 , 田村裕宣 , 田中覚
IPC分类号： B29C59/02 , G11B5/84 , H01L21/027
CPC分类号： B29C59/02 , G11B5/855
摘要：　転写面積が拡大しても、小型の開閉手段を用いることができるインプリント装置を提供する。型の成型パターンを被成形物に転写するためのインプリント装置であって、型100の成型パターンを被成形物200に転写するためのものであって、型100と被成形物200を流体によって加圧するための加圧室51を有する加圧部５と、加圧部５の圧力を受けた型100および被成形物200を支持するステージ２と、加圧室51内の流体の圧力を調節する加圧手段６と、加圧部５とステージ２を相対的に移動するための開閉手段８と、加圧部５で生じる力が開閉手段８に加わるのを防止又は抑制するために、加圧部５とステージ２を固定する固定具１と、で構成する。
摘要翻译：提供即使扩大传送区域也能够使用小的开/关手段的压印装置。压印装置用于将模具的模制图案转印到待模制对象上，即将模具（100）的模制图案转印到待模制对象（200）上，并且通过以下步骤构成：加压单元（5）包括用于向模具（100）和待模制物体（200）施加流体压力的加压室（51）; 用于支撑来自加压单元（5）的压力的模具（100）和待模制对象（200）的阶段（2）; 用于调节加压室（51）中的流体压力的加压装置（6）; 用于相对于彼此移动加压单元（5）和平台（2）的打开/关闭装置（8）以及用于固定加压单元（5）和平台（2）的固定工具（1），以防止或抑制在加压单元（5）中产生的力作用在开/关装置（8）上。

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