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1. 发明申请

WO2013047753A1 成形装置及び成形方法、インプリント用型、並びに当該インプリント用型を用いたインプリント方法审中-公开
标题翻译：成型设备，成型方法，压印模具以及使用印花模具的印刷方法
公开(公告)号：WO2013047753A1
公开(公告)日：2013-04-04
申请号：PCT/JP2012/075094
申请日：2012-09-28
申请人： SCIVAX株式会社 , 河口宏輔 , 萩野竜也 , 田中覚
发明人：河口宏輔 , 萩野竜也 , 田中覚
IPC分类号： B29C59/02 , B29C51/10 , H01L21/027
CPC分类号： B29C59/02 , B29C51/10 , B29C51/262 , B29C51/46 , B29C59/021 , B29C59/026 , B29C2059/023
摘要：　微細パターンを有するフィルムに立体形状を成形することができる成形装置及び成形方法、立体形状の表面に微細パターンを転写することができるインプリント用型、並びに当該インプリント用型を用いたインプリント方法を提供する。微細パターン20aを有するフィルム20に、当該フィルム20の厚みを超える立体形状を成形するための成形装置であって、フィルム20を微細パターン20a側から流体によって加圧するための加圧室30と、当該加圧室30内の流体の圧力を調節する加圧手段35と、を有する加圧部３と、立体形状からなる受圧面321を有し、フィルム20を支持する受圧ステージ32と、フィルム20の温度を調節する温調部と、で構成される。この成形装置を用いて、微細パターンが形成されたフィルム20に立体形状を成型する。また、これをインプリント用型として、インプリント技術に適用する。
摘要翻译：提供一种成型装置和成型方法，其能够在具有精细图案的膜中模制三维形状，能够将精细图案转印到三维形状的表面上的压印模具和压印方法使用压印模具。一种成型装置，其特征在于，在具有微细图案（20a）的膜（20）中，具有厚度超过所述膜（20）厚度的三维形状的成型装置由加压单元（3）构成，所述加压单元用于通过来自精细图案（20a）侧的流体对膜（20）进行加压的室（30）和用于调节加压室（30）中的流体的压力的加压装置（35），受压级 32），其具有形成为三维形状并支撑所述膜（20）的压力接收表面（321）和调节所述膜（20）的温度的温度调节单元。使用该成型装置，在形成微细图案的膜（20）中成型三维形状。该模制的立体形状作为压印模具应用于压印技术。

2. 发明申请

WO2014034576A1 インプリント装置およびインプリント方法审中-公开
标题翻译：印刷设备和印刷方法
公开(公告)号：WO2014034576A1
公开(公告)日：2014-03-06
申请号：PCT/JP2013/072620
申请日：2013-08-23
申请人： SCIVAX株式会社
发明人：河口宏輔 , 萩野竜也 , 田中覚
IPC分类号： H01L21/027 , B29C39/10 , B29C43/10 , B29C59/02 , G02B1/11
CPC分类号： B29C59/02 , B29C43/10 , B29C43/36 , B29C51/28 , B29C2043/3233 , B29C2043/3605 , B29C2043/3647 , B29C2043/3652 , B29C2059/023 , B29C2791/006 , B29C2791/007 , B29D11/00 , B29D11/00336 , B82Y40/00 , G03F7/0002
摘要：被成形物の両面に成型パターンを形成するインプリント装置およびインプリント方法を提供する。可撓性のある第１の型（１Ａ）および第２の型（１Ｂ）を用いて被成形物（２）の両面に成型パターンを転写するためのものであって、第１圧力室（30Ａ）の圧力を型（１Ａ）と被成形物（２）に加えるための第１筐体（33Ａ）と、第２圧力室（30Ｂ）の圧力を型（１Ｂ）と被成形物（２）に加えるための第２筐体（33Ｂ）と、圧力室（30Ａ）および圧力室（30Ｂ）の圧力を調節する加圧手段（35）と、型（１Ａ）と被成形物（２）とを接離方向に相対的に移動可能な第１移動手段と、型（１Ｂ）と被成形物とを接離方向に相対的に移動可能な第２移動手段と、筐体（33Ａ）と筐体（33Ｂ）の間に形成される減圧室（40）を減圧し、型（１Ａ）と被成形物（２）の間および型（１Ｂ）と被成形物（２）の間の流体を除去する減圧手段（45）と、減圧室（40）と圧力室（30Ａ）および圧力室（30Ｂ）との圧力差が小さくなるように調節する調圧手段と、で構成する。
摘要翻译：提供了在待模制对象的两侧上形成模制图案的压印装置和压印方法。压印装置通过使用第一柔性模具（1A）和第二柔性模具（1B）在待模制对象物（2）的两侧上传送模制图案，并且包括：第一壳体（33A），用于将压力第一压力室（30A）到模具（1A）和待模制物体（2）; 用于将第二压力室（30B）中的压力施加到模具（1B）和待模制对象（2）的第二壳体（33B）; 用于调节压力室（30A）和压力室（30B）中的压力的压力施加装置（35）; 能够在接近和分离方向上相对移动模具（1A）和待模制物体（2）的第一移动装置; 第二移动装置，其能够在接近和分离方向上相对移动模具（1B）和待模制物体; 用于减小形成在壳体（33A）和壳体（33B）之间的减压室（40）中的压力以去除模具（1A）和待模制物体（2）之间的流体的减压装置（45））和模具（1B）与待模制物体（2）之间; 以及用于进行调节以减小减压室（40）和压力室（30A）之间的压力差以及减压室（40）和压力室（30B）之间的压力差的压力调节装置。

3. 发明申请

WO2013105658A1 成形方法及び成形装置审中-公开
标题翻译：成型方法和成型装置
公开(公告)号：WO2013105658A1
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：PCT/JP2013/050464
申请日：2013-01-11
申请人： SCIVAX株式会社
发明人：河口宏輔 , 萩野竜也 , 田中覚
IPC分类号： B29C51/10 , B29C51/26
CPC分类号： B29C51/10 , B29C51/06 , B29C51/262 , B29C51/303 , B29C51/421 , B29C51/425 , B29C51/46 , B29C2791/007 , B29K2101/12 , B29K2105/256 , B29L2031/756 , B29L2031/7739
摘要：　簡易かつ安価に、微細パターンを有するフィルムに曲面を成形することができる成形方法及びそのための成形装置を提供する。微細パターン20aを有するパターン面と当該パターン面と対向する裏面とを有するフィルム20の所定の被成形領域に、当該フィルム20の厚みを超える曲面を成形するためのものであって、フィルム20の被成形領域の外周を固定手段94で固定する固定工程と、フィルム20を加熱手段95で加熱する第１加熱工程と、固定工程でフィルム20を固定する側の圧力が小さくなるように、調圧手段でフィルム20の両面に所定の圧力差を生じさせる調圧工程と、でプレ曲面を形成する。このプレ曲面を所定の曲面である受圧面を有する受圧ステージ32上で成形し、所望の曲面を形成する。
摘要翻译：提供了一种成型方法，其可以简单且廉价地在具有微观图案的膜中模制弯曲面，以及用于其的模制装置。在具有设置有微观图案（20a）的图案面和与图案面相反一侧的后表面的膜（20）的规定成型区域中成型的方法，具有大于（20），所述方法用预成形面形成：使锚固装置（94）固定所述薄膜（20）的模制区域的外圆周的锚定步骤; 第一加热步骤，用加热装置加热薄膜（20）; 以及压力调节步骤，通过压力调节装置使膜（20）的两个面中的规定压力差成为一定程度的压力，使得在锚定步骤中粘贴薄膜（20）的一侧的压力下降。预弯曲面在具有作为规定曲面的受压面的受压台（32）上成型，形成所需的曲面。

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