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1. 发明申请

WO2007037085A1 熱インプリント用樹脂审中-公开
标题翻译：树脂用于热印
公开(公告)号：WO2007037085A1
公开(公告)日：2007-04-05
申请号：PCT/JP2006/316772
申请日：2006-08-25
申请人： SCIVAX株式会社 , 丸善石油化学株式会社 , 竹森利郁 , 高谷佳輝 , 三田孝仁 , 飯塚徹也 , 羽島裕二 , 楠浦崇央 , 藤井充 , 田口拓志 , ミトラオヌポン
发明人：竹森利郁 , 高谷佳輝 , 三田孝仁 , 飯塚徹也 , 羽島裕二 , 楠浦崇央 , 藤井充 , 田口拓志 , ミトラオヌポン
IPC分类号： C08F32/00 , B29C45/00 , B29C59/02 , C08G61/08 , B29K45/00
CPC分类号： B29C59/005 , B29C59/026 , B29K2045/00 , C08F232/08 , C08G61/06 , C08G61/08 , H05K1/032 , H05K3/0014 , H05K3/107 , H05K2201/0158 , H05K2203/0108
摘要： A resin for thermal imprint comprised of a cycloolefin thermoplastic resin containing in its main chain at least one of skeletons of the following formula 1 or formula 2 for use in the production of injection molding, which resin has glass transition temperature, Tg(°C), and value of MFR at 260°C, [M], satisfying the following inequality (1), provided that [M]>10. Consequently, there can be attained excellence in thermal imprint performance (transferability, mold release property, etc.) and contribution toward enhancement of productivity (through-put, etc.). Formula 1: Formula 2: Inequality (1): Tg(°C)
摘要翻译：一种用于热压印的树脂，其由在其主链中含有下式1或式2的至少一种骨架的环烯烃热塑性树脂组成，用于生产注射成型，该树脂具有玻璃化转变温度，Tg（℃），并且在260℃下的MFR值[M]满足以下不等式（1），条件是[M]> 10。因此，可以实现热压印性能（转印性，脱模性等）的优异性和对提高生产率的贡献（投入等）。式1：式2：不等式（1）：Tg（℃）<219×log [M] -104

2. 发明申请

WO2007029524A1 圧力を制御した微細加工方法および微細加工装置审中-公开
标题翻译：在控制压力和微生物装置下的微生物方法
公开(公告)号：WO2007029524A1
公开(公告)日：2007-03-15
申请号：PCT/JP2006/316733
申请日：2006-08-25
申请人： SCIVAX株式会社 , 楠浦崇央 , 藤井充
发明人：楠浦崇央 , 藤井充
IPC分类号： H01L21/027 , B29C59/02 , B81C5/00 , B82B3/00
CPC分类号： B29C59/022 , B29C2059/023
摘要：　所定のパターンを有する型１００と樹脂等の加工対象物２００とを押圧して、パターンを加工対象物２００の被成型面に転写する微細加工方法において、型１００と加工対象物２００をそれぞれ所定温度に加熱する加熱工程と、加熱工程の後、型１００と前記加工対象物２００とを１ＭＰａ以下の圧力で押圧する押圧工程と、を有する微細加工方法およびこれを実現するための微細加工装置１を提供し、型１００と加工対象物２００とが接着するのを抑制し、加工対象物に転写されたパターンの型崩れの発生を防止する。
摘要翻译：一种微加工方法，其中用树脂等的给定图案和加工对象（200）对模具（100）施加压力，从而将图案转移到待加工对象（200）的成形表面，该方法包括在相应给定温度和加热步骤之后的压力施加步骤中加热模具（100）和加工对象（200）的加热步骤，在模具（100）和加工对象（200）的压力 1 MPa以下。此外，提供了用于实现微细加工方法的微细加工装置（1）。因此，模具（100）与加工对象（200）的粘合被抑制，并且防止了转印到加工对象物上的图案的任何形状的损失。

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