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1. 发明专利

TWI666164B 微機械感測器及製造微機械感測器的方法有权
简体标题：微机械传感器及制造微机械传感器的方法
公开(公告)号：TWI666164B
公开(公告)日：2019-07-21
申请号：TW104124502
申请日：2015-07-29
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 茂爾羅伯特 , MAUL, ROBERT
IPC分类号： B81B7/02 , G01P15/125 , G01C19/5733 , B81B3/00 , B81C1/00

2. 发明专利

TWI664408B 微機械壓力感測器裝置及相關製造方法（一）有权
简体标题：微机械压力传感器设备及相关制造方法（一）
公开(公告)号：TWI664408B
公开(公告)日：2019-07-01
申请号：TW104100927
申请日：2015-01-12
申请人：德商羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：凱爾貝爾阿爾德 , KAELBERER, ARND , 蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 克拉森約翰尼斯 , CLASSEN, JOHANNES
IPC分类号： G01L9/12 , G01P15/125 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00

3. 发明专利

TW201843455A 電容式微機電加速度計审中-公开
简体标题：电容式微机电加速度计
公开(公告)号：TW201843455A
公开(公告)日：2018-12-16
申请号：TW107113200
申请日：2018-04-18
申请人：日商村田製作所股份有限公司 , MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：里歐庫瑪堤 , LIUKKU, MATTI , 瑞特庫尼斐勒佩卡 , RYTKONEN, VILLE-PEKKA
IPC分类号： G01P15/125 , G01P1/12
摘要：本發明描述一種電容式微機械加速度計，其具有至少一第一感測器，該至少一第一感測器包含為一雙側蹺蹺板框架之一轉子。該轉子包含在其旋轉軸線之第一側上的一或多個第一阻尼板及在其旋轉軸線之第二側上的一或多個第一阻尼板。一或多個第二阻尼板在該一或多個第一阻尼板中之至少一些上方或下方固定至內部封裝平面，使得至少一個第一阻尼板與該軸線之每一側上的一第二阻尼板之突出部重疊。該框架狀轉子可環繞位於基板平面中之第二及第三加速度感測器。
简体摘要：本发明描述一种电容式微机械加速度计，其具有至少一第一传感器，该至少一第一传感器包含为一双侧跷跷板框架之一转子。该转子包含在其旋转轴线之第一侧上的一或多个第一阻尼板及在其旋转轴线之第二侧上的一或多个第一阻尼板。一或多个第二阻尼板在该一或多个第一阻尼板中之至少一些上方或下方固定至内部封装平面，使得至少一个第一阻尼板与该轴线之每一侧上的一第二阻尼板之突出部重叠。该框架状转子可环绕位于基板平面中之第二及第三加速度传感器。

4. 发明专利

TWI611189B 用於在電容感測器中進行連續自我測試的裝置和方法有权
简体标题：用于在电容传感器中进行连续自我测试的设备和方法
公开(公告)号：TWI611189B
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：TW104136836
申请日：2015-11-09
申请人：村田製作所股份有限公司 , MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：艾爾托能拉瑟 , AALTONEN, LASSE , 薩羅提姆 , SALO, TEEMU
IPC分类号： G01P15/125 , G01P21/00 , G01C25/00
CPC分类号： G01P21/00 , G01C25/00 , G01P15/125

5. 发明专利

TW201720745A 半撓性的驗證質量审中-公开
简体标题：半挠性的验证质量
公开(公告)号：TW201720745A
公开(公告)日：2017-06-16
申请号：TW105129586
申请日：2016-09-12
申请人：村田製作所股份有限公司 , MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
发明人：布洛克菲斯特安西 , BLOMQVIST, ANSSI , 瑞特庫尼斐勒佩卡 , RYTKONEN, VILLE-PEKKA , 里歐庫瑪堤 , LIUKKU, MATTI
IPC分类号： B81B3/00 , B81B7/00 , B81C1/00 , G01P15/08 , G01P15/125
CPC分类号： G01M7/08 , B81B3/001 , B81B3/0013 , B81B7/0016 , B81B2201/0235 , B81C1/00968 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P2015/0814 , G01P2015/0874
摘要：本發明係關於一種微機電裝置，其包括一半撓性驗證質量，該半撓性驗證質量包含至少一個初級部分、至少一個次級部分以及懸置該半撓性驗證質量之所述至少一個初級部分及所述至少一個次級部分的至少一個剛性彈簧。該剛性彈簧實質上使得所述至少一個初級部分及所述至少一個次級部分在該裝置處於其正常操作範圍內時作為單個、剛性實體移動。該裝置進一步包括經組態以使所述至少一個初級部分停止之至少一個第一擋止件結構。該半撓性驗證質量經組態以在該裝置經受藉由超出該裝置之該正常操作範圍之一力衝擊該裝置之一震動時經由所述至少一個剛性彈簧之偏轉而變形。在該震動引起該半撓性驗證質量至少沿著一移動軸在一個方向上之一運動時，所述至少一個剛性彈簧進一步經組態以產生一恢復力，該恢復力使得至少該半撓性驗證質量之所述至少一個次級部分被驅動進入在與由該震動引起之沿著該移動軸之該運動相反之一方向上的一恢復運動，其中處於該恢復運動中之所述至少一個次級部分之動量進一步使得所述至少一個初級部分自該第一擋止件結構移走。
简体摘要：本发明系关于一种微机电设备，其包括一半挠性验证质量，该半挠性验证质量包含至少一个初级部分、至少一个次级部分以及悬置该半挠性验证质量之所述至少一个初级部分及所述至少一个次级部分的至少一个刚性弹簧。该刚性弹簧实质上使得所述至少一个初级部分及所述至少一个次级部分在该设备处于其正常操作范围内时作为单个、刚性实体移动。该设备进一步包括经组态以使所述至少一个初级部分停止之至少一个第一挡止件结构。该半挠性验证质量经组态以在该设备经受借由超出该设备之该正常操作范围之一力冲击该设备之一震动时经由所述至少一个刚性弹簧之偏转而变形。在该震动引起该半挠性验证质量至少沿着一移动轴在一个方向上之一运动时，所述至少一个刚性弹簧进一步经组态以产生一恢复力，该恢复力使得至少该半挠性验证质量之所述至少一个次级部分被驱动进入在与由该震动引起之沿着该移动轴之该运动相反之一方向上的一恢复运动，其中处于该恢复运动中之所述至少一个次级部分之动量进一步使得所述至少一个初级部分自该第一挡止件结构移走。

6. 发明专利

TWI574910B 微機電裝置有权
简体标题：微机电设备
公开(公告)号：TWI574910B
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW102100784
申请日：2013-01-09
申请人：先技股份有限公司
发明人：劉茂誠 , LIU, MAO CHEN , 周文介 , CHOU, WEN CHIEH , 呂柏緯 , LU, PO WEI , 翁淑怡 , WENG, SHU YI , 王竣傑 , WANG, CHUN CHIEH
IPC分类号： B81B7/02 , G01P15/125 , H01L29/84

7. 发明专利

TWI510786B 三軸加速度計有权
简体标题：三轴加速度计
公开(公告)号：TWI510786B
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW103132221
申请日：2014-09-18
申请人：溫瓌岸 , WEN, KUEI ANN , 江泰維 , CHIANG, TAI WEI
发明人：溫瓌岸 , WEN, KUEI ANN , 江泰維 , CHIANG, TAI WEI
IPC分类号： G01P15/18 , G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18

8. 发明专利

TW201538945A 微機械壓力感測器裝置及相關製造方法（一）审中-公开
简体标题：微机械压力传感器设备及相关制造方法（一）
公开(公告)号：TW201538945A
公开(公告)日：2015-10-16
申请号：TW104100927
申请日：2015-01-12
申请人：羅伯特博斯奇股份有限公司 , ROBERT BOSCH GMBH
发明人：凱爾貝爾阿爾德 , KAELBERER, ARND , 蘭穆斯猶根 , REINMUTH, JOCHEN , 克拉森約翰尼斯 , CLASSEN, JOHANNES
IPC分类号： G01L9/12 , G01P15/125 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00
CPC分类号： G01L9/0041 , B81B7/0048 , B81B2201/0235 , B81B2201/0242 , B81B2201/0264 , B81B2207/012 , G01L9/0073 , G01L13/026 , G01L19/0636
摘要：一種微機械壓力感測器裝置及一種相關的製造方法。該微機械壓力感測器裝置包括一具有正面(VSa)及背面(RSa)之ASIC晶圓(1a)，以及構建於該ASIC晶圓(1a)之正面(VSa)上的重佈機構(25a)，該重佈機構包含多個堆疊式導電通路平面(LB0，LB1)及絕緣層(I)。該微機械壓力感測器裝置還包括一具有正面(VS)及背面(RS)之MEMS晶圓(1)、一構建於該MEMS晶圓(1)之正面(VS)的上方的第一微機械功能層(3)，以及一構建於該第一微機械功能層(3)上方的第二微機械功能層(5)。在該第一及第二微機械功能層(3；5)中的一個中構建有實施為一可偏轉的第一壓力偵測電極的膜片區域(16；16a；16')，該第一壓力偵測電極係可透過該MEMS晶圓(1)中之通孔(12；12'；12a')被施加壓力。在該第一及第二微機械功能層(3；5)中的另一個中以相對該膜片區域(16；16a； 16')間隔一定距離的方式構建有靜止式第二壓力偵測電極(11'；11"；11'''；11''''；11a；111)。該第二微機械功能層(5)係透過接合連接(7；7，7a；7，7b)以某種方式與該重佈機構(25a)連接，使得該靜止式第二壓力偵測電極(11'；11"；11'''；11''''；11a；111)被包含在空穴(9；9a)中。
简体摘要：一种微机械压力传感器设备及一种相关的制造方法。该微机械压力传感器设备包括一具有正面(VSa)及背面(RSa)之ASIC晶圆(1a)，以及构建于该ASIC晶圆(1a)之正面(VSa)上的重布机构(25a)，该重布机构包含多个堆栈式导电通路平面(LB0，LB1)及绝缘层(I)。该微机械压力传感器设备还包括一具有正面(VS)及背面(RS)之MEMS晶圆(1)、一构建于该MEMS晶圆(1)之正面(VS)的上方的第一微机械功能层(3)，以及一构建于该第一微机械功能层(3)上方的第二微机械功能层(5)。在该第一及第二微机械功能层(3；5)中的一个中构建有实施为一可偏转的第一压力侦测电极的膜片区域(16；16a；16')，该第一压力侦测电极系可透过该MEMS晶圆(1)中之通孔(12；12'；12a')被施加压力。在该第一及第二微机械功能层(3；5)中的另一个中以相对该膜片区域(16；16a； 16')间隔一定距离的方式构建有静止式第二压力侦测电极(11'；11"；11'''；11''''；11a；111)。该第二微机械功能层(5)系透过接合连接(7；7，7a；7，7b)以某种方式与该重布机构(25a)连接，使得该静止式第二压力侦测电极(11'；11"；11'''；11''''；11a；111)被包含在空穴(9；9a)中。

9. 发明专利

TW201538416A 微機電元件审中-公开
简体标题：微机电组件
公开(公告)号：TW201538416A
公开(公告)日：2015-10-16
申请号：TW104110919
申请日：2015-04-02
申请人：立錡科技股份有限公司 , RICHTEK TECHNOLOGY CORPORATION
发明人：吳嘉昱 , WU, CHIA-YU , 林炯彣 , LIN, CHIUNG-WEN , 羅烱成 , LO, CHIUNG-CHENG
IPC分类号： B81B7/02 , B81C1/00 , G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P2015/0834
摘要：本發明提出一種微機電元件，包含：一基板；一質量塊，其內部定義一中空結構，該質量塊與該基板構成至少兩個感測電容；至少兩個錨點結構，連接於該基板，且從剖面圖視之，該錨點結構分別落在該至少兩個感測電容的電容區域內；至少一個連桿構架，位於該中空結構中，與該錨點結構直接連接、或是藉由緩衝彈簧而與該錨點結構間接連接；以及複數個扭轉彈簧，位於該中空結構中，各扭轉彈簧一端連接於該質量塊，另一端連接於該連桿構架；其中，該至少兩個感測電容分別位於該扭轉彈簧之兩相對側，該質量塊可依該扭轉彈簧為軸而旋轉，使該至少兩個感測電容構成差分感測電容，且其中，在該質量塊和該基板的連接關係中，不具有不構成活動電極的質量塊。
简体摘要：本发明提出一种微机电组件，包含：一基板；一质量块，其内部定义一中空结构，该质量块与该基板构成至少两个传感电容；至少两个锚点结构，连接于该基板，且从剖面图视之，该锚点结构分别落在该至少两个传感电容的电容区域内；至少一个连杆构架，位于该中空结构中，与该锚点结构直接连接、或是借由缓冲弹簧而与该锚点结构间接连接；以及复数个扭转弹簧，位于该中空结构中，各扭转弹簧一端连接于该质量块，另一端连接于该连杆构架；其中，该至少两个传感电容分别位于该扭转弹簧之两相对侧，该质量块可依该扭转弹簧为轴而旋转，使该至少两个传感电容构成差分传感电容，且其中，在该质量块和该基板的连接关系中，不具有不构成活动电极的质量块。

10. 发明专利

TWI486590B 微感測器有权
简体标题：微传感器
公开(公告)号：TWI486590B
公开(公告)日：2015-06-01
申请号：TW102120173
申请日：2013-06-06
申请人：昇佳電子股份有限公司 , SENSORTEK TECHNOLOGY CORP.
发明人：吳嘉昱 , WU, CHIA YU , 林炯彣 , LIN, CHIUNG WEN
IPC分类号： G01P15/125 , B81B7/02

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