专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201612524A 三軸加速度計审中-公开
简体标题：三轴加速度计
公开(公告)号：TW201612524A
公开(公告)日：2016-04-01
申请号：TW103132221
申请日：2014-09-18
申请人：溫瓌岸 , WEN, KUEI ANN , 江泰維 , CHIANG, TAI WEI
发明人：溫瓌岸 , WEN, KUEI ANN , 江泰維 , CHIANG, TAI WEI
IPC分类号： G01P15/18 , G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18
摘要：一種三軸加速度計，可同時量測X/Y/Z三方向加速度，包括一基板，一個懸浮於該基板的質量塊，一組Y方向位移偵測電極，一組Z方向位移偵測電極，以及一組X方向位移偵測電極，該Y方向位移偵測電極、該Z方向位移偵測電極與該X方向位移偵測電極設於該基板上，鄰近該質量塊之處；其中，該質量塊與各方向位移偵測電極分別包括多數金屬層與介於任二金屬層間的介電層；該質量塊中，對應於各該方向位移偵測電極之部分，分別有至少二金屬層以通孔連接。各該方向位移偵測電極均包括至少二組電極，各組包括至少二層以通孔連接之金屬層。該Y方向位移偵測電極與該Z方向位移偵測電極提供於一結構體之第一部分，而該X方向位移偵測電極提供於該結構體的第二部分。
简体摘要：一种三轴加速度计，可同时量测X/Y/Z三方向加速度，包括一基板，一个悬浮于该基板的质量块，一组Y方向位移侦测电极，一组Z方向位移侦测电极，以及一组X方向位移侦测电极，该Y方向位移侦测电极、该Z方向位移侦测电极与该X方向位移侦测电极设于该基板上，邻近该质量块之处；其中，该质量块与各方向位移侦测电极分别包括多数金属层与介于任二金属层间的介电层；该质量块中，对应于各该方向位移侦测电极之部分，分别有至少二金属层以通孔连接。各该方向位移侦测电极均包括至少二组电极，各组包括至少二层以通孔连接之金属层。该Y方向位移侦测电极与该Z方向位移侦测电极提供于一结构体之第一部分，而该X方向位移侦测电极提供于该结构体的第二部分。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式