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1. 发明专利

TW201514446A 三維量測模擬取點系統及方法审中-公开
简体标题：三维量测仿真取点系统及方法
公开(公告)号：TW201514446A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：TW102136959
申请日：2013-10-14
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：張旨光 , CHANG, CHIH KUANG , 吳新元 , WU, XIN-YUAN , 張恒 , ZHANG, HENG
IPC分类号： G01B5/012 , G01R1/067
CPC分类号： G06T17/10 , G01B21/047 , G05B19/401 , G05B2219/37064 , G06T2210/21
摘要：一種三維量測模擬取點系統及方法，應用於電腦中，該電腦連接有光學點雲三維掃描器。該方法包括步驟：利用光學點雲三維掃描器針對待測產品之整個形面進行鐳射掃描得到產品三維點雲；將產品三維點雲進行三角形網格化得到網格化點雲；在網格化點雲上任意選取一量測點，並快速計算出量測點在待測產品表面上對應之初步座標；以量測點之初步座標為中心，在量測點周圍找出與量測點臨近之所有三角形；將所有三角形之中心點進行平面擬合計算出量測點之實際座標與法向量；並藉由模擬測針之量測運動路徑來驗證所選取量測點之準確性。
简体摘要：一种三维量测仿真取点系统及方法，应用于电脑中，该电脑连接有光学点云三维扫描仪。该方法包括步骤：利用光学点云三维扫描仪针对待测产品之整个形面进行激光扫描得到产品三维点云；将产品三维点云进行三角形网格化得到网格化点云；在网格化点云上任意选取一量测点，并快速计算出量测点在待测产品表面上对应之初步座标；以量测点之初步座标为中心，在量测点周围找出与量测点临近之所有三角形；将所有三角形之中心点进行平面拟合计算出量测点之实际座标与法矢量；并借由仿真测针之量测运动路径来验证所选取量测点之准确性。

2. 发明专利

TW201344153A 三次元測針補償及空間誤差測定系統及方法失效
简体标题：三次元测针补偿及空间误差测定系统及方法
公开(公告)号：TW201344153A
公开(公告)日：2013-11-01
申请号：TW101114833
申请日：2012-04-26
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：張旨光 , CHANG, CHIH KUANG , 吳新元 , WU, XIN-YUAN
IPC分类号： G01B5/012 , G01B7/012 , G01B11/00
CPC分类号： G01B21/02 , G01B21/045
摘要：一種三次元測針補償及空間誤差測定系統及方法，包括：提供一帶有支撐桿的標準球；按比例將標準球分成多層，計算各表面點的座標及向量，得到座標集；將測桿的法向、標準球的法向進行差乘得到旋轉法向N3，將標準球繞旋轉法向N3旋轉後得到旋轉矩陣；將該旋轉矩陣與各表面點的座標相乘，計算得到所述各表面點的新座標以更新所述座標集；根據該座標集生成量測程式以控制測針實際量測工件兩次，得到兩個點集；根據該兩個點集計算測針的補償值以補償該測針，並計算該測針的空間誤差。利用本發明可提高測針的補償精度和效率。
简体摘要：一种三次元测针补偿及空间误差测定系统及方法，包括：提供一带有支撑杆的标准球；按比例将标准球分成多层，计算各表面点的座标及矢量，得到座标集；将测杆的法向、标准球的法向进行差乘得到旋转法向N3，将标准球绕旋转法向N3旋转后得到旋转矩阵；将该旋转矩阵与各表面点的座标相乘，计算得到所述各表面点的新座标以更新所述座标集；根据该座标集生成量测进程以控制测针实际量测工件两次，得到两个点集；根据该两个点集计算测针的补偿值以补偿该测针，并计算该测针的空间误差。利用本发明可提高测针的补偿精度和效率。

3. 发明专利

TW201543004A 晶圓彎曲的評價方法與使用此評價方法的晶圓選別方法审中-公开
简体标题：晶圆弯曲的评价方法与使用此评价方法的晶圆选别方法
公开(公告)号：TW201543004A
公开(公告)日：2015-11-16
申请号：TW104108261
申请日：2015-03-16
申请人：信越半導體股份有限公司 , SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
发明人：齊藤久之 , SAITO, HISAYUKI
IPC分类号： G01B5/012 , G01B5/20 , H01L21/66
CPC分类号： G01B21/20 , G01B21/30 , G01B2210/56 , G03F7/20 , G03F7/70633 , G03F7/70783 , H01L22/12
摘要：本發明為一種晶圓彎曲的評價方法，包含：第一步驟，測量未吸附的自由狀態的晶圓的彎曲，以及第二步驟，使用經測量的晶圓的彎曲的資料，求出與點P相隔距離a的點Q1 與點Q2 的兩點之間的晶圓彎曲量A，以及求出與點P相隔不同於距離a的距離b的點R1 與點R2 的兩點之間的晶圓彎曲量B，根據晶圓彎曲量A與晶圓彎曲量B計算出於點P中晶圓彎曲量的差，並根據所計算出的晶圓彎曲量的差而評價晶圓的彎曲。如此一來，導入顯示於吸附晶圓時因插針夾頭的節距差異所產生的彎曲的修正程度的差的新參數，並且使用此新參數評價晶圓彎曲的評價方法。
简体摘要：本发明为一种晶圆弯曲的评价方法，包含：第一步骤，测量未吸附的自由状态的晶圆的弯曲，以及第二步骤，使用经测量的晶圆的弯曲的数据，求出与点P相隔距离a的点Q1 与点Q2 的两点之间的晶圆弯曲量A，以及求出与点P相隔不同于距离a的距离b的点R1 与点R2 的两点之间的晶圆弯曲量B，根据晶圆弯曲量A与晶圆弯曲量B计算出于点P中晶圆弯曲量的差，并根据所计算出的晶圆弯曲量的差而评价晶圆的弯曲。如此一来，导入显示于吸附晶圆时因插针夹头的节距差异所产生的弯曲的修正程度的差的新参数，并且使用此新参数评价晶圆弯曲的评价方法。

4. 发明专利

TWI474891B 齒輪測定裝置的校正方法有权
简体标题：齿轮测定设备的校正方法
公开(公告)号：TWI474891B
公开(公告)日：2015-03-01
申请号：TW100110836
申请日：2011-03-29
申请人：三菱重工業股份有限公司 , MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.
发明人：增尾光一 , MASUO, KOICHI , 大槻直洋 , OTSUKI, NAOHIRO , 栁瀬吉言 , YANASE, YOSHIKOTO
IPC分类号： B23Q17/20 , B23F23/12 , G01B5/012
CPC分类号： G01B5/202 , G01B21/042 , G01M13/021

5. 发明专利

TWI460411B 具有微細接觸力調整機構之接觸式量測裝置有权
简体标题：具有微细接触力调整机构之接触式量测设备
公开(公告)号：TWI460411B
公开(公告)日：2014-11-11
申请号：TW100110181
申请日：2011-03-24
申请人：發那科股份有限公司 , FANUC CORPORATION
发明人：洪榮杓 , HON, YONPYO , 蛯原建三 , EBIHARA, KENZO , 羽村雅之 , HAMURA, MASAYUKI
IPC分类号： G01L1/00 , G01D21/00 , G01B5/012
CPC分类号： G01B3/008 , G01B5/20

6. 发明专利

TWI510760B 三次元測針補償及空間誤差測定系統及方法失效
简体标题：三次元测针补偿及空间误差测定系统及方法
公开(公告)号：TWI510760B
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW101114833
申请日：2012-04-26
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：張旨光 , CHANG, CHIH KUANG , 吳新元 , WU, XIN-YUAN
IPC分类号： G01B5/012 , G01B7/012 , G01B11/00
CPC分类号： G01B21/02 , G01B21/045

7. 发明专利

TW201443392A 星型探針安裝角度檢測系統及方法审中-公开
简体标题：星型探针安装角度检测系统及方法
公开(公告)号：TW201443392A
公开(公告)日：2014-11-16
申请号：TW102109759
申请日：2013-03-19
申请人：鴻海精密工業股份有限公司 , HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
发明人：張旨光 , CHANG, CHIH KUANG , 袁忠奎 , YUAN, ZHONG-KUI , 徐玉華 , XU, YU-HUA , 薛曉光 , XUE, XIAO-GUANG , 劉東升 , LIU, DONG-SHENG , 余娜 , YU, NA
IPC分类号： G01B5/012 , G01B7/012
CPC分类号： G01B21/042
摘要：一種星型探針安裝角度檢測系統及方法，應用於量測設備中，該量測設備包括星型探針、滑軌支架、水準工作平臺及顯示設備。該方法包括步驟：將星型探針固定於垂直於水準工作平臺之滑軌支架上；於水準工作平臺上放置並固定一個標準球；控制星型探針於滑軌支架上移動使星型探針之第一根探針於標準球之表面量測出第一根探針對應之第一量測點；控制星型探針於滑軌支架上移動使星型探針之第二根探針於標準球之表面量測出第二至第五根探針對應之量測點；及根據每一個量測點之座標值計算出第一根探針與每一根探針之安裝角度偏差。
简体摘要：一种星型探针安装角度检测系统及方法，应用于量测设备中，该量测设备包括星型探针、滑轨支架、水准工作平台及显示设备。该方法包括步骤：将星型探针固定于垂直于水准工作平台之滑轨支架上；于水准工作平台上放置并固定一个标准球；控制星型探针于滑轨支架上移动使星型探针之第一根探针于标准球之表面量测出第一根探针对应之第一量测点；控制星型探针于滑轨支架上移动使星型探针之第二根探针于标准球之表面量测出第二至第五根探针对应之量测点；及根据每一个量测点之座标值计算出第一根探针与每一根探针之安装角度偏差。

8. 发明专利

TW201428234A 用於量測一零件的方法及裝置审中-公开
简体标题：用于量测一零件的方法及设备
公开(公告)号：TW201428234A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：TW102141319
申请日：2013-11-13
申请人：任尼紹公司 , RENISHAW PLC
发明人：歐德約翰查爾斯 , OULD, JOHN CHARLES , 馬歇爾德瑞克 , MARSHALL, DEREK , 摩爾保羅威廉 , MOORE, PAUL WILLIAM , 李維爾馬修安東尼 , REVELL, MATTHEW ANTHONY
IPC分类号： G01B5/012 , G01B7/012 , B23Q11/00
CPC分类号： G01B21/04 , G01B21/047
摘要：本發明揭示一種在一機具上檢測一人工製品之方法，該方法包括：使安裝於該機具上之一探針沿著待檢測之該人工製品之表面掃描。該方法涉及在該掃描期間至少在該探針與該人工製品之間的相互作用點處供應一流體流。
简体摘要：本发明揭示一种在一机具上检测一人工制品之方法，该方法包括：使安装于该机具上之一探针沿着待检测之该人工制品之表面扫描。该方法涉及在该扫描期间至少在该探针与该人工制品之间的相互作用点处供应一流体流。

9. 发明专利

TWI618917B 用於量測一零件的方法及裝置有权
简体标题：用于量测一零件的方法及设备
公开(公告)号：TWI618917B
公开(公告)日：2018-03-21
申请号：TW102141319
申请日：2013-11-13
申请人：任尼紹公司 , RENISHAW PLC
发明人：歐德約翰查爾斯 , OULD, JOHN CHARLES , 馬歇爾德瑞克 , MARSHALL, DEREK , 摩爾保羅威廉 , MOORE, PAUL WILLIAM , 李維爾馬修安東尼 , REVELL, MATTHEW ANTHONY
IPC分类号： G01B5/012 , G01B7/012 , B23Q11/00
CPC分类号： G01B21/04 , G01B21/047

10. 发明专利

TWI616643B 晶圓彎曲的評價方法與使用此評價方法的晶圓選別方法有权
简体标题：晶圆弯曲的评价方法与使用此评价方法的晶圆选别方法
公开(公告)号：TWI616643B
公开(公告)日：2018-03-01
申请号：TW104108261
申请日：2015-03-16
申请人：信越半導體股份有限公司 , SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD.
发明人：齊藤久之 , SAITO, HISAYUKI
IPC分类号： G01B5/012 , G01B5/20 , H01L21/66
CPC分类号： G01B21/20 , G01B21/30 , G01B2210/56 , G03F7/20 , G03F7/70633 , G03F7/70783 , H01L22/12

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