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1. 发明专利

TW201314088A 用於氣動閥連續操作的電磁旁通系統审中-公开
简体标题：用于气动阀连续操作的电磁旁通系统
公开(公告)号：TW201314088A
公开(公告)日：2013-04-01
申请号：TW101135006
申请日：2012-09-24
申请人：氣體產品及化學品股份公司 , AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
发明人：史密斯安東尼約翰 , SMITH, ANTHONY JOHN , 巴托爾德傑弗瑞 C , BARTHOLD, JEFFERY C. , 達克斯威廉約翰 , DAX, WILLIAM JOHN
IPC分类号： F16K31/02 , F16K21/00
CPC分类号： F15B13/0814 , Y10T137/0318 , Y10T137/4259 , Y10T137/87153 , Y10T137/87571 , Y10T137/87885
摘要：本發明關於一種能提供連續流動的增壓惰性氣體以操作製程機具而不間斷的電磁閥組合件。本發明也提供一種包含該電磁閥組合件的系統。
简体摘要：本发明关于一种能提供连续流动的增压惰性气体以操作制程机具而不间断的电磁阀组合件。本发明也提供一种包含该电磁阀组合件的系统。

2. 发明专利

TW201606120A 用於化學氣相沈積之旋轉盤反應器之氣體流軸盤审中-公开
简体标题：用于化学气相沉积之旋转盘反应器之气体流轴盘
公开(公告)号：TW201606120A
公开(公告)日：2016-02-16
申请号：TW104115924
申请日：2015-05-19
申请人：維克儀器公司 , VEECO INSTRUMENTS INC.
发明人：路斯陶德A , LUSE, TODD A. , 佛瑞根羅傑P , FREMGEN, ROGER P.
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/455 , C23C16/46 , C23C16/52 , H01L21/687
CPC分类号： C30B25/14 , B22F3/1055 , B22F5/10 , C23C16/4401 , C23C16/45565 , C23C16/45572 , C23C16/45574 , F16L53/00 , F17D1/04 , Y02P10/295 , Y10T137/0318 , Y10T137/0402 , Y10T137/6416 , Y10T137/87153
摘要：本發明係關於一種氣體流軸盤，其包含第一及第二部分。該第一部分包含複數個定位於內部並平行於頂面之第一氣體通道。複數個第二氣體輸入通道係垂直於該頂面定位並自該頂面延伸至底面。該等複數個第一氣體輸入通道中之各者與該等複數個第一氣體輸入通道中之對應一者之輸出對齊。該第二部分包含複數個垂直於該第二部分之頂面定位並自該第二部分之該頂面延伸至底面之第二氣體輸入通道。該等複數個第二氣體輸入通道中之各者與該等複數個第二氣體輸入通道之對應一者對齊。流體冷卻導管係平行於該第二部分之頂面定位。
简体摘要：本发明系关于一种气体流轴盘，其包含第一及第二部分。该第一部分包含复数个定位于内部并平行于顶面之第一气体信道。复数个第二气体输入信道系垂直于该顶面定位并自该顶面延伸至底面。该等复数个第一气体输入信道中之各者与该等复数个第一气体输入信道中之对应一者之输出对齐。该第二部分包含复数个垂直于该第二部分之顶面定位并自该第二部分之该顶面延伸至底面之第二气体输入信道。该等复数个第二气体输入信道中之各者与该等复数个第二气体输入信道之对应一者对齐。流体冷却导管系平行于该第二部分之顶面定位。

3. 发明专利

TWI483306B 基板製程系統中用於校準流量控制器的裝置及方法有权
简体标题：基板制程系统中用于校准流量控制器的设备及方法
公开(公告)号：TWI483306B
公开(公告)日：2015-05-01
申请号：TW100112859
申请日：2011-04-13
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：克魯斯詹姆士P , CRUSE, JAMES P. , 雷恩約翰W , LANE, JOHN W. , 格勒戈爾瑪路司柯 , GREGOR, MARIUSCH , 伯庫斯杜克 , BUCKIUS, DUC , 達蘭波林 , DARAN, BERRIN , 可貝可立琳 , COBB, CORIE LYNN , 徐明 , XU, MING , 蓋葉安德魯恩 , NGUYEN, ANDREW
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/66
CPC分类号： H01L21/67253 , F16K37/00 , F16K37/0091 , G01F25/00 , Y10T29/53022 , Y10T137/8158 , Y10T137/87153 , Y10T137/87684 , Y10T137/877

4. 发明专利

TWI475167B 用於氣動閥連續操作的電磁旁通系統有权
简体标题：用于气动阀连续操作的电磁旁通系统
公开(公告)号：TWI475167B
公开(公告)日：2015-03-01
申请号：TW101135006
申请日：2012-09-24
申请人：氣體產品及化學品股份公司 , AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.
发明人：史密斯安東尼約翰 , SMITH, ANTHONY JOHN , 巴托爾德傑弗瑞 C , BARTHOLD, JEFFERY C. , 達克斯威廉約翰 , DAX, WILLIAM JOHN
IPC分类号： F16K31/02 , F16K21/00
CPC分类号： F15B13/0814 , Y10T137/0318 , Y10T137/4259 , Y10T137/87153 , Y10T137/87571 , Y10T137/87885

5. 发明专利

TWI415559B 可調式冷卻液快速接頭失效
简体标题：可调式冷却液快速接头
公开(公告)号：TWI415559B
公开(公告)日：2013-11-11
申请号：TW099140365
申请日：2010-11-23
申请人：英業達股份有限公司 , INVENTEC CORPORATION
发明人：陳建安 , CHEN, CHIEN AN , 石偉達 , SHIH, WEI TA
IPC分类号： H05K7/20 , G06F1/20
CPC分类号： H05K7/20272 , G06F2200/201 , Y10T137/598 , Y10T137/87153 , Y10T137/87925

6. 发明专利

TWI374111B 微流體裝置交互連接系統或模組安裝或連接 MODULAR MOUNTING AND CONNECTION OR INTERCONNECTION SYSTEM FOR MICROFLUIDIC DEVICES 有权
简体标题：微流体设备交互连接系统或模块安装或连接 MODULAR MOUNTING AND CONNECTION OR INTERCONNECTION SYSTEM FOR MICROFLUIDIC DEVICES
公开(公告)号：TWI374111B
公开(公告)日：2012-10-11
申请号：TW096116578
申请日：2007-05-09
申请人：康寧公司
发明人：歐力位羅貝特 , 保羅帶拉提道得
IPC分类号： B81B , B01J
CPC分类号： B01L9/527 , B01J2219/0081 , B01J2219/0813 , B01L3/565 , B01L2200/026 , B01L2200/027 , B01L2200/028 , B01L2300/0816 , F16B2/06 , Y10T137/7504 , Y10T137/87153 , Y10T137/87249 , Y10T403/18
摘要：一種微流體裝置(20)之模組按裝以及連接或交互連接系統，該系統包含一組多個端部相鄰壓力密封流體連接器或轉接器(32)，一個或多個夾持結構(54,56)，其均構造成固定一個流體連接器(32)以壓力靠在微流體裝置(20)之平面性表面上，以及緊壓於該裝置，在其另一個直接地相對之平面性表面上為接觸襯墊(48)或另一流體連接器(32)，每一夾持結構(54,56)包含獨立地可移動提供壓力之元件例如壓力螺絲(36)，其構造將提供可控制數量之壓力。系統需要更進一步包含一個或多個裝置架構(58)，其構造均承受以及利用一個或多個連接之夾持結構(54,56)固定微流體裝置(20)，裝置架構(58)構造為容納裝置以及連接夾持結構(54,56)，其藉由只限制一個或兩個夾持結構(54,56)以並無扭力或彎矩施加於該裝置(20)方式達成，以及一個或多個系統架構(70)，其構造成承受及固定一組多個裝置架構(58)彼此以三維陣列相鄰，使得裝置(20)之間所需要流體交互連接的體積減為最低。
简体摘要：一种微流体设备(20)之模块按装以及连接或交互连接系统，该系统包含一组多个端部相邻压力密封流体连接器或转接器(32)，一个或多个夹持结构(54,56)，其均构造成固定一个流体连接器(32)以压力靠在微流体设备(20)之平面性表面上，以及紧压于该设备，在其另一个直接地相对之平面性表面上为接触衬垫(48)或另一流体连接器(32)，每一夹持结构(54,56)包含独立地可移动提供压力之组件例如压力螺丝(36)，其构造将提供可控制数量之压力。系统需要更进一步包含一个或多个设备架构(58)，其构造均承受以及利用一个或多个连接之夹持结构(54,56)固定微流体设备(20)，设备架构(58)构造为容纳设备以及连接夹持结构(54,56)，其借由只限制一个或两个夹持结构(54,56)以并无扭力或弯矩施加于该设备(20)方式达成，以及一个或多个系统架构(70)，其构造成承受及固定一组多个设备架构(58)彼此以三维数组相邻，使得设备(20)之间所需要流体交互连接的体积减为最低。

7. 发明专利

TWI341910B 集成面板與流體裝置之連接構造有权
简体标题：集成皮肤与流体设备之连接构造
公开(公告)号：TWI341910B
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：TW094131686
申请日：2005-09-14
申请人：日本皮拉工業股份有限公司
发明人：桂將義
IPC分类号： F16J
CPC分类号： F16J15/106 , F16J15/061 , F16J15/062 , F16L39/00 , F16L41/03 , F16L41/086 , Y10T137/87153
摘要：本發明之課題係在於提供即使幾乎不進行增加栓緊操作，亦可維持良好的密封性，並且亦可改善其組裝作業性之集成面板與流體裝置之連接構造。
用以解決該課題之手段為：為了將集成面板1與閥2使用環狀墊圈G在圓管狀流體通路16、19密封之狀態下予以連通連接，而在第1及第2流體供排口部1A、2A形成環狀突起11、21，墊圈G，為氟系樹脂製者，具有用以分別嵌合到環狀突起11、21而形成於流體路徑W之外徑側部分的一對環狀溝槽51、51，裝備有維持手段I，其係用來維持：使集成面板1與閥2吸引靠近，使第1及第2流體供排口部1A、2A的環狀突起11、21與墊圈G的環狀溝槽51分別被嵌合而形成嵌合密封部10之接合狀態者。
简体摘要：本发明之课题系在于提供即使几乎不进行增加栓紧操作，亦可维持良好的密封性，并且亦可改善其组装作业性之集成皮肤与流体设备之连接构造。用以解决该课题之手段为：为了将集成皮肤1与阀2使用环状垫圈G在圆管状流体通路16、19密封之状态下予以连通连接，而在第1及第2流体供排口部1A、2A形成环状突起11、21，垫圈G，为氟系树脂制者，具有用以分别嵌合到环状突起11、21而形成于流体路径W之外径侧部分的一对环状沟槽51、51，装备有维持手段I，其系用来维持：使集成皮肤1与阀2吸引靠近，使第1及第2流体供排口部1A、2A的环状突起11、21与垫圈G的环状沟槽51分别被嵌合而形成嵌合密封部10之接合状态者。

9. 发明专利

TW201406469A 用於噴塗系統的多元件壓力槽組件审中-公开
简体标题：用于喷涂系统的多组件压力槽组件
公开(公告)号：TW201406469A
公开(公告)日：2014-02-16
申请号：TW102113470
申请日：2013-04-16
申请人：塗料品牌控股公司 , FINISHING BRANDS HOLDINGS INC.
发明人：托茲德米歇爾M , DROZD, MITCHELL M. , 史考特查理斯約翰 , SCOTT, CHARLES JOHN , 保克里斯多佛W , POE, CHRISTOPHER W. , 瑞茲三世艾瑞克佛弟納得 , REETZ III, ERIC FERDINAND
IPC分类号： B05C5/02 , B05C17/015
CPC分类号： B05B12/00 , B05B7/2494 , B05B7/2497 , B05B9/04 , B05B12/1418 , Y10T137/87153
摘要：一種系統包括壓力容器，該壓力容器經配置以接收氣動流並供應加壓流體至噴塗裝置。系統亦包括第一腔室及第二腔室，該第一腔室安置於壓力容器內並經配置以儲存第一流體，該第二腔室安置於壓力容器內並經配置以儲存第二流體。此外，系統包括可移除式地耦接至壓力容器之蓋。系統亦包括第一流體通路，該第一流體通路延伸穿過蓋且經配置以在蓋耦接至壓力容器時輸送第一流體至第一腔室。另外，系統包括第二流體通路，該第二流體通路延伸穿過蓋且經配置以在蓋耦接至壓力容器時輸送第二流體至第二腔室。
简体摘要：一种系统包括压力容器，该压力容器经配置以接收气动流并供应加压流体至喷涂设备。系统亦包括第一腔室及第二腔室，该第一腔室安置于压力容器内并经配置以存储第一流体，该第二腔室安置于压力容器内并经配置以存储第二流体。此外，系统包括可移除式地耦接至压力容器之盖。系统亦包括第一流体通路，该第一流体通路延伸穿过盖且经配置以在盖耦接至压力容器时输送第一流体至第一腔室。另外，系统包括第二流体通路，该第二流体通路延伸穿过盖且经配置以在盖耦接至压力容器时输送第二流体至第二腔室。

10. 发明专利

TW201338024A 氣體分散設備审中-公开
简体标题：气体分散设备
公开(公告)号：TW201338024A
公开(公告)日：2013-09-16
申请号：TW101136697
申请日：2012-10-04
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：卡爾森大衛K , CARLSON, DAVID K.
IPC分类号： H01L21/30 , C23C16/00
CPC分类号： H01J37/3244 , C23C16/45565 , C23C16/45574 , F17D1/04 , H01J37/32633 , Y10T137/6579 , Y10T137/85938 , Y10T137/87153 , Y10T137/87265 , Y10T137/87281 , Y10T137/87885
摘要：一種與製程腔室一起使用的氣體分散設備，該氣體分散設備包含：石英本體，具有頂部、環以及底板，環耦接頂部之底表面，底板具有複數個分散孔相對於頂部耦接該環；複數個石英板，設置於頂部與底板之間，其中該複數個板被安置在彼此上方並間隔開來，以在各該複數個板及該石英底板上形成氣室；複數個石英管，用以將該等氣室耦接至該複數個分散孔，各該複數個石英管具有第一端設置於該等氣室中之一個氣室內，且各該複數個石英管具有第二端耦接該等分散孔中之一個分散孔；以及複數個導管，設置穿過該頂部，其中各該複數個導管耦接該等氣室中之一個氣室。
简体摘要：一种与制程腔室一起使用的气体分散设备，该气体分散设备包含：石英本体，具有顶部、环以及底板，环耦接顶部之底表面，底板具有复数个分散孔相对于顶部耦接该环；复数个石英板，设置于顶部与底板之间，其中该复数个板被安置在彼此上方并间隔开来，以在各该复数个板及该石英底板上形成气室；复数个石英管，用以将该等气室耦接至该复数个分散孔，各该复数个石英管具有第一端设置于该等气室中之一个气室内，且各该复数个石英管具有第二端耦接该等分散孔中之一个分散孔；以及复数个导管，设置穿过该顶部，其中各该复数个导管耦接该等气室中之一个气室。

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