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1. 发明专利

TWI582264B 用於加強氣體種類混合的壓緊裝置有权
简体标题：用于加强气体种类混合的压紧设备
公开(公告)号：TWI582264B
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：TW103108698
申请日：2014-03-12
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：雷恩約翰W , LANE, JOHN W. , 達蘭波林 , DARAN, BERRIN , 關圖瑞拉瑪展德蘭墨西 , GUNTURI, RAMACHANDRAN MURTHY , 格勒戈爾瑪路司柯 , GREGOR, MARIUSCH , 曼扎納斯貝斯灣 , MANJUNATH, BHASWAN , 法蘇狄瓦普拉祥思 , VASUDEVA, PRASHANTH
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/54 , F17D1/20
CPC分类号： B01F5/0077 , B01F3/028 , B01F5/0689 , B01F15/0429 , B01F2215/0096

2. 发明专利

TW201506569A 用於控制使用前饋調整的流量比率控制器之方法及系統审中-公开
简体标题：用于控制使用前馈调整的流量比率控制器之方法及系统
公开(公告)号：TW201506569A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：TW103121952
申请日：2014-06-25
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：格勒戈爾瑪路司柯 , GREGOR, MARIUSCH
IPC分类号： G05D7/06 , G05D11/00
CPC分类号： G05D7/0664
摘要：本發明揭示一種處理裝置，該處理裝置決定複數個初始的流量設定點命令，該等複數個設定點命令的每一設定點命令對應到複數個閥門中的一個閥門，及傳送該等複數個初始的設定點命令的每一初始的設定點命令至該等複數個閥門中的一相對應的閥門。處理裝置針對於需要進行調整的流量狀況來監控該等複數個閥門。在偵測到該流量狀況之後，該處理裝置基於先前的設定點來預測該調整，及基於該預測的調整決定複數個更新的流量設定點命令，該等複數個更新的流量設定點命令的每一更新的流量設定點命令對應到該等複數個閥門中的一個閥門。處理裝置然後傳送該等複數個更新的設定點命令的每一更新的設定點命令至該等複數個閥門的該相對應的閥門。
简体摘要：本发明揭示一种处理设备，该处理设备决定复数个初始的流量设置点命令，该等复数个设置点命令的每一设置点命令对应到复数个阀门中的一个阀门，及发送该等复数个初始的设置点命令的每一初始的设置点命令至该等复数个阀门中的一相对应的阀门。处理设备针对于需要进行调整的流量状况来监控该等复数个阀门。在侦测到该流量状况之后，该处理设备基于先前的设置点来预测该调整，及基于该预测的调整决定复数个更新的流量设置点命令，该等复数个更新的流量设置点命令的每一更新的流量设置点命令对应到该等复数个阀门中的一个阀门。处理设备然后发送该等复数个更新的设置点命令的每一更新的设置点命令至该等复数个阀门的该相对应的阀门。

3. 发明专利

TWI640854B 用於控制使用反饋的流量速率控制器的方法和系統有权
简体标题：用于控制使用反馈的流量速率控制器的方法和系统
公开(公告)号：TWI640854B
公开(公告)日：2018-11-11
申请号：TW103122114
申请日：2014-06-26
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：格勒戈爾瑪路司柯 , GREGOR, MARIUSCH
IPC分类号： G05D7/06 , G05D11/00

4. 发明专利

TW201506570A 用於控制使用反饋的流量速率控制器的方法和系統审中-公开
简体标题：用于控制使用反馈的流量速率控制器的方法和系统
公开(公告)号：TW201506570A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：TW103122114
申请日：2014-06-26
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：格勒戈爾瑪路司柯 , GREGOR, MARIUSCH
IPC分类号： G05D7/06 , G05D11/00
CPC分类号： G05D7/0664
摘要：本發明揭示一種處理裝置，該處理裝置決定複數個初始的流量設定點命令，該等複數個設定點命令的每一設定點命令對應到複數個閥門中的一個閥門。處理裝置傳送該等複數個初始的設定點命令的每一初始的設定點命令至該等複數個閥門中的一相對應的閥門。處理裝置接收：來自該等複數個閥門中的每一閥門的反饋，及基於來自該等複數個閥門中的每一閥門的該相對應的反饋來決定：複數個更新的流量設定點命令，該等複數個更新的流量設定點命令的每一更新的流量設定點命令對應到該等複數個閥門中的一個閥門。
简体摘要：本发明揭示一种处理设备，该处理设备决定复数个初始的流量设置点命令，该等复数个设置点命令的每一设置点命令对应到复数个阀门中的一个阀门。处理设备发送该等复数个初始的设置点命令的每一初始的设置点命令至该等复数个阀门中的一相对应的阀门。处理设备接收：来自该等复数个阀门中的每一阀门的反馈，及基于来自该等复数个阀门中的每一阀门的该相对应的反馈来决定：复数个更新的流量设置点命令，该等复数个更新的流量设置点命令的每一更新的流量设置点命令对应到该等复数个阀门中的一个阀门。

5. 发明专利

TW201320148A 使用以模型為基礎的控制處理基材的方法及設備审中-公开
简体标题：使用以模型为基础的控制处理基材的方法及设备
公开(公告)号：TW201320148A
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：TW101125399
申请日：2012-07-13
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：波托斯凱思布萊恩 , PORTHOUSE, KEITH BRIAN , 雷恩約翰W , LANE, JOHN W. , 格勒戈爾瑪路司柯 , GREGOR, MARIUSCH , 馬利尼爾 , MERRY, NIR , 萊斯麥可R , RICE, MICHAEL R. , 明柯維奇艾力克斯 , MINKOVICH, ALEX , 李宏賓 , LI, HONGBIN , 迪日諾狄米奇A , DZILNO, DMITRY A.
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC分类号： G05D16/2046 , G05B17/02 , H01L21/67017 , H01L21/67253
摘要：茲揭示方法和設備。在一些實施例中，控制處理腔室的方法包括預先決定處理容積之壓力與排氣閥位置間隨製程參數變化的關係；將處理腔室設定成第一狀態，第一狀態具有處理容積的第一壓力和第一製程參數值，其中排氣閥依據預定關係設為第一位置，以在第一值下產生第一壓力；當處理腔室從第一狀態變成第二狀態時，第二狀態具有第二壓力和第二製程參數值，決定壓力控制輪廓，以控制壓力；以及藉由改變排氣閥位置，同時使處理腔室變成第二狀態，以應用壓力控制輪廓來控制壓力。
简体摘要：兹揭示方法和设备。在一些实施例中，控制处理腔室的方法包括预先决定处理容积之压力与排气阀位置间随制程参数变化的关系；将处理腔室设置成第一状态，第一状态具有处理容积的第一压力和第一制程参数值，其中排气阀依据预定关系设为第一位置，以在第一值下产生第一压力；当处理腔室从第一状态变成第二状态时，第二状态具有第二压力和第二制程参数值，决定压力控制轮廓，以控制压力；以及借由改变排气阀位置，同时使处理腔室变成第二状态，以应用压力控制轮廓来控制压力。

6. 发明专利

TWI640853B 用於控制使用前饋調整的流量比率控制器之方法及系統有权
简体标题：用于控制使用前馈调整的流量比率控制器之方法及系统
公开(公告)号：TWI640853B
公开(公告)日：2018-11-11
申请号：TW103121952
申请日：2014-06-25
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：格勒戈爾瑪路司柯 , GREGOR, MARIUSCH
IPC分类号： G05D7/06 , G05D11/00

7. 发明专利

TWI575349B 流動比率控制器組件、氣體輸送系統及其操作方法有权
简体标题：流动比率控制器组件、气体输送系统及其操作方法
公开(公告)号：TWI575349B
公开(公告)日：2017-03-21
申请号：TW102129848
申请日：2013-08-20
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：格勒戈爾瑪路司柯 , GREGOR, MARIUSCH , 雷恩約翰W , LANE, JOHN W. , 萊斯麥可羅伯特 , RICE, MICHAEL ROBERT , 修賈斯汀 , HOUGH, JUSTIN
IPC分类号： G05D7/00 , C23C16/455
CPC分类号： G05D16/2006 , C23C16/45561 , G05D7/0664 , Y10T137/0379 , Y10T137/7761 , Y10T137/87885

8. 发明专利

TWI506670B 使用以模型為基礎的控制處理基材的方法及設備有权
简体标题：使用以模型为基础的控制处理基材的方法及设备
公开(公告)号：TWI506670B
公开(公告)日：2015-11-01
申请号：TW101125399
申请日：2012-07-13
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：波托斯凱思布萊恩 , PORTHOUSE, KEITH BRIAN , 雷恩約翰W , LANE, JOHN W. , 格勒戈爾瑪路司柯 , GREGOR, MARIUSCH , 馬利尼爾 , MERRY, NIR , 萊斯麥可R , RICE, MICHAEL R. , 明柯維奇艾力克斯 , MINKOVICH, ALEX , 李宏賓 , LI, HONGBIN , 迪日諾狄米奇A , DZILNO, DMITRY A.
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/205 , H01L21/3065
CPC分类号： G05D16/2046 , G05B17/02 , H01L21/67017 , H01L21/67253

9. 发明专利

TWI483306B 基板製程系統中用於校準流量控制器的裝置及方法有权
简体标题：基板制程系统中用于校准流量控制器的设备及方法
公开(公告)号：TWI483306B
公开(公告)日：2015-05-01
申请号：TW100112859
申请日：2011-04-13
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：克魯斯詹姆士P , CRUSE, JAMES P. , 雷恩約翰W , LANE, JOHN W. , 格勒戈爾瑪路司柯 , GREGOR, MARIUSCH , 伯庫斯杜克 , BUCKIUS, DUC , 達蘭波林 , DARAN, BERRIN , 可貝可立琳 , COBB, CORIE LYNN , 徐明 , XU, MING , 蓋葉安德魯恩 , NGUYEN, ANDREW
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/66
CPC分类号： H01L21/67253 , F16K37/00 , F16K37/0091 , G01F25/00 , Y10T29/53022 , Y10T137/8158 , Y10T137/87153 , Y10T137/87684 , Y10T137/877

10. 发明专利

TW201441416A 用於加強氣體種類混合的壓緊裝置审中-公开
简体标题：用于加强气体种类混合的压紧设备
公开(公告)号：TW201441416A
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW103108698
申请日：2014-03-12
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：雷恩約翰W , LANE, JOHN W. , 達蘭波林 , DARAN, BERRIN , 關圖瑞拉瑪展德蘭墨西 , GUNTURI, RAMACHANDRAN MURTHY , 格勒戈爾瑪路司柯 , GREGOR, MARIUSCH , 曼扎納斯貝斯灣 , MANJUNATH, BHASWAN , 法蘇狄瓦普拉祥思 , VASUDEVA, PRASHANTH
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/54 , F17D1/20
CPC分类号： B01F5/0077 , B01F3/028 , B01F5/0689 , B01F15/0429 , B01F2215/0096
摘要：用於混合氣體之裝置與系統包括：耦接至一第一導管而控制一第一氣體的流量之一第一閥門、耦接至一第二導管而控制一第二氣體的流量之一第二閥門、控制閥門之一控制器，具有耦接至該第一導管之一第一氣體輸入、耦接至該第二導管之一第二氣體輸入、及一輸出開口之一基本區段，形成於該基本區段內之一混合腔室，以及設於該混合腔室內之一內部區段，其中該混合腔室係耦接至該第一氣體輸入與該第二氣體輸入以接收輸入氣體，該內部區段包括具有一內部空間之一主體、以及一或多個周邊孔，該一或多個周邊孔係形成貫穿該主體而使該混合腔室流體耦接至該內部區段的該內部空間；及一氣體出流口，係配置以使氣體流經該基本區段的輸出開口。
简体摘要：用于混合气体之设备与系统包括：耦接至一第一导管而控制一第一气体的流量之一第一阀门、耦接至一第二导管而控制一第二气体的流量之一第二阀门、控制阀门之一控制器，具有耦接至该第一导管之一第一气体输入、耦接至该第二导管之一第二气体输入、及一输出开口之一基本区段，形成于该基本区段内之一混合腔室，以及设于该混合腔室内之一内部区段，其中该混合腔室系耦接至该第一气体输入与该第二气体输入以接收输入气体，该内部区段包括具有一内部空间之一主体、以及一或多个周边孔，该一或多个周边孔系形成贯穿该主体而使该混合腔室流体耦接至该内部区段的该内部空间；及一气体出流口，系配置以使气体流经该基本区段的输出开口。

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