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    • 1. 发明专利
    • 平行連桿機構及產業用機器人 PARALLEL LINK MECHANISM AND INDUSTRIAL ROBOT
    • 平行连杆机构及产业用机器人 PARALLEL LINK MECHANISM AND INDUSTRIAL ROBOT
    • TW200730310A
    • 2007-08-16
    • TW095138454
    • 2006-10-18
    • 精工愛普生股份有限公司 SEIKO EPSON CORPORATION
    • 大野政俊 ONO, MASATOSHI
    • B25J
    • B25J9/1065F16H21/04F16H49/001Y10S414/13Y10T74/19Y10T74/20317Y10T74/20329Y10T74/20341
    • 本發明之平行連桿機構包含第1臂、第2臂、第1輔助連桿、第2輔助連桿及驅動馬達。在第1臂之基端部設置具有第1旋轉軸心之筒狀連結軸,第1臂之基端部係經由該連結軸而可旋轉地連結至固定基座。第2臂之前端部係可旋轉地連結至可動基座,第2臂之基端部係經由與傳達機構連結之連結部而可旋轉地連結至第1臂之前端部。第1輔助連桿係與第1臂、連結部及固定基座共同構成第1平行連桿;第2輔助連桿係與第2臂、連結部及可動基座共同構成第2平行連桿。驅動馬達係為使第1及第2臂轉動而驅動傳達機構。驅動馬達係包含具有第2旋轉軸心之馬達軸。驅動馬達係在第2旋轉軸心由第1旋轉軸心在連結軸之徑方向偏倚之狀態下,被固定於第1臂與連結軸中之任一方,以便第1臂以第1旋轉軸心為中心而轉動時,驅動馬達可與第1臂共同以第1旋轉軸心為中心而轉動。
    • 本发明之平行连杆机构包含第1臂、第2臂、第1辅助连杆、第2辅助连杆及驱动马达。在第1臂之基端部设置具有第1旋转轴心之筒状链接轴,第1臂之基端部系经由该链接轴而可旋转地链接至固定基座。第2臂之前端部系可旋转地链接至可动基座,第2臂之基端部系经由与传达机构链接之链接部而可旋转地链接至第1臂之前端部。第1辅助连杆系与第1臂、链接部及固定基座共同构成第1平行连杆;第2辅助连杆系与第2臂、链接部及可动基座共同构成第2平行连杆。驱动马达系为使第1及第2臂转动而驱动传达机构。驱动马达系包含具有第2旋转轴心之马达轴。驱动马达系在第2旋转轴心由第1旋转轴心在链接轴之径方向偏倚之状态下,被固定于第1臂与链接轴中之任一方,以便第1臂以第1旋转轴心为中心而转动时,驱动马达可与第1臂共同以第1旋转轴心为中心而转动。
    • 2. 发明专利
    • 搬送裝置
    • 搬送设备
    • TW444243B
    • 2001-07-01
    • TW088119972
    • 1999-11-16
    • 東京威力科創股份有限公司
    • 佐伯弘明近藤圭祐
    • H01L
    • H01L21/687B25J9/1065B25J9/107H01L21/67742Y10S414/13Y10T74/20305Y10T74/20329
    • 舉例言之,半導體晶圓之處理室常是高溫,且腐蝕性高之環境,如果令具有鋼帶等輸送帶之臂在這種環境進出,便會使輸送帶曝露在高溫下之腐蝕性環境。鋼帶等之耐熱性、耐腐蝕性有限,在處理室等之高溫腐蝕性環境下,壽命會縮短。
      本發明之搬送裝置之特徵在於,備有,蛙腿式臂3,及連結在此之晶圓保持体4,晶圓保持体4係介由同軸構造之關節10,軸支在第l、第2前臂8A、8B之各前端部,且設有由連結第l、第2前臂8A、8B及晶圓保持体4之兩根反平行連桿機構構成之姿勢保持用連桿5,可經由此姿勢保持用連桿5,節制晶圓保持体4對第1、第2之前臂8A、8B之轉動。
    • 举例言之,半导体晶圆之处理室常是高温,且腐蚀性高之环境,如果令具有钢带等输送带之臂在这种环境进出,便会使输送带曝露在高温下之腐蚀性环境。钢带等之耐热性、耐腐蚀性有限,在处理室等之高温腐蚀性环境下,寿命会缩短。 本发明之搬送设备之特征在于,备有,蛙腿式臂3,及链接在此之晶圆保持体4,晶圆保持体4系介由同轴构造之关节10,轴支在第l、第2前臂8A、8B之各前端部,且设有由链接第l、第2前臂8A、8B及晶圆保持体4之两根反平行连杆机构构成之姿势保持用连杆5,可经由此姿势保持用连杆5,节制晶圆保持体4对第1、第2之前臂8A、8B之转动。
    • 3. 发明专利
    • 自動臂機構 A ROBOT ARM MECHANISM
    • 自动臂机构 A ROBOT ARM MECHANISM
    • TWI254663B
    • 2006-05-11
    • TW091134847
    • 2002-11-29
    • 帝人製機股份有限公司 TEIJIN SEIKI CO., LTD.
    • 森弘樹渡邊徹也奧野長平
    • B25J
    • B25J9/1065Y10S414/13Y10T74/20329
    • 在此係揭露一種自動臂機構,其包含一第一臂連桿機構及一第二臂連桿機構、一用以驅動該第一臂連桿機構及第二臂連桿機構之自動臂驅動機構、以及一用以樞轉式地保持該第一臂連桿機構及第二臂連桿機構的連桿保持機構,其中第一臂連桿機構之一第三臂連桿及一第四臂連桿,在使該第一臂連桿機構及第二臂連桿機構伸長之第一轉動方向上,係保持前進狀態,以避免在第一臂連桿機構及第二臂連桿機構伸長的同時使該構成自動臂機構之四節曲柄鏈扁掉,藉此,相較於習知自動臂機構,便可增進變形的抵抗性。
    • 在此系揭露一种自动臂机构,其包含一第一臂连杆机构及一第二臂连杆机构、一用以驱动该第一臂连杆机构及第二臂连杆机构之自动臂驱动机构、以及一用以枢转式地保持该第一臂连杆机构及第二臂连杆机构的连杆保持机构,其中第一臂连杆机构之一第三臂连杆及一第四臂连杆,在使该第一臂连杆机构及第二臂连杆机构伸长之第一转动方向上,系保持前进状态,以避免在第一臂连杆机构及第二臂连杆机构伸长的同时使该构成自动臂机构之四节曲柄链扁掉,借此,相较于习知自动臂机构,便可增进变形的抵抗性。
    • 4. 发明专利
    • 自動臂機構 A robot arm mechanism
    • 自动臂机构 A robot arm mechanism
    • TW200300723A
    • 2003-06-16
    • TW091134847
    • 2002-11-29
    • 帝人製機股份有限公司 TEIJIN SEIKI CO., LTD.
    • 森弘樹渡邊徹也奧野長平
    • B25J
    • B25J9/1065Y10S414/13Y10T74/20329
    • 在此係揭露一種自動臂機構,其包含一第一臂連桿機構及一第二臂連桿機構、一用以驅動該第一臂連桿機構及第二臂連桿機構之自動臂驅動機構、以及一用以樞轉式地保持該第一臂連桿機構及第二臂連桿機構的連桿保持機構,其中第一臂連桿機構之一第三臂連桿及一第四臂連桿,在使該第一臂連桿機構及第二臂連桿機構伸長之第一轉動方向上,係保持前進狀態,以避免在第一臂連桿機構及第二臂連桿機構伸長的同時使該構成自動臂機構之四節曲柄鏈扁掉,藉此,相較於習知自動臂機構,便可增進變形的抵抗性。
    • 在此系揭露一种自动臂机构,其包含一第一臂连杆机构及一第二臂连杆机构、一用以驱动该第一臂连杆机构及第二臂连杆机构之自动臂驱动机构、以及一用以枢转式地保持该第一臂连杆机构及第二臂连杆机构的连杆保持机构,其中第一臂连杆机构之一第三臂连杆及一第四臂连杆,在使该第一臂连杆机构及第二臂连杆机构伸长之第一转动方向上,系保持前进状态,以避免在第一臂连杆机构及第二臂连杆机构伸长的同时使该构成自动臂机构之四节曲柄链扁掉,借此,相较于习知自动臂机构,便可增进变形的抵抗性。
    • 5. 发明专利
    • 自動工具交換裝置
    • 自动工具交换设备
    • TW200300718A
    • 2003-06-16
    • TW091135320
    • 2002-12-05
    • 三共製作所股份有限公司
    • 加藤平三郎
    • B23Q
    • B23Q5/341B23Q3/1554B23Q16/046B23Q16/065B23Q2003/155428B23Q2003/155439B23Q2003/155442Y10S414/13Y10T483/1752Y10T483/1755Y10T483/1769Y10T483/1779
    • 本發明的技術課題是提供一種自動工具交換裝置,是只要採用合理且簡單的構造,即可達成原本(需要複雜的結構)來使手臂伸縮作動以縮小迴旋半徑所獲得裝置的高速運轉的效果。本發明之用以解決這種技術課題之手段,是用來使裝設於旋轉驅動的手臂驅動軸2進行迴旋作動的手臂3伸縮作動的自動工具交換裝置1中,手臂3,是由:可自由裝卸地夾持工具的夾臂部4、以及可自由移動地支承夾臂部4的手臂支承部5所組成,於手臂支承部5和手臂驅動軸2之間,裝設有:連接這些手臂支承部5和手臂驅動軸2使兩者一體旋轉,而且可將兩者分離,以使這些手臂支承部5和手臂驅動軸2之間產生相對旋轉的離合器6;於夾臂部4與手臂驅動軸2之間,裝設有:可傳達手臂驅動軸2對於手臂支承部5的相對旋轉,以使夾臂部4移動的連桿7。
    • 本发明的技术课题是提供一种自动工具交换设备,是只要采用合理且简单的构造,即可达成原本(需要复杂的结构)来使手臂伸缩作动以缩小回旋半径所获得设备的高速运转的效果。本发明之用以解决这种技术课题之手段,是用来使装设于旋转驱动的手臂驱动轴2进行回旋作动的手臂3伸缩作动的自动工具交换设备1中,手臂3,是由:可自由装卸地夹持工具的夹臂部4、以及可自由移动地支承夹臂部4的手臂支承部5所组成,于手臂支承部5和手臂驱动轴2之间,装设有:连接这些手臂支承部5和手臂驱动轴2使两者一体旋转,而且可将两者分离,以使这些手臂支承部5和手臂驱动轴2之间产生相对旋转的离合器6;于夹臂部4与手臂驱动轴2之间,装设有:可传达手臂驱动轴2对于手臂支承部5的相对旋转,以使夹臂部4移动的连杆7。
    • 7. 发明专利
    • 六連桿定位機構
    • 六连杆定位机构
    • TW200611309A
    • 2006-04-01
    • TW093128323
    • 2004-09-17
    • 財團法人工業技術研究院 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
    • 陳冠州 CHEN, KUAN-CHOU吳宗明 WU, TZONG-MING
    • H01L
    • H01L21/67369Y10S414/13Y10S414/136Y10T74/20
    • 本發明之六連桿定位機構於運動時,滑設於固定件之垂直滑槽內之驅動滑塊係會先頂抵於潔淨容器之底座上並相對向上滑移,繼而使平行四連桿機構受到驅動連桿之驅動而向上移動,進而驅動平行四連桿機構之第二連桿作橫向平移並頂推底座上置設之卡匣內之複數個工件一併作橫向移動。因此,藉由前述拘束機構設計,可使整體機構之自由度為1,如此可以點接觸之方式而橫向平移並頂推卡匣內之工件而使其作橫向移動,藉以避免產生摩擦而造成污染,同時,利用所謂之拘束機構設計,可減少晃動而提高六連桿定位機構移動之順暢性。
    • 本发明之六连杆定位机构于运动时,滑设于固定件之垂直滑槽内之驱动滑块系会先顶抵于洁净容器之底座上并相对向上滑移,继而使平行四连杆机构受到驱动连杆之驱动而向上移动,进而驱动平行四连杆机构之第二连杆作横向平移并顶推底座上置设之卡匣内之复数个工件一并作横向移动。因此,借由前述拘束机构设计,可使整体机构之自由度为1,如此可以点接触之方式而横向平移并顶推卡匣内之工件而使其作横向移动,借以避免产生摩擦而造成污染,同时,利用所谓之拘束机构设计,可减少晃动而提高六连杆定位机构移动之顺畅性。
    • 8. 发明专利
    • 自動工具交換裝置
    • 自动工具交换设备
    • TW544362B
    • 2003-08-01
    • TW091135320
    • 2002-12-05
    • 三共製作所股份有限公司
    • 加藤平三郎
    • B23Q
    • B23Q5/341B23Q3/1554B23Q16/046B23Q16/065B23Q2003/155428B23Q2003/155439B23Q2003/155442Y10S414/13Y10T483/1752Y10T483/1755Y10T483/1769Y10T483/1779
    • 本發明的技術課題是提供一種自動工具交換裝置,是只要採用合理且簡單的構造,即可達成原本(需要複雜的結構)來使手臂伸縮作動以縮小迴旋半徑所獲得裝置的高速運轉的效果。
      本發明之用以解決這種技術課題之手段,是用來使裝設於旋轉驅動的手臂驅動軸2進行迴旋作動的手臂3伸縮作動的自動工具交換裝置1中,手臂3,是由:可自由裝卸地夾持工具的夾臂部4、以及可自由移動地支承夾臂部4的手臂支承部5所組成,於手臂支承部5和手臂驅動軸2之間,裝設有:連接這些手臂支承部5和手臂驅動軸2使兩者一體旋轉,而且可將兩者分離,以使這些手臂支承部5和手臂驅動軸2之間產生相對旋轉的離合器6;於夾臂部4與手臂驅動軸2之間,裝設有:可傳達手臂驅動軸2對於手臂支承部5的相對旋轉,以使夾臂部4移動的連桿7。
    • 本发明的技术课题是提供一种自动工具交换设备,是只要采用合理且简单的构造,即可达成原本(需要复杂的结构)来使手臂伸缩作动以缩小回旋半径所获得设备的高速运转的效果。 本发明之用以解决这种技术课题之手段,是用来使装设于旋转驱动的手臂驱动轴2进行回旋作动的手臂3伸缩作动的自动工具交换设备1中,手臂3,是由:可自由装卸地夹持工具的夹臂部4、以及可自由移动地支承夹臂部4的手臂支承部5所组成,于手臂支承部5和手臂驱动轴2之间,装设有:连接这些手臂支承部5和手臂驱动轴2使两者一体旋转,而且可将两者分离,以使这些手臂支承部5和手臂驱动轴2之间产生相对旋转的离合器6;于夹臂部4与手臂驱动轴2之间,装设有:可传达手臂驱动轴2对于手臂支承部5的相对旋转,以使夹臂部4移动的连杆7。
    • 9. 发明专利
    • 傳送物體的設備、方法及具該設備的製程系統
    • 发送物体的设备、方法及具该设备的制程系统
    • TW397747B
    • 2000-07-11
    • TW088101663
    • 1999-02-03
    • 應用材料股份有限公司
    • 詹姆斯D卡杜祺
    • B25JB65GH01L
    • H01L21/68707B25J9/107H01L21/67742Y10S414/13
    • 本發明提供利用機器手臂傳送物體-也就是基材-通過製程系統之機器手臂及其使用方法。機器手臂提供一對安裝於驅動元件的可動手臂,以循著旋轉路徑移動手臂,而產生軸向之伸長、收回、及旋轉。一對上支桿樞軸地安裝於手臂的一端,並樞軸地與第一承載盤之遠端連接,以形成一叉架型的組件。相同地,一對下支桿樞軸地安裝於手臂的一端,並樞軸地與第二承載盤之遠端連接,以形成一叉架型的組件,第二承載盤與第一承載盤徑向地對齊。上支桿與手臂的樞軸連接以及下支桿與手臂的樞軸連接有所偏位,此於承載盤的伸長或收回時,可以產生第一與第二承載盤間之不同的徑向移動速率。機器手臂促使基材傳送,例如完成製程之基材的移開與送入未製程之基材於製程反應室內,此傳送透過單一機器手臂之承載盤進入製程反應室。
    • 本发明提供利用机器手臂发送物体-也就是基材-通过制程系统之机器手臂及其使用方法。机器手臂提供一对安装于驱动组件的可动手臂,以循着旋转路径移动手臂,而产生轴向之伸长、收回、及旋转。一对上支杆枢轴地安装于手臂的一端,并枢轴地与第一承载盘之远程连接,以形成一叉架型的组件。相同地,一对下支杆枢轴地安装于手臂的一端,并枢轴地与第二承载盘之远程连接,以形成一叉架型的组件,第二承载盘与第一承载盘径向地对齐。上支杆与手臂的枢轴连接以及下支杆与手臂的枢轴连接有所偏位,此于承载盘的伸长或收回时,可以产生第一与第二承载盘间之不同的径向移动速率。机器手臂促使基材发送,例如完成制程之基材的移开与送入未制程之基材于制程反应室内,此发送透过单一机器手臂之承载盘进入制程反应室。