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    • 1. 发明专利
    • 潔淨容器結構
    • 洁净容器结构
    • TW200607725A
    • 2006-03-01
    • TW093124536
    • 2004-08-16
    • 財團法人工業技術研究院 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
    • 吳宗明 WU, TZONG-MING何天露 HO, TIEN-LU
    • B65DH01L
    • H01L21/67386H01L21/67396
    • 本發明係有關於一種潔淨容器結構,係將一支撐架直接由一潔淨容器本體之前側開口置入、並容設於潔淨容器本體之內部容室內部,並再於潔淨容器本體之上、下方分別設置有上、下取付板,且上、下取付板則再與支撐架相互組設。由於潔淨容器本體並無須如傳統般再於其他位置開設開孔以作為容置支撐架之用,因此,潔淨容器本體不僅於製造上以及組裝上極為方便,且潔淨容器本體之結構強度亦不會受到破壞,同時,於潔淨容器本體開孔面積減少之情形下,亦可維持潔淨容器本體內部容室之氣密性,而可避免外界水氣或是微塵粒子進入潔淨容器本體。
    • 本发明系有关于一种洁净容器结构,系将一支撑架直接由一洁净容器本体之前侧开口置入、并容设于洁净容器本体之内部容室内部,并再于洁净容器本体之上、下方分别设置有上、下取付板,且上、下取付板则再与支撑架相互组设。由于洁净容器本体并无须如传统般再于其他位置开设开孔以作为容置支撑架之用,因此,洁净容器本体不仅于制造上以及组装上极为方便,且洁净容器本体之结构强度亦不会受到破坏,同时,于洁净容器本体开孔面积减少之情形下,亦可维持洁净容器本体内部容室之气密性,而可避免外界水汽或是微尘粒子进入洁净容器本体。
    • 3. 发明专利
    • 六連桿定位機構
    • 六连杆定位机构
    • TW200611309A
    • 2006-04-01
    • TW093128323
    • 2004-09-17
    • 財團法人工業技術研究院 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
    • 陳冠州 CHEN, KUAN-CHOU吳宗明 WU, TZONG-MING
    • H01L
    • H01L21/67369Y10S414/13Y10S414/136Y10T74/20
    • 本發明之六連桿定位機構於運動時,滑設於固定件之垂直滑槽內之驅動滑塊係會先頂抵於潔淨容器之底座上並相對向上滑移,繼而使平行四連桿機構受到驅動連桿之驅動而向上移動,進而驅動平行四連桿機構之第二連桿作橫向平移並頂推底座上置設之卡匣內之複數個工件一併作橫向移動。因此,藉由前述拘束機構設計,可使整體機構之自由度為1,如此可以點接觸之方式而橫向平移並頂推卡匣內之工件而使其作橫向移動,藉以避免產生摩擦而造成污染,同時,利用所謂之拘束機構設計,可減少晃動而提高六連桿定位機構移動之順暢性。
    • 本发明之六连杆定位机构于运动时,滑设于固定件之垂直滑槽内之驱动滑块系会先顶抵于洁净容器之底座上并相对向上滑移,继而使平行四连杆机构受到驱动连杆之驱动而向上移动,进而驱动平行四连杆机构之第二连杆作横向平移并顶推底座上置设之卡匣内之复数个工件一并作横向移动。因此,借由前述拘束机构设计,可使整体机构之自由度为1,如此可以点接触之方式而横向平移并顶推卡匣内之工件而使其作横向移动,借以避免产生摩擦而造成污染,同时,利用所谓之拘束机构设计,可减少晃动而提高六连杆定位机构移动之顺畅性。