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    • 7. 发明专利
    • 壓電器件及壓電器件的製造方法
    • 压电器件及压电器件的制造方法
    • TW201503434A
    • 2015-01-16
    • TW103123548
    • 2014-07-09
    • 日本電波工業股份有限公司NIHON DEMPA KOGYO CO., LTD.
    • 上條敦KAMIJO, ATSUSHI
    • H01L41/08H01L41/47H03H9/10
    • H03H9/1021H03H2003/022H03H2003/0428Y10T29/42
    • 本發明提供一種抑制壓電振動片的諧振頻率變動,製造良率高的壓電器件及其製造方法。該壓電器件包括:壓電振動片(140),形成著振盪電極(141a);基底(130),保持壓電振動片(140);第一蓋板(120),在將壓電振動片(140)收容於空腔(150)的狀態下接合於基底(130),且包含將空腔(150)開口的開口部(122);及第二蓋板(110),以將開口部(122)阻塞的方式接合於第一蓋板(120)的表面側;開口部(122)是形成於俯視下包含壓電振動片(140)的除振盪電極(141a)以外的區域(S1)、或除壓電振動片(140)以外的區域(S2)且重疊的位置。
    • 本发明提供一种抑制压电振动片的谐振频率变动,制造良率高的压电器件及其制造方法。该压电器件包括:压电振动片(140),形成着振荡电极(141a);基底(130),保持压电振动片(140);第一盖板(120),在将压电振动片(140)收容于空腔(150)的状态下接合于基底(130),且包含将空腔(150)开口的开口部(122);及第二盖板(110),以将开口部(122)阻塞的方式接合于第一盖板(120)的表面侧;开口部(122)是形成于俯视下包含压电振动片(140)的除振荡电极(141a)以外的区域(S1)、或除压电振动片(140)以外的区域(S2)且重叠的位置。
    • 9. 发明专利
    • 水晶振動元件及其製造方法以及水晶振動子及其製造方法
    • 水晶振动组件及其制造方法以及水晶振动子及其制造方法
    • TW201813288A
    • 2018-04-01
    • TW106129976
    • 2017-09-01
    • 日商村田製作所股份有限公司MURATA MANUFACTURING CO., LTD.
    • 崔弘毅SAI, KOKI
    • H03H3/04H01L41/20H03H9/19
    • H03H3/013H03H3/04H03H9/177H03H9/19H03H2003/0428H03H2003/0485
    • 本發明謀求電氣可靠性之提高及頻率特性之穩定化。 本發明之水晶振動元件之製造方法,包含:準備水晶振動元件70之步驟,該水晶振動元件70具備:具有於自主面12a之法線方向俯視時包含該主面之中央之振動部17及鄰接於振動部17之周緣部18、19的水晶片11,以相互對向之方式設置於振動部17之一對激勵電極74a、14b,設置於周緣部18之電極墊16a、16b,及以將激勵電極74a、14b與電極墊16a、16b電性連接之方式設置於振動部17與周緣部18、19之引出電極75a、15b;第1修整步驟,其係對振動部17及周緣部18、19進行;以及第2修整步驟,其係對振動部17中之激勵電極74a'之一部分進行。
    • 本发明谋求电气可靠性之提高及频率特性之稳定化。 本发明之水晶振动组件之制造方法,包含:准备水晶振动组件70之步骤,该水晶振动组件70具备:具有于自主面12a之法线方向俯视时包含该主面之中央之振动部17及邻接于振动部17之周缘部18、19的水芯片11,以相互对向之方式设置于振动部17之一对激励电极74a、14b,设置于周缘部18之电极垫16a、16b,及以将激励电极74a、14b与电极垫16a、16b电性连接之方式设置于振动部17与周缘部18、19之引出电极75a、15b;第1修整步骤,其系对振动部17及周缘部18、19进行;以及第2修整步骤,其系对振动部17中之激励电极74a'之一部分进行。