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1. 发明专利

TW201503434A 壓電器件及壓電器件的製造方法审中-公开
简体标题：压电器件及压电器件的制造方法
公开(公告)号：TW201503434A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103123548
申请日：2014-07-09
申请人：日本電波工業股份有限公司 , NIHON DEMPA KOGYO CO., LTD.
发明人：上條敦 , KAMIJO, ATSUSHI
IPC分类号： H01L41/08 , H01L41/47 , H03H9/10
CPC分类号： H03H9/1021 , H03H2003/022 , H03H2003/0428 , Y10T29/42
摘要：本發明提供一種抑制壓電振動片的諧振頻率變動，製造良率高的壓電器件及其製造方法。該壓電器件包括：壓電振動片(140)，形成著振盪電極(141a)；基底(130)，保持壓電振動片(140)；第一蓋板(120)，在將壓電振動片(140)收容於空腔(150)的狀態下接合於基底(130)，且包含將空腔(150)開口的開口部(122)；及第二蓋板(110)，以將開口部(122)阻塞的方式接合於第一蓋板(120)的表面側；開口部(122)是形成於俯視下包含壓電振動片(140)的除振盪電極(141a)以外的區域(S1)、或除壓電振動片(140)以外的區域(S2)且重疊的位置。
简体摘要：本发明提供一种抑制压电振动片的谐振频率变动，制造良率高的压电器件及其制造方法。该压电器件包括：压电振动片(140)，形成着振荡电极(141a)；基底(130)，保持压电振动片(140)；第一盖板(120)，在将压电振动片(140)收容于空腔(150)的状态下接合于基底(130)，且包含将空腔(150)开口的开口部(122)；及第二盖板(110)，以将开口部(122)阻塞的方式接合于第一盖板(120)的表面侧；开口部(122)是形成于俯视下包含压电振动片(140)的除振荡电极(141a)以外的区域(S1)、或除压电振动片(140)以外的区域(S2)且重叠的位置。

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