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热词
    • 1. 发明专利
    • 壓電器件、液體噴射頭、液體噴射裝置及壓電器件的製造方法
    • 压电器件、液体喷射头、液体喷射设备及压电器件的制造方法
    • TW201614880A
    • 2016-04-16
    • TW104133085
    • 2015-10-07
    • 精工愛普生股份有限公司SEIKO EPSON CORPORATION
    • 長沼陽一NAGANUMA, YOICHI中山雅夫NAKAYAMA, MASAO平井栄樹HIRAI, EIJU齊藤剛SAITO, TAKESHI穗苅吉宏HOKARI, YOSHIHIRO
    • H01L41/083H01L41/47B41J2/045
    • 本發明之目的在於提供可確保壓電元件之可靠度,且使壓電元件之變形效率化之壓電器件、液體噴射頭、及液體噴射裝置。 本發明之壓電器件其特徵在於包含:變形部,其容許彈性層17之變形;非變形部,其阻礙彈性層17之變形;及壓電元件19,其依序積層有下電極層27、壓電體層28、及上電極層29而成;且變形部具有供配置壓電元件19之區域P1、與非變形部相鄰之區域P3、及配置於區域P1與區域P3之間之區域P2;於區域P1,依序積層有彈性層17、絕緣體層18、下電極層27、壓電體層28、及上電極層29;於區域P2,依序積層有彈性層17、絕緣體層18、壓電體層28、及上電極層29;於區域P3,依序積層有彈性層17及上電極層29;彈性層17係氧化矽;於區域P3之氧化矽,於上電極層29側添加有雜質。
    • 本发明之目的在于提供可确保压电组件之可靠度,且使压电组件之变形效率化之压电器件、液体喷射头、及液体喷射设备。 本发明之压电器件其特征在于包含:变形部,其容许弹性层17之变形;非变形部,其阻碍弹性层17之变形;及压电组件19,其依序积层有下电极层27、压电体层28、及上电极层29而成;且变形部具有供配置压电组件19之区域P1、与非变形部相邻之区域P3、及配置于区域P1与区域P3之间之区域P2;于区域P1,依序积层有弹性层17、绝缘体层18、下电极层27、压电体层28、及上电极层29;于区域P2,依序积层有弹性层17、绝缘体层18、压电体层28、及上电极层29;于区域P3,依序积层有弹性层17及上电极层29;弹性层17系氧化硅;于区域P3之氧化硅,于上电极层29侧添加有杂质。
    • 3. 发明专利
    • 聲波諧振器及其製造方法
    • 声波谐振器及其制造方法
    • TW202023081A
    • 2020-06-16
    • TW108139641
    • 2019-11-01
    • 南韓商三星電機股份有限公司SAMSUNG ELECTRO-MECHANICS CO., LTD.
    • 韓源HAN, WON林昶賢LIM, CHANG HYUN金泰潤KIM, TAE YOON孫尙郁SON, SANG UK尹湘基YOON, SANG KEE
    • H01L41/29H01L41/47H03H9/02
    • 本發明提供一種聲波諧振器及其製造方法,所述聲波諧振器包括:基板;諧振部,包括在所述基板上順序地堆疊有第一電極、壓電層和第二電極的中央部和沿著所述中央部的外周設置的延伸部;以及第一金屬層,設置在所述諧振部的外部,以電連接到所述第一電極。所述延伸部包括下插入層,所述下插入層設置在所述第一電極的上表面或所述第一電極的下表面上。所述壓電層包括壓電部和彎曲部,所述壓電部設置在所述中央部中,所述彎曲部設置在所述延伸部中並且根據所述下插入層的形狀而傾斜地從所述壓電部延伸。所述下插入層利用導電材料形成,以使所述第一電極與所述第一金屬層之間的電路徑延伸。
    • 本发明提供一种声波谐振器及其制造方法,所述声波谐振器包括:基板;谐振部,包括在所述基板上顺序地堆栈有第一电极、压电层和第二电极的中央部和沿着所述中央部的外周设置的延伸部;以及第一金属层,设置在所述谐振部的外部,以电连接到所述第一电极。所述延伸部包括下插入层,所述下插入层设置在所述第一电极的上表面或所述第一电极的下表面上。所述压电层包括压电部和弯曲部,所述压电部设置在所述中央部中,所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述下插入层的形状而倾斜地从所述压电部延伸。所述下插入层利用导电材料形成,以使所述第一电极与所述第一金属层之间的电路径延伸。