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    • 4. 发明专利
    • 半導體裝置
    • 半导体设备
    • TW201624704A
    • 2016-07-01
    • TW104126875
    • 2015-08-18
    • 豐田自動車股份有限公司TOYOTA JIDOSHA KABUSHIKI KAISHA
    • 秦裕史HATA, HIROSHI亀山悟KAMEYAMA, SATORU岩崎真也IWASAKI, SHINYA
    • H01L29/739H01L29/861H01L27/07
    • H01L27/0664H01L21/322H01L27/04H01L29/1095H01L29/32H01L29/36H01L29/7397H01L29/78H01L29/8611H01L29/8613
    • 本發明係一種半導體裝置,其中,半導體裝置(1)係於同一半導體基板(10),加以形成IGBT與二極體。具備:半導體基板(10),和加以形成於半導體基板(10)之表面的表面電極(11),和加以形成於半導體基板(10)之背面的背面電極(12)。對於半導體基板(10)係加以形成有主動範圍(1a),和周邊範圍(4),和結晶缺陷範圍(100)。在主動範圍(1a)中,平面視半導體基板(10)表面時,加以並列配置IGBT範圍(2)與二極體範圍(3)。在二極體範圍(3)中,加以形成有導通於表面電極(11)之陽極範圍(31),和導通於背面電極(12)之陰極範圍(32),和位置於陽極範圍(31)與陰極範圍(32)之間的二極體漂移範圍(50)。周邊範圍(4)係平面視半導體基板(10)表面時,位置於主動範圍(1a)的周邊。周邊範圍(4)係具備:從半導體基板(10)表面到達至較陽極範圍(31)為深的位置之同時,導通於表面電極(11)之p型之阱型範 圍(41),和位置於阱型範圍(41)之背面側之同時,與二極體範圍(3)內之漂移範圍(50)連結之漂移範圍(50)。在結晶缺陷範圍(100)中,加以導入再結合中心而成為較周圍的再結合中心的濃度為高。結晶缺陷範圍(100)係沿著二極體範圍(3)之長度方向,從二極體範圍(3)連續延伸至周邊範圍(4)為止。
    • 本发明系一种半导体设备,其中,半导体设备(1)系于同一半导体基板(10),加以形成IGBT与二极管。具备:半导体基板(10),和加以形成于半导体基板(10)之表面的表面电极(11),和加以形成于半导体基板(10)之背面的背面电极(12)。对于半导体基板(10)系加以形成有主动范围(1a),和周边范围(4),和结晶缺陷范围(100)。在主动范围(1a)中,平面视半导体基板(10)表面时,加以并列配置IGBT范围(2)与二极管范围(3)。在二极管范围(3)中,加以形成有导通于表面电极(11)之阳极范围(31),和导通于背面电极(12)之阴极范围(32),和位置于阳极范围(31)与阴极范围(32)之间的二极管漂移范围(50)。周边范围(4)系平面视半导体基板(10)表面时,位置于主动范围(1a)的周边。周边范围(4)系具备:从半导体基板(10)表面到达至较阳极范围(31)为深的位置之同时,导通于表面电极(11)之p型之阱型范 围(41),和位置于阱型范围(41)之背面侧之同时,与二极管范围(3)内之漂移范围(50)链接之漂移范围(50)。在结晶缺陷范围(100)中,加以导入再结合中心而成为较周围的再结合中心的浓度为高。结晶缺陷范围(100)系沿着二极管范围(3)之长度方向,从二极管范围(3)连续延伸至周边范围(4)为止。