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    • 7. 发明专利
    • 矽酸鉛為基礎之電容結構
    • 硅酸铅为基础之电容结构
    • TW357431B
    • 1999-05-01
    • TW085100435
    • 1996-01-16
    • 萬國商業機器公司
    • 湯姆士.麥克羅爾.邵羅伯特.班傑明.雷伯茲
    • H01L
    • H01L28/55H01G4/10H01G4/129H01L21/31691
    • 一種電容及在加入半導體基質,在基質內或上面形成一底層電極,矽酸鋇或鉛介電層,與一上層電極之情況下描述其製法。矽酸鋇或鉛及諸如鈦酸鋇或鉛之高介電常數材料之夾層(三明治)介電體可能包含介電性。矽酸鹽層可藉鋇或鉛之蒸發與擴散,離子植入,或電鍍和擴散而製得。高epsilon介電常數材料可藉膠化體膠液沉積,金屬有機化學氣相沉積或濺鍍而製得。本發明克服了底層電極與介電層在化學互相作用下串聯或在預期介電層之下形成矽氧化物層之問題。
    • 一种电容及在加入半导体基质,在基质内或上面形成一底层电极,硅酸钡或铅介电层,与一上层电极之情况下描述其制法。硅酸钡或铅及诸如钛酸钡或铅之高介电常数材料之夹层(三明治)介电体可能包含介电性。硅酸盐层可藉钡或铅之蒸发与扩散,离子植入,或电镀和扩散而制得。高epsilon介电常数材料可藉胶化体胶液沉积,金属有机化学气相沉积或溅镀而制得。本发明克服了底层电极与介电层在化学互相作用下串联或在预期介电层之下形成硅氧化物层之问题。