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    • 7. 发明专利
    • 有機薄膜電晶體及其製造方法 ORGANIC THIN-FILM TRANSISTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
    • 有机薄膜晶体管及其制造方法 ORGANIC THIN-FILM TRANSISTOR AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
    • TW201123577A
    • 2011-07-01
    • TW098145272
    • 2009-12-28
    • 財團法人工業技術研究院國立臺灣大學
    • 蔡豐羽傅榆胡堂祥張智浩
    • H01L
    • 一種有機薄膜電晶體及其製造方法。該方法包括以下步驟:在一容器中,提供一基板,其一面上方形成有一第一圖案化電極;於該基板上,形成一介電層,以覆蓋該第一圖案化電極;於該介電層上,形成一對第二圖案化電極,並在該對第二圖案化電極之間保留一縫隙,該縫隙對應該第一圖案化電極;形成一有機半導體層,其填滿並覆蓋該縫隙;以及提供一高於75%飽和蒸氣壓之氣化溶劑,使該有機半導體層呈現膨潤態且具有流動性,能進行再流動(reflow),並使大部分之有機半導體分子離開該縫隙,留下有機半導體層於該縫隙中。
    • 一种有机薄膜晶体管及其制造方法。该方法包括以下步骤:在一容器中,提供一基板,其一面上方形成有一第一图案化电极;于该基板上,形成一介电层,以覆盖该第一图案化电极;于该介电层上,形成一对第二图案化电极,并在该对第二图案化电极之间保留一缝隙,该缝隙对应该第一图案化电极;形成一有机半导体层,其填满并覆盖该缝隙;以及提供一高于75%饱和蒸气压之气化溶剂,使该有机半导体层呈现膨润态且具有流动性,能进行再流动(reflow),并使大部分之有机半导体分子离开该缝隙,留下有机半导体层于该缝隙中。
    • 8. 发明专利
    • 透明導電薄膜及其形成方法 TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM AND FABRICATION METHOD THEREOF
    • 透明导电薄膜及其形成方法 TRANSPARENT CONDUCTIVE FILM AND FABRICATION METHOD THEREOF
    • TW201111541A
    • 2011-04-01
    • TW098132662
    • 2009-09-28
    • 國立臺灣大學
    • 蔡豐羽周俊廷
    • C23C
    • H01B1/08C23C14/221C23C16/40C23C16/405C23C16/407C23C16/45529C23C16/45531
    • 本發明係有關於一種透明導電薄膜及其製法,該透明導電薄膜包括複數層氧化物原子層,其包含複數種氧化物原子層,其中單一層的複數種氧化物原子層包含一種以上的氧化物均勻混合。該製法包括經由不同來源,分別通入一種以上的氧化物前驅物至原子層沈積設備中,其中該些氧化物前驅物同時且連續地進入原子層沈積設備中,均勻混合吸附於基底之上,接著通入氧化劑,與該些氧化物前驅物反應,形成單一層之複數種氧化物原子層,以及重複上述步驟,形成複數層之複數種氧化物原子層。
    • 本发明系有关于一种透明导电薄膜及其制法,该透明导电薄膜包括复数层氧化物原子层,其包含复数种氧化物原子层,其中单一层的复数种氧化物原子层包含一种以上的氧化物均匀混合。该制法包括经由不同来源,分别通入一种以上的氧化物前驱物至原子层沉积设备中,其中该些氧化物前驱物同时且连续地进入原子层沉积设备中,均匀混合吸附于基底之上,接着通入氧化剂,与该些氧化物前驱物反应,形成单一层之复数种氧化物原子层,以及重复上述步骤,形成复数层之复数种氧化物原子层。