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    • 5. 发明专利
    • 嵌入式電容結構及其形成方法
    • 嵌入式电容结构及其形成方法
    • TW201306063A
    • 2013-02-01
    • TW100125534
    • 2011-07-19
    • 聯華電子股份有限公司UNITED MICROELECTRONICS CORP.
    • 蘇浩SU, HAO胡航HU, HANG廖鴻LIAO, HONG
    • H01G2/06H01G4/00H05K1/16
    • 一種嵌入式電容結構形成方法,包含:提供具有第一介電層之一基板,且第一介電層內具有溝渠;在溝渠之底層表面上形成電容結構,電容結構包括第一金屬層、電容絕緣層及第二金屬層,且曝露出在溝渠之底層表面上之第一金屬層之部份表面;在溝渠之上表面、內側表面及電容結構上形成覆蓋層;在覆蓋層上形成第二介電層;以及移除在溝渠內之部份第二介電層以及部份覆蓋層以形成複數個接觸窗,且曝露出第一金屬層之部份表面及第二金屬層之部份表面。
    • 一种嵌入式电容结构形成方法,包含:提供具有第一介电层之一基板,且第一介电层内具有沟渠;在沟渠之底层表面上形成电容结构,电容结构包括第一金属层、电容绝缘层及第二金属层,且曝露出在沟渠之底层表面上之第一金属层之部份表面;在沟渠之上表面、内侧表面及电容结构上形成覆盖层;在覆盖层上形成第二介电层;以及移除在沟渠内之部份第二介电层以及部份覆盖层以形成复数个接触窗,且曝露出第一金属层之部份表面及第二金属层之部份表面。