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    • 2. 发明专利
    • 感光性樹脂組成物
    • 感光性树脂组成物
    • TW201802598A
    • 2018-01-16
    • TW106110074
    • 2017-03-27
    • 東麗股份有限公司TORAY INDUSTRIES, INC.
    • 木內洋平KIUCHI, YOHEI莊司優SHOJI, YU磯部王郎ISOBE, KIMIO
    • G03F7/004G03F7/027G03F7/075G03F7/037C08G73/06H01L21/027
    • G03F7/027C08G77/26G03F7/037G03F7/075G03F7/20
    • 提供一種感光性樹脂組成物,其可得到耐化學性及電氣絕緣性優異,且在硬化後具有正錐形的剖面形狀的硬化凸紋圖案。本發明係一種感光性樹脂組成物,其含有:包含從聚醯亞胺及其前驅物、以及聚苯并唑及其前驅物所選出的1種以上的鹼可溶性樹脂(A),以及含有(甲基)丙烯醯(meth(acryl))基的化合物(B);前述含有(甲基)丙烯醯基的化合物(B)係具有以通式(1)所表示的構造、與從通式(2-1)、通式(2-2)、及通式(2-3)所選出的1種以上的構造之化合物的縮合物,且包含具有複數個通式(1)的構造之含有多官能(甲基)丙烯醯基的矽烷縮合物(B1),前述化合物(B1)的重量平均分子量為1,000~20,000。 (通式(1)中,R1表示氫原子或甲基。m表示1≦m≦4的範圍內的整數。*記號表示鍵結部。通式(2-1)、(2-2)及(2-3)中,R2表示甲基或乙基。n表示1≦n≦4的範圍內的整數。*記號表示鍵結部。)
    • 提供一种感光性树脂组成物,其可得到耐化学性及电气绝缘性优异,且在硬化后具有正锥形的剖面形状的硬化凸纹图案。本发明系一种感光性树脂组成物,其含有:包含从聚酰亚胺及其前驱物、以及聚苯并唑及其前驱物所选出的1种以上的碱可溶性树脂(A),以及含有(甲基)丙烯酰(meth(acryl))基的化合物(B);前述含有(甲基)丙烯酰基的化合物(B)系具有以通式(1)所表示的构造、与从通式(2-1)、通式(2-2)、及通式(2-3)所选出的1种以上的构造之化合物的缩合物,且包含具有复数个通式(1)的构造之含有多官能(甲基)丙烯酰基的硅烷缩合物(B1),前述化合物(B1)的重量平均分子量为1,000~20,000。 (通式(1)中,R1表示氢原子或甲基。m表示1≦m≦4的范围内的整数。*记号表示键结部。通式(2-1)、(2-2)及(2-3)中,R2表示甲基或乙基。n表示1≦n≦4的范围内的整数。*记号表示键结部。)