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    • 2. 发明专利
    • 探索裝置及探索方法
    • 探索设备及探索方法
    • TW201814557A
    • 2018-04-16
    • TW106129091
    • 2017-08-28
    • 日立製作所股份有限公司HITACHI, LTD.
    • 大森健史OHMORI, TAKESHI田中潤一TANAKA, JUNICHI小山光KOYAMA, HIKARU栗原優KURIHARA, MASARU
    • G06F17/30G06F17/18
    • H01L21/67276G01D1/00G06F17/30979G06N3/02G06N5/04
    • 本發明實現半導體處理裝置之運用之效率化。 本發明之探索裝置受理表示半導體處理裝置中設定之條件或藉由半導體處理裝置處理半導體之結果的目標值、與由條件與結果之範圍而規定之探索區域內之條件或結果之中目標值所表示者之基準值的輸入,基於探索區域內之條件之設定值、與將該設定值賦予至半導體處理裝置之情形時之結果之實測值,產生表示條件與結果之關係之預測模型,藉由對預測模型賦予目標值,自預測模型取得預測值,而自探索區域特定預測值之存在區域,判斷與預測值對應之結果之實測值是否較基準值更接近目標值,於判斷為實測值接近目標值之情形時,將預測值設定為基準值,將預測值之存在區域設定為探索區域,於實測值滿足目標值之達成條件之情形時輸出滿足達成條件之預測值。
    • 本发明实现半导体处理设备之运用之效率化。 本发明之探索设备受理表示半导体处理设备中设置之条件或借由半导体处理设备处理半导体之结果的目标值、与由条件与结果之范围而规定之探索区域内之条件或结果之中目标值所表示者之基准值的输入,基于探索区域内之条件之设置值、与将该设置值赋予至半导体处理设备之情形时之结果之实测值,产生表示条件与结果之关系之预测模型,借由对预测模型赋予目标值,自预测模型取得预测值,而自探索区域特定预测值之存在区域,判断与预测值对应之结果之实测值是否较基准值更接近目标值,于判断为实测值接近目标值之情形时,将预测值设置为基准值,将预测值之存在区域设置为探索区域,于实测值满足目标值之达成条件之情形时输出满足达成条件之预测值。
    • 5. 发明专利
    • 電容性感測 CAPACITIVE SENSING
    • 电容性传感 CAPACITIVE SENSING
    • TW201040501A
    • 2010-11-16
    • TW099106025
    • 2010-03-02
    • 愛特梅爾公司
    • 都伯利 約翰 史丹利
    • G01D
    • H03K17/962G01D1/00G01D5/24G01D15/00G01D21/00G01R29/0878H03K17/9622H03K2217/960725
    • 一種多通道電容性感測器,其用於量測複數個感測電極到一系統參考電位的電容。該感測器包括:一取樣電容器,其具有一第一端子和一第二端子;一第一二極體,其具有一耦接到該取樣電容器的該第二端子的第一端子和一耦接到一第一感測電極的第二端子;以及一第二二極體,其具有一耦接到該取樣電容器的該第二端子的第一端子和一耦接到一第二感測電極的第二端子。該取樣電容器和該等二極體耦接到一控制電路,例如實施於微控制器中之控制電路。該控制電路可操作以將一驅動信號(例如,一系列電壓脈衝)施加於該取樣電容器的該第一端子,同時將一偏壓信號施加於該等二極體中的一者或另一者的該第二端子,以防止該二極體傳導該驅動信號。因此,可在共用共同的取樣電容器的同時使用電荷轉移技術量測多個電容。此有助於減少通道間漂移。可藉由提供另外的二極體和對應的感測電極來添加另外的量測通道。對於三個或三個以上通道,該方案每額外通道僅需要一個額外控制電路連接。
    • 一种多信道电容性传感器,其用于量测复数个传感电极到一系统参考电位的电容。该传感器包括:一采样电容器,其具有一第一端子和一第二端子;一第一二极管,其具有一耦接到该采样电容器的该第二端子的第一端子和一耦接到一第一传感电极的第二端子;以及一第二二极管,其具有一耦接到该采样电容器的该第二端子的第一端子和一耦接到一第二传感电极的第二端子。该采样电容器和该等二极管耦接到一控制电路,例如实施于单片机中之控制电路。该控制电路可操作以将一驱动信号(例如,一系列电压脉冲)施加于该采样电容器的该第一端子,同时将一偏压信号施加于该等二极管中的一者或另一者的该第二端子,以防止该二极管传导该驱动信号。因此,可在共享共同的采样电容器的同时使用电荷转移技术量测多个电容。此有助于减少信道间漂移。可借由提供另外的二极管和对应的传感电极来添加另外的量测信道。对于三个或三个以上信道,该方案每额外信道仅需要一个额外控制电路连接。