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    • 4. 发明专利
    • 大型基板用多段式加熱裝置 MULTI STAGE TYPE HEATING APPARATUS FOR LARGE SIZE SUBSTRATES
    • 大型基板用多段式加热设备 MULTI STAGE TYPE HEATING APPARATUS FOR LARGE SIZE SUBSTRATES
    • TWI311634B
    • 2009-07-01
    • TW093101508
    • 2004-01-20
    • 平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
    • 藤吉誠 HUJIYOSHI, MAKOTO
    • F26BH01L
    • F26B3/28F26B9/066F26B23/06
    • 本發明提供一種大型基板用多段式加熱裝置,其構造簡單,且處理效率佳,能減低製作成本、運轉成本等成本,可保持大型基板之高乾燥品質。
      將被乾燥物之複數片矩形大型基板6,配置成多段狀而使其乾燥的大型基板用多段式加熱裝置1,係將內部具有發熱體之兩面加熱式矩形板式加熱器4-1, 4-2…4-n計複數片,於上下方向相距既定間隔配置多段,相鄰之上下板式加熱器間的空間部,係作為用以加熱使大型基板6乾燥之乾燥室7-1, 7-2…7-(n-1),大型基板6,係被複數根支持銷分別支持板面之複數個適當位置,以保持於乾燥室內之既定高度位置,以包圍於上下方向形成為多段之複數個乾燥室之周圍的方式,形成上升熱氣流。
    • 本发明提供一种大型基板用多段式加热设备,其构造简单,且处理效率佳,能减低制作成本、运转成本等成本,可保持大型基板之高干燥品质。 将被干燥物之复数片矩形大型基板6,配置成多段状而使其干燥的大型基板用多段式加热设备1,系将内部具有发热体之两面加热式矩形板式加热器4-1, 4-2…4-n计复数片,于上下方向相距既定间隔配置多段,相邻之上下板式加热器间的空间部,系作为用以加热使大型基板6干燥之干燥室7-1, 7-2…7-(n-1),大型基板6,系被复数根支持销分别支持板面之复数个适当位置,以保持于干燥室内之既定高度位置,以包围于上下方向形成为多段之复数个干燥室之周围的方式,形成上升热气流。
    • 5. 发明专利
    • 加熱方法
    • 加热方法
    • TW546679B
    • 2003-08-11
    • TW089109685
    • 2000-05-19
    • 東芝股份有限公司
    • 伊藤信一奧村 勝彌
    • F26BH01L
    • F26B3/28
    • 一種加熱方法,係使用加熱裝置,該加熱裝置具備多數燈泡;及,多數石英柱:配置於此燈泡的光放射方向前方,具有在一方端部取入來自該燈泡的放射光的光入射面和在他方端部放射光的光放射面,藉由在配置成與前述石英柱的光放射面相對的被處理體從燈泡通過石英柱照射光,加熱被處理體。以石英柱的光放射面寬度為L時,將石英柱的光放射面和被處理體的距離設定於0.3L附近或0.8 L以上,較佳係1L以上。
    • 一种加热方法,系使用加热设备,该加热设备具备多数灯泡;及,多数石英柱:配置于此灯泡的光放射方向前方,具有在一方端部取入来自该灯泡的放射光的光入射面和在他方端部放射光的光放射面,借由在配置成与前述石英柱的光放射面相对的被处理体从灯泡通过石英柱照射光,加热被处理体。以石英柱的光放射面宽度为L时,将石英柱的光放射面和被处理体的距离设置于0.3L附近或0.8 L以上,较佳系1L以上。