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1. 发明专利

TWI311634B 大型基板用多段式加熱裝置 MULTI STAGE TYPE HEATING APPARATUS FOR LARGE SIZE SUBSTRATES 失效
简体标题：大型基板用多段式加热设备 MULTI STAGE TYPE HEATING APPARATUS FOR LARGE SIZE SUBSTRATES
公开(公告)号：TWI311634B
公开(公告)日：2009-07-01
申请号：TW093101508
申请日：2004-01-20
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：藤吉誠 HUJIYOSHI, MAKOTO
IPC分类号： F26B , H01L
CPC分类号： F26B3/28 , F26B9/066 , F26B23/06
摘要：本發明提供一種大型基板用多段式加熱裝置,其構造簡單,且處理效率佳,能減低製作成本、運轉成本等成本,可保持大型基板之高乾燥品質。
將被乾燥物之複數片矩形大型基板6,配置成多段狀而使其乾燥的大型基板用多段式加熱裝置1,係將內部具有發熱體之兩面加熱式矩形板式加熱器4-1, 4-2…4-n計複數片,於上下方向相距既定間隔配置多段,相鄰之上下板式加熱器間的空間部,係作為用以加熱使大型基板6乾燥之乾燥室7-1, 7-2…7-(n-1),大型基板6,係被複數根支持銷分別支持板面之複數個適當位置,以保持於乾燥室內之既定高度位置,以包圍於上下方向形成為多段之複數個乾燥室之周圍的方式,形成上升熱氣流。
简体摘要：本发明提供一种大型基板用多段式加热设备,其构造简单,且处理效率佳,能减低制作成本、运转成本等成本,可保持大型基板之高干燥品质。将被干燥物之复数片矩形大型基板6,配置成多段状而使其干燥的大型基板用多段式加热设备1,系将内部具有发热体之两面加热式矩形板式加热器4-1, 4-2…4-n计复数片,于上下方向相距既定间隔配置多段,相邻之上下板式加热器间的空间部,系作为用以加热使大型基板6干燥之干燥室7-1, 7-2…7-(n-1),大型基板6,系被复数根支持销分别支持板面之复数个适当位置,以保持于干燥室内之既定高度位置,以包围于上下方向形成为多段之复数个干燥室之周围的方式,形成上升热气流。

2. 发明专利

TWI307523B 基板處理方法及基板處理裝置有权
简体标题：基板处理方法及基板处理设备
公开(公告)号：TWI307523B
公开(公告)日：2009-03-11
申请号：TW093100922
申请日：2004-01-14
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：月田博史 TSUKIDA, HIROSHI
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/6715 , B08B7/0035 , B08B7/04 , C03C17/32 , C03C23/006 , C03C23/0075 , C03C2218/31 , H01L21/67051
摘要：本發明是關於對著基板的表面吐出液體的處理,提供一得到更適當結果的基板處理技術。本發明是在屬於包括:對著基板的表面吐出洗淨液、光阻液、顯影液等的液體的液體吐出工程(S2、S5、S9)、和作為液體吐出工程的前處理而進行基板的表面處理的表面處理工程(S1、S4、S8)的基板處理方法中,以在表面處理工程(S1、S4、S8),對著基板的表面來照射大氣壓電漿為其特徵。
简体摘要：本发明是关于对着基板的表面吐出液体的处理,提供一得到更适当结果的基板处理技术。本发明是在属于包括:对着基板的表面吐出洗净液、光阻液、显影液等的液体的液体吐出工程(S2、S5、S9)、和作为液体吐出工程的前处理而进行基板的表面处理的表面处理工程(S1、S4、S8)的基板处理方法中,以在表面处理工程(S1、S4、S8),对着基板的表面来照射大气压等离子为其特征。

3. 发明专利

TW200846083A 塗布裝置及塗布方法 COATING DEVICE AND METHOD 审中-公开
简体标题：涂布设备及涂布方法 COATING DEVICE AND METHOD
公开(公告)号：TW200846083A
公开(公告)日：2008-12-01
申请号：TW096149135
申请日：2007-12-21
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：高本德男 TAKAMOTO, TOKUO
IPC分类号： B05C , G03F
CPC分类号： B05C11/1039 , B05C1/08
摘要：本發明提供一種塗布裝置及塗布方法,可進行能夠於底塗清洗處理之情況下再利用混有塗布液之清洗液(亦即,混合液)而再生之再生處理。該塗布裝置包括:含有可噴射清洗液之噴嘴的底塗輥清洗機構;含有用以回收與塗布液之混合清洗液的槽(13a,13b)之類的容器的回收機構;含有加熱器(21a,21b)及冷卻塔(24),且含有自該混合液中分離出再生清洗液之分離機構的再生機構;以及將該再生清洗液供給至上述底塗輥清洗機構的供給機構。
简体摘要：本发明提供一种涂布设备及涂布方法,可进行能够于底涂清洗处理之情况下再利用混有涂布液之清洗液(亦即,混合液)而再生之再生处理。该涂布设备包括:含有可喷射清洗液之喷嘴的底涂辊清洗机构;含有用以回收与涂布液之混合清洗液的槽(13a,13b)之类的容器的回收机构;含有加热器(21a,21b)及冷却塔(24),且含有自该混合液中分离出再生清洗液之分离机构的再生机构;以及将该再生清洗液供给至上述底涂辊清洗机构的供给机构。

4. 发明专利

TW200821596A 工件搬運裝置 WORKPIECE HANDLING APPARATUS 审中-公开
简体标题：工件搬运设备 WORKPIECE HANDLING APPARATUS
公开(公告)号：TW200821596A
公开(公告)日：2008-05-16
申请号：TW095141262
申请日：2006-11-08
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：平澤洋一 HIRASAWA, YOICHI , 齊藤勝夫 SAITO, KATSUO , 篠崎洋二 SHINOZAKI, YOJI , 大基裕 OHATA, MOTOYASU , 渡邊敏彥 WATANABE, TOSHIHIKO
IPC分类号： G01R , H01L
摘要：本發明提供一種工件搬運裝置。本發明之工件搬運裝置係包含:用來保持可收容工件的萬用托盤(T1)而可朝左右方向(Y)移動的萬用托盤保持單元(10);與萬用托盤保持單元(10)相鄰並排列在前後方向(X)的後方,並且用來保持將工件搬入及搬出於處理區域(A4)的處理用托盤(T2),並可朝左右方向(Y)移動的處理用托盤保持單元(20);以及為了在萬用托盤(T1)與處理用托盤(T2)之間轉移工件,而可朝前後方向(X)及上下方向(Z)移動的工件移載單元(30)。藉此構成,由於萬用托盤保持單元(10)及處理用托盤保持單元(20)係在XY面內朝Y方向移動,工件移載單元(30)係在XZ面內移動,因此可使工件的轉移動作高速化,使生產性提升。
简体摘要：本发明提供一种工件搬运设备。本发明之工件搬运设备系包含:用来保持可收容工件的万用托盘(T1)而可朝左右方向(Y)移动的万用托盘保持单元(10);与万用托盘保持单元(10)相邻并排列在前后方向(X)的后方,并且用来保持将工件搬入及搬出于处理区域(A4)的处理用托盘(T2),并可朝左右方向(Y)移动的处理用托盘保持单元(20);以及为了在万用托盘(T1)与处理用托盘(T2)之间转移工件,而可朝前后方向(X)及上下方向(Z)移动的工件移载单元(30)。借此构成,由于万用托盘保持单元(10)及处理用托盘保持单元(20)系在XY面内朝Y方向移动,工件移载单元(30)系在XZ面内移动,因此可使工件的转移动作高速化,使生产性提升。

5. 发明专利

TW200800754A 移載用機器人审中-公开
简体标题：移载用机器人
公开(公告)号：TW200800754A
公开(公告)日：2008-01-01
申请号：TW096108426
申请日：2007-03-12
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：藤吉誠 FUJIYOSHI, MAKOTO
IPC分类号： B65D , B65G , H01L
CPC分类号： B65G49/064 , B65G49/068 , B65G2249/04 , H01L21/67766
摘要：本發明是關於從方形板狀工件以水平姿勢收納的收納匣盒搬出上述工件的移載用機器人。該移載用機器人,具備有:可解除保持對工件加以保持的吸持部;工件載置用的載置部;及可使上述吸持部往復移動在工件搬出方向及該搬出方向反向的移動手段。接著是利用上述吸持部往復移動執行工件移載。
简体摘要：本发明是关于从方形板状工件以水平姿势收纳的收纳匣盒搬出上述工件的移载用机器人。该移载用机器人,具备有:可解除保持对工件加以保持的吸持部;工件载置用的载置部;及可使上述吸持部往复移动在工件搬出方向及该搬出方向反向的移动手段。接着是利用上述吸持部往复移动运行工件移载。

6. 发明专利

TW200720170A 工件搬運系統审中-公开
简体标题：工件搬运系统
公开(公告)号：TW200720170A
公开(公告)日：2007-06-01
申请号：TW095120839
申请日：2006-06-12
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：橘勝義 TACHIBANA, KATSUYOSHI
IPC分类号： B65G
CPC分类号： B65G49/068 , B65G17/26 , B65G47/54 , B65G49/064
摘要：本發明是提供在搬運途中不會傾斜基板等工件,而在定位狀態可搬運工件的工件搬運系統,作為目的。在本發明的工件搬運系統中,第一及第二抵接部分別抵接於工件的相對的兩端緣,可進行工件的定位,而且在定位狀態搬運工件。因此,在搬運途中不會傾斜工件,而在定位狀態可搬運工件。
简体摘要：本发明是提供在搬运途中不会倾斜基板等工件,而在定位状态可搬运工件的工件搬运系统,作为目的。在本发明的工件搬运系统中,第一及第二抵接部分别抵接于工件的相对的两端缘,可进行工件的定位,而且在定位状态搬运工件。因此,在搬运途中不会倾斜工件,而在定位状态可搬运工件。

7. 发明专利

TW200703823A 拔取裝置失效
简体标题：拔取设备
公开(公告)号：TW200703823A
公开(公告)日：2007-01-16
申请号：TW095122313
申请日：2006-06-21
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人： 本秀夫 SAKAMOTO, HIDEO , 平澤洋一 HIRASAWA, YOICHI , 蕭恩透納 TURNER, SHAWN
IPC分类号： H01R
CPC分类号： H01R13/633 , G01R31/01 , H05K7/1411
摘要：本發明是提供一種從連接了連接器的機器中,拔取該連接器之拔取裝置,其特徵為:具備有:其中一端安裝在前述連接器,另一端則具備有卡止部之拉力構件;及被配置成與前述連接器相對向,卡止前述卡止部之卡止單元;及在前述連接器的拔取方向上,使前述卡止單元與前述機器相對地移動來進行離間,並對於前述拉力構件來使拔取前述連接器的拉力產生之移動手段;前述卡止單元係以隨著前述拉力的產生,使前述卡止部可在與前述拔取方向大致成垂直的平面內自由移動的方式,卡止前述卡止部。
简体摘要：本发明是提供一种从连接了连接器的机器中,拔取该连接器之拔取设备,其特征为:具备有:其中一端安装在前述连接器,另一端则具备有卡止部之拉力构件;及被配置成与前述连接器相对向,卡止前述卡止部之卡止单元;及在前述连接器的拔取方向上,使前述卡止单元与前述机器相对地移动来进行离间,并对于前述拉力构件来使拔取前述连接器的拉力产生之移动手段;前述卡止单元系以随着前述拉力的产生,使前述卡止部可在与前述拔取方向大致成垂直的平面内自由移动的方式,卡止前述卡止部。

8. 发明专利

TW200918147A 再生裝置及再生方法 RECYCLING DEVICE AND METHOD 失效
简体标题：再生设备及再生方法 RECYCLING DEVICE AND METHOD
公开(公告)号：TW200918147A
公开(公告)日：2009-05-01
申请号：TW096150707
申请日：2007-12-27
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION , 斯力丹股份有限公司 THREE DYNE CORPORATION
发明人：高本德男 TAKAMOTO, TOKUO
IPC分类号： B01D
CPC分类号： B08B3/14 , B08B3/00 , H01L21/67017
摘要：本發明於洗淨等處理中,可與使用洗淨液之同時,再生一旦使用過之洗淨液,作為再生洗淨液而再度使用。本發明提供一種液體再生裝置,其係具備:回收機構,其將使用洗淨液之處理裝置的已使用洗淨液加以回收;再生機構,其將經回收之已使用洗淨液再生成為再生洗淨液;供給機構,其將前述再生洗淨液供給至前述處理裝置;及控制機構,其控制前述回收機構、前述再生機構及前述供給機構。為了使前述處理裝置與前述再生機構可同時運轉,可在此等之間具備供給已使用洗淨液及前述再生洗淨液的連結機構。
简体摘要：本发明于洗净等处理中,可与使用洗净液之同时,再生一旦使用过之洗净液,作为再生洗净液而再度使用。本发明提供一种液体再生设备,其系具备:回收机构,其将使用洗净液之处理设备的已使用洗净液加以回收;再生机构,其将经回收之已使用洗净液再生成为再生洗净液;供给机构,其将前述再生洗净液供给至前述处理设备;及控制机构,其控制前述回收机构、前述再生机构及前述供给机构。为了使前述处理设备与前述再生机构可同时运转,可在此等之间具备供给已使用洗净液及前述再生洗净液的链接机构。

9. 发明专利

TW200837868A SMIF開啓機之位置調整轉接器及位置調整方法 POSITION ADJUSTMENT ADAPTER AND POSITION ADJUSTMENT METHOD FOR A SMIF OPENE 失效
简体标题： SMIF开启机之位置调整转接器及位置调整方法 POSITION ADJUSTMENT ADAPTER AND POSITION ADJUSTMENT METHOD FOR A SMIF OPENE
公开(公告)号：TW200837868A
公开(公告)日：2008-09-16
申请号：TW096112833
申请日：2007-04-12
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：中村博史 NAKAMURA, HIROSHI , 松田清二 MATSUDA, SEIJI
IPC分类号： H01L
摘要：提供一種SMIF開啓機之位置調整轉接器及位置調整方法,係能將SMIF開啓機於處理裝置之安裝位置,容易在前後方向進行調整。將SMIF開啓機安裝於處理裝置時,能將SMIF開啓機之安裝位置在前後方向調整之位置調整轉接器100,係以SMIF開啓機1之載入埠2為邊界,由上側調整部200與下側調整部300所構成。上側調整部200,係由介於SMIF開啓機側之開閉器5與處理裝置之開口部之間,且能固定於SMIF開啓機側,並於前後方向伸縮調整自如之第1組裝構造體所構成,下側調整部300,係由介於SMIF開啓機1下方與處理裝置之開口下方之間,且能固定於SMIF開啓機側及處理裝置側之兩側,並於前後方向伸縮調整自如之第2組裝構造體所構成。
简体摘要：提供一种SMIF开启机之位置调整转接器及位置调整方法,系能将SMIF开启机于处理设备之安装位置,容易在前后方向进行调整。将SMIF开启机安装于处理设备时,能将SMIF开启机之安装位置在前后方向调整之位置调整转接器100,系以SMIF开启机1之加载端口2为边界,由上侧调整部200与下侧调整部300所构成。上侧调整部200,系由介于SMIF开启机侧之开闭器5与处理设备之开口部之间,且能固定于SMIF开启机侧,并于前后方向伸缩调整自如之第1组装构造体所构成,下侧调整部300,系由介于SMIF开启机1下方与处理设备之开口下方之间,且能固定于SMIF开启机侧及处理设备侧之两侧,并于前后方向伸缩调整自如之第2组装构造体所构成。

10. 发明专利

TW200716467A 工件收納裝置失效
简体标题：工件收纳设备
公开(公告)号：TW200716467A
公开(公告)日：2007-05-01
申请号：TW095135389
申请日：2006-09-25
申请人：平田機工股份有限公司 HIRATA CORPORATION
发明人：藤吉誠 FUJIYOSHI, MAKOTO
IPC分类号： B65G
CPC分类号： H01L21/67784 , B65G49/064 , B65G49/068 , B65G2201/0294 , B65G2249/045
摘要：本發明的目的是在於將工件藉由浮游狀態之際,將工件作成更穩定使之浮游。本發明的工件收納裝置,是藉由昇降手段所致的昇降動作,將空氣噴出手段進入到收納匣內,將從收納匣搬出到外部的工件藉由空氣噴出手段使之浮游者,其特徵為:設置抵接於從空氣噴出手段的上面突出而處於浮游狀態的工件下面的墊。
简体摘要：本发明的目的是在于将工件借由浮游状态之际,将工件作成更稳定使之浮游。本发明的工件收纳设备,是借由升降手段所致的升降动作,将空气喷出手段进入到收纳匣内,将从收纳匣搬出到外部的工件借由空气喷出手段使之浮游者,其特征为:设置抵接于从空气喷出手段的上面突出而处于浮游状态的工件下面的垫。

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