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    • 7. 发明专利
    • 電解拋光液配方
    • 电解抛光液配方
    • TW567545B
    • 2003-12-21
    • TW091111935
    • 2002-06-04
    • 伊默克化學科技股份有限公司
    • 謝嘉民張世杰戴寶通李盈壕沈國宏
    • H01L
    • C25F3/16B23H3/08C25F3/22
    • 一種電解拋光液配方,此電解拋光液配方至少是由一酸溶液與一有機添加劑所構成。上述酸溶液為磷酸或磷酸與硫酸之混合溶液,可於金屬層表面形成鈍化層。上述添加劑至少具有酸基,且此添加劑具有擴散控制能力可於金屬層之一開口中形成濃度梯度,以使開口頂部之金屬層之電解速度大於開口底部之金屬層之電解速度。其中,有機添加劑係為一元羧酸、二元羧酸、三元羧酸、雜環羧酸化合物或磺酸化合物。
    • 一种电解抛光液配方,此电解抛光液配方至少是由一酸溶液与一有机添加剂所构成。上述酸溶液为磷酸或磷酸与硫酸之混合溶液,可于金属层表面形成钝化层。上述添加剂至少具有酸基,且此添加剂具有扩散控制能力可于金属层之一开口中形成浓度梯度,以使开口顶部之金属层之电解速度大于开口底部之金属层之电解速度。其中,有机添加剂系为一元羧酸、二元羧酸、三元羧酸、杂环羧酸化合物或磺酸化合物。