会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 3. 发明专利
    • 基板處理裝置、半導體裝置之製造方法及程式
    • 基板处理设备、半导体设备之制造方法及进程
    • TW201810362A
    • 2018-03-16
    • TW106106672
    • 2017-03-01
    • 日立國際電氣股份有限公司HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC.
    • 八幡橘YAHATA, TAKASHI
    • H01L21/02H01L21/677H01L21/683H01L27/04
    • C23C16/45544C23C16/4408C23C16/4412C23C16/52C23C16/54H01L21/67196H01L21/67742H01L21/67748H01L21/67754
    • 提供使對基板的處理品質提升的技術。本發明之基板處理裝置係具有:複數處理室,其係處理基板;搬運室,其係搬運基板;複數移載室,其係被設在搬運室與處理室之間,且對應處理室的各個;複數閘閥,其係被設在搬運室與移載室之間;複數第1氣體供給部,其係被設在搬運室,且對通過複數閘閥的位置的基板各個供給惰性氣體;搬運機器人,其係被設在搬運室內,且將基板搬運至移載室;及控制部,其係以當第1氣體供給部的供給孔與通過閘閥的基板的距離為第1距離之時,以第1流量供給惰性氣體,當距離為比第1距離為更長的第2距離之時,以比第1流量為更多的第2流量供給惰性氣體的方式,控制複數第1氣體供給部與搬運機器人。
    • 提供使对基板的处理品质提升的技术。本发明之基板处理设备系具有:复数处理室,其系处理基板;搬运室,其系搬运基板;复数移载室,其系被设在搬运室与处理室之间,且对应处理室的各个;复数闸阀,其系被设在搬运室与移载室之间;复数第1气体供给部,其系被设在搬运室,且对通过复数闸阀的位置的基板各个供给惰性气体;搬运机器人,其系被设在搬运室内,且将基板搬运至移载室;及控制部,其系以当第1气体供给部的供给孔与通过闸阀的基板的距离为第1距离之时,以第1流量供给惰性气体,当距离为比第1距离为更长的第2距离之时,以比第1流量为更多的第2流量供给惰性气体的方式,控制复数第1气体供给部与搬运机器人。