会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 6. 发明专利
    • 光阻劑用含氟聚合物之製造方法
    • 光阻剂用含氟聚合物之制造方法
    • TW200417551A
    • 2004-09-16
    • TW093100926
    • 2004-01-14
    • 大金工業股份有限公司 DAIKIN INDUSTRIES, LTD.
    • 荒木孝之石川卓司鳥海實
    • C08F
    • C08F14/18
    • 本發明系提供含氟聚合物之新穎的製造方法,更詳細係有關在真空紫外領域,特別是F2雷射光(157nm)下為透明,且對於鹼顯像液之溶解性優異之光阻用之含氟聚合物的製造方法及含有該光阻用之含氟聚合物的光阻組成物。該製造方法為製造在聚合物主鏈上具有脂肪族環結構之重複單位(M2)的含氟聚合物,且聚合物中具有利用酸進行反應之酸反應性基Y^1或可轉變為酸反應性基Y^1之基Y^2的光阻用含氟聚合物時,將含有可將脂肪族環結構供給聚合物主鏈之單體(m2)之單體混合物在自由基聚合引發劑的存在下,同時在下述式(1):R–(X)n(式中,R為選自碳數1~20之可含有醚鍵的烴基者,氫原子之一部分可被氟原子取代之烴基;X係選自由含氧原子之官能基及取代或非取代之胺基所成群之至少一種的官能基;n為1~4之整數)表示之連鏈移動劑之共同存在下,進行自由基聚合為特徵之對顯影液之溶解性優異之光阻用含氟聚合物之製造方法。
    • 本发明系提供含氟聚合物之新颖的制造方法,更详细系有关在真空紫外领域,特别是F2激光光(157nm)下为透明,且对于碱显像液之溶解性优异之光阻用之含氟聚合物的制造方法及含有该光阻用之含氟聚合物的光阻组成物。该制造方法为制造在聚合物主链上具有脂肪族环结构之重复单位(M2)的含氟聚合物,且聚合物中具有利用酸进行反应之酸反应性基Y^1或可转变为酸反应性基Y^1之基Y^2的光阻用含氟聚合物时,将含有可将脂肪族环结构供给聚合物主链之单体(m2)之单体混合物在自由基聚合引发剂的存在下,同时在下述式(1):R–(X)n(式中,R为选自碳数1~20之可含有醚键的烃基者,氢原子之一部分可被氟原子取代之烃基;X系选自由含氧原子之官能基及取代或非取代之胺基所成群之至少一种的官能基;n为1~4之整数)表示之连链移动剂之共同存在下,进行自由基聚合为特征之对显影液之溶解性优异之光阻用含氟聚合物之制造方法。