会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 6. 发明专利
    • 排氣之處理方法及處理裝置 PROCESSING METHOD OF EXHAUST GAS AND PROCESSING APPARATUS OF EXHAUST GAS
    • 排气之处理方法及处理设备 PROCESSING METHOD OF EXHAUST GAS AND PROCESSING APPARATUS OF EXHAUST GAS
    • TWI278342B
    • 2007-04-11
    • TW094134446
    • 2005-10-03
    • 日本派歐尼股份有限公司 JAPAN PIONICS CO., LTD.
    • 島田孝 SHIMADA, TAKASHI武政登 TAKEMASA, NOBORU越智幸史 OCHI, KOSHI
    • B01D
    • B01D53/1493B01D53/18
    • 本發明的課題在於針對從半導體製造工程排出的包含鹵素類氣體的排氣的淨化處理,提供不頻繁地將淨化劑更新、即使對包含反應性較高的氣體的乾燥排氣進行處理的情況下仍沒有火災的危險性、可容易使處理後的氣體中的鹵素類氣體濃度降低的處理方法和處理裝置。該方法由在吸附劑中添加鹵素類氣體吸收液的步驟(A),與使從半導體製造工程排出的包含鹵素類氣體的排氣與上述吸附劑接觸的步驟(B)構成,從該排氣中去除該鹵素類氣體。另外,該處理裝置至少包括具有鹵素類氣體的排氣的導入口、吸附劑的填充部、將鹵素類氣體吸收液添加於該吸附劑的填充部中的機構,以及經處理的氣體的排出口。
    • 本发明的课题在于针对从半导体制造工程排出的包含卤素类气体的排气的净化处理,提供不频繁地将净化剂更新、即使对包含反应性较高的气体的干燥排气进行处理的情况下仍没有火灾的危险性、可容易使处理后的气体中的卤素类气体浓度降低的处理方法和处理设备。该方法由在吸附剂中添加卤素类气体吸收液的步骤(A),与使从半导体制造工程排出的包含卤素类气体的排气与上述吸附剂接触的步骤(B)构成,从该排气中去除该卤素类气体。另外,该处理设备至少包括具有卤素类气体的排气的导入口、吸附剂的填充部、将卤素类气体吸收液添加于该吸附剂的填充部中的机构,以及经处理的气体的排出口。