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热词
    • 1. 发明专利
    • 制約機器人行動行為的系統及方法
    • 制约机器人行动行为的系统及方法
    • TW201627790A
    • 2016-08-01
    • TW104102186
    • 2015-01-23
    • 燕成祥
    • 燕成祥
    • G05D3/10
    • B25J9/1676B25J9/163B25J9/1694G05D1/0214G05D1/0242G05D2201/0215Y10S901/01Y10S901/09
    • 本發明係一種制約機器人行動行為的系統及方法,包括一虛擬牆裝置及一機器人,虛擬牆裝置在一預定接收範圍內接收一障礙偵測訊號,並在該預定接收範圍內接收到該障礙偵測訊號則發出一虛擬牆訊號,藉由該虛擬牆訊號將一活動空間分隔成第一活動區域與第二活動區域,機器人則在行進時發送該障礙偵測訊號,當移動到該虛擬牆訊號的預定發射範圍時,接收該虛擬牆訊號,並根據該虛擬牆訊號選擇地允許或禁止跨過該虛擬牆訊號的預定發射範圍,用以制約機器人在第一活動區域與第二活動區域內移動行為。
    • 本发明系一种制约机器人行动行为的系统及方法,包括一虚拟墙设备及一机器人,虚拟墙设备在一预定接收范围内接收一障碍侦测信号,并在该预定接收范围内接收到该障碍侦测信号则发出一虚拟墙信号,借由该虚拟墙信号将一活动空间分隔成第一活动区域与第二活动区域,机器人则在行进时发送该障碍侦测信号,当移动到该虚拟墙信号的预定发射范围时,接收该虚拟墙信号,并根据该虚拟墙信号选择地允许或禁止跨过该虚拟墙信号的预定发射范围,用以制约机器人在第一活动区域与第二活动区域内移动行为。
    • 9. 发明专利
    • 垂直型熱處理裝置及移載機構之自動示範教授方法
    • 垂直型热处理设备及移载机构之自动示范教授方法
    • TWI357093B
    • 2012-01-21
    • TW094109185
    • 2005-03-24
    • 東京威力科創股份有限公司
    • 淺利聰三原勝彥菊池浩
    • H01L
    • H01L21/68707B25J9/163G05B2219/36039G05B2219/37555G05B2219/40519G05B2219/45031G05B2219/45063H01L21/67259H01L21/67265H01L21/67757H01L21/67781H01L21/681
    • 本發明之垂直型熱處理裝置1之移載機構21包含有可以升降及旋轉之基台25與可以進退地設置於該基台上且支撐晶圓W之多數片基板支撐具20。在基台25設置著朝向基板支撐具20之進退方向發射光線,且藉其反射光檢測目標構件之第1感測器45,而且在基板支撐具20之2個前端部設置著藉遮蔽在兩前端部間行進之光線檢測目標構件之第2感測器40。在特定之位置設有位置檢測用之突起49及50之目標構件44若設置於晶圓板8之特定位置,則基台25升降及旋轉,另外基板支撐具20進退。此時依據所得之第1感測器45及第2感測器之檢測信號與和基台25及基板支撐具20之動作有關聯之各驅動系統之編碼值,自動檢測目標構件之位置,即晶圓之目標移載位置。
    • 本发明之垂直型热处理设备1之移载机构21包含有可以升降及旋转之基台25与可以进退地设置于该基台上且支撑晶圆W之多数片基板支撑具20。在基台25设置着朝向基板支撑具20之进退方向发射光线,且藉其反射光检测目标构件之第1传感器45,而且在基板支撑具20之2个前端部设置着藉屏蔽在两前端部间行进之光线检测目标构件之第2传感器40。在特定之位置设有位置检测用之突起49及50之目标构件44若设置于晶圆板8之特定位置,则基台25升降及旋转,另外基板支撑具20进退。此时依据所得之第1传感器45及第2传感器之检测信号与和基台25及基板支撑具20之动作有关联之各驱动系统之编码值,自动检测目标构件之位置,即晶圆之目标移载位置。