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    • 6. 发明专利
    • 光學裝置及其製造方法
    • 光学设备及其制造方法
    • TW201906785A
    • 2019-02-16
    • TW107123489
    • 2018-07-06
    • 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
    • 杉本達哉SUGIMOTO, TATSUYA鈴木智史SUZUKI, TOMOFUMI港谷恭輔KOTANI, KYOSUKE
    • B81B7/02G02B26/00
    • 本發明之光學裝置具備:基座;可動部,其具有光學功能部;彈性支持部,其以可動部能夠沿著第1方向移動之方式支持可動部;第1梳齒電極,其設置於基座;及第2梳齒電極,其設置於可動部及彈性支持部之至少一者,且具有複數個第2梳齒。彈性支持部具有沿著與第1方向垂直之第2方向延伸之扭力棒、及連接有扭力棒之桿。第2梳齒電極係設置於可動部及彈性支持部之至少一者中位於較扭力棒更靠光學功能部側之部分。相鄰之第1梳齒與第2梳齒係於第2方向、或與第1方向及第2方向垂直之第3方向之中可動部之外力耐受性較高之方向上彼此相對。
    • 本发明之光学设备具备:基座;可动部,其具有光学功能部;弹性支持部,其以可动部能够沿着第1方向移动之方式支持可动部;第1梳齿电极,其设置于基座;及第2梳齿电极,其设置于可动部及弹性支持部之至少一者,且具有复数个第2梳齿。弹性支持部具有沿着与第1方向垂直之第2方向延伸之扭力棒、及连接有扭力棒之杆。第2梳齿电极系设置于可动部及弹性支持部之至少一者中位于较扭力棒更靠光学功能部侧之部分。相邻之第1梳齿与第2梳齿系于第2方向、或与第1方向及第2方向垂直之第3方向之中可动部之外力耐受性较高之方向上彼此相对。