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    • 1. 发明专利
    • 光學裝置及其製造方法
    • 光学设备及其制造方法
    • TW201906785A
    • 2019-02-16
    • TW107123489
    • 2018-07-06
    • 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
    • 杉本達哉SUGIMOTO, TATSUYA鈴木智史SUZUKI, TOMOFUMI港谷恭輔KOTANI, KYOSUKE
    • B81B7/02G02B26/00
    • 本發明之光學裝置具備:基座;可動部,其具有光學功能部;彈性支持部,其以可動部能夠沿著第1方向移動之方式支持可動部;第1梳齒電極,其設置於基座;及第2梳齒電極,其設置於可動部及彈性支持部之至少一者,且具有複數個第2梳齒。彈性支持部具有沿著與第1方向垂直之第2方向延伸之扭力棒、及連接有扭力棒之桿。第2梳齒電極係設置於可動部及彈性支持部之至少一者中位於較扭力棒更靠光學功能部側之部分。相鄰之第1梳齒與第2梳齒係於第2方向、或與第1方向及第2方向垂直之第3方向之中可動部之外力耐受性較高之方向上彼此相對。
    • 本发明之光学设备具备:基座;可动部,其具有光学功能部;弹性支持部,其以可动部能够沿着第1方向移动之方式支持可动部;第1梳齿电极,其设置于基座;及第2梳齿电极,其设置于可动部及弹性支持部之至少一者,且具有复数个第2梳齿。弹性支持部具有沿着与第1方向垂直之第2方向延伸之扭力棒、及连接有扭力棒之杆。第2梳齿电极系设置于可动部及弹性支持部之至少一者中位于较扭力棒更靠光学功能部侧之部分。相邻之第1梳齿与第2梳齿系于第2方向、或与第1方向及第2方向垂直之第3方向之中可动部之外力耐受性较高之方向上彼此相对。
    • 4. 发明专利
    • 光學裝置
    • 光学设备
    • TW201918448A
    • 2019-05-16
    • TW107123426
    • 2018-07-06
    • 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
    • 杉本達哉SUGIMOTO, TATSUYA鈴木智史SUZUKI, TOMOFUMI港谷恭輔KOTANI, KYOSUKE
    • B81B3/00G02B26/00G01J3/45
    • B81B3/00G01J3/45G02B26/00
    • 本發明之光學裝置具備:彈性支持部,其以可動部能夠沿著第1方向移動之方式支持可動部;第1梳齒電極,其具有複數個第1梳齒;及第2梳齒電極,其具有複數個第2梳齒。彈性支持部具有:扭力棒,其沿著與第1方向垂直之第2方向延伸;及非線性緩和彈簧,其連接於扭力棒與可動部之間。非線性緩和彈簧構成為,於可動部於第1方向移動之狀態下,非線性緩和彈簧繞第2方向之變形量小於扭力棒繞第2方向之變形量,且與第1方向及第2方向垂直之第3方向上之非線性緩和彈簧之變形量大於第3方向上之扭力棒之變形量。相鄰之第1梳齒與第2梳齒係於第2方向上彼此相對。
    • 本发明之光学设备具备:弹性支持部,其以可动部能够沿着第1方向移动之方式支持可动部;第1梳齿电极,其具有复数个第1梳齿;及第2梳齿电极,其具有复数个第2梳齿。弹性支持部具有:扭力棒,其沿着与第1方向垂直之第2方向延伸;及非线性缓和弹簧,其连接于扭力棒与可动部之间。非线性缓和弹簧构成为,于可动部于第1方向移动之状态下,非线性缓和弹簧绕第2方向之变形量小于扭力棒绕第2方向之变形量,且与第1方向及第2方向垂直之第3方向上之非线性缓和弹簧之变形量大于第3方向上之扭力棒之变形量。相邻之第1梳齿与第2梳齿系于第2方向上彼此相对。
    • 5. 发明专利
    • 光學裝置
    • 光学设备
    • TW201906784A
    • 2019-02-16
    • TW107123487
    • 2018-07-06
    • 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
    • 杉本達哉SUGIMOTO, TATSUYA鈴木智史SUZUKI, TOMOFUMI港谷恭輔KOTANI, KYOSUKE
    • B81B7/02G02B26/00G02B5/00
    • 本發明之光學裝置包含:基座,其具有主面;可動鏡,其具有沿著與主面平行之平面之鏡面;第1彈性支持部及第2彈性支持部,其等以可沿著與主面垂直之第1方向移動之方式支持可動鏡;致動器部,其使可動鏡沿第1方向移動;及第1光學功能部,其配置於與第1方向垂直之第2方向上之可動鏡之一側。第1彈性支持部包含自可動鏡沿主面於與第1方向及第2方向垂直之第3方向上之第1光學功能部之兩側延伸的一對第1桿。第2方向上之一對第1桿各者之長度大於鏡面之外緣與第1光學功能部之緣之間之最短距離。
    • 本发明之光学设备包含:基座,其具有主面;可动镜,其具有沿着与主面平行之平面之镜面;第1弹性支持部及第2弹性支持部,其等以可沿着与主面垂直之第1方向移动之方式支持可动镜;致动器部,其使可动镜沿第1方向移动;及第1光学功能部,其配置于与第1方向垂直之第2方向上之可动镜之一侧。第1弹性支持部包含自可动镜沿主面于与第1方向及第2方向垂直之第3方向上之第1光学功能部之两侧延伸的一对第1杆。第2方向上之一对第1杆各者之长度大于镜面之外缘与第1光学功能部之缘之间之最短距离。
    • 7. 发明专利
    • 光學裝置
    • 光学设备
    • TW201906780A
    • 2019-02-16
    • TW107123428
    • 2018-07-06
    • 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
    • 杉本達哉SUGIMOTO, TATSUYA鈴木智史SUZUKI, TOMOFUMI港谷恭輔KOTANI, KYOSUKE
    • B81B7/02G02B26/00
    • 光學裝置具備:彈性支持部,其以可動部能夠沿著第1方向移動之方式支持可動部;第1梳齒電極,其具有複數個第1梳齒;及第2梳齒電極,其具有複數個第2梳齒。彈性支持部具有沿著與第1方向垂直之第2方向延伸之扭力棒、及連接於扭力棒與可動部之間之非線性緩和彈簧。非線性緩和彈簧構成為,於可動部於第1方向移動之狀態下,非線性緩和彈簧繞第2方向之變形量小於扭力棒繞第2方向之變形量,且與第1方向及第2方向垂直之第3方向上之非線性緩和彈簧之變形量大於第3方向上之扭力棒之變形量。第2梳齒電極沿著可動部之外緣配置。
    • 光学设备具备:弹性支持部,其以可动部能够沿着第1方向移动之方式支持可动部;第1梳齿电极,其具有复数个第1梳齿;及第2梳齿电极,其具有复数个第2梳齿。弹性支持部具有沿着与第1方向垂直之第2方向延伸之扭力棒、及连接于扭力棒与可动部之间之非线性缓和弹簧。非线性缓和弹簧构成为,于可动部于第1方向移动之状态下,非线性缓和弹簧绕第2方向之变形量小于扭力棒绕第2方向之变形量,且与第1方向及第2方向垂直之第3方向上之非线性缓和弹簧之变形量大于第3方向上之扭力棒之变形量。第2梳齿电极沿着可动部之外缘配置。