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    • 9. 发明专利
    • 固態成像裝置及製造該裝置之方法 SOLID-STATE IMAGING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
    • 固态成像设备及制造该设备之方法 SOLID-STATE IMAGING DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME
    • TWI298947B
    • 2008-07-11
    • TW093133655
    • 2004-11-04
    • 新力股份有限公司 SONY CORPORATION
    • 丸山康 MARUYAMA, YASUSHI阿部秀司 ABE, HIDESHI森裕之 MORI, HIROYUKI
    • H01L
    • H01L27/14645H01L27/14621H01L27/14625H01L27/14627H01L27/14636H01L27/1464H01L27/14643H01L27/14658H01L27/14683H01L27/14685H01L27/14689
    • 本發明係關於一種固態成像裝置,其具有一高感光度及
      一形成小型化像素之結構;且係關於一種製造該固態成像
      裝置之方法,在該固態成像裝置中介面穩定、光譜特性優
      良且該固態成像裝置可以高良品率來製造。
      該固態成像裝置包括至少一形成有一光感應器部分之矽
      層及一形成於該矽層之前表面側上的佈線層,且其中使光L
      自與該矽層之前表面側相對之後表面側進入,且矽層4之厚
      度為10���m或更小。並且,製造該固態成像裝置之方法至少
      包括以下步驟:在一疊層基板之矽層中形成一光感應器部
      分之半導體區域,在該疊層基板中將一矽基板、一中間層
      及一矽層層疊;將一第一支撐基板貼合於該矽層上;移除
      該矽基板及該中間層;其後於該矽層上形成一佈線部分;
      將一第二支撐基板貼合於該佈線部分之上,並移除該第一
      支撐基板以暴露出該矽層。
    • 本发明系关于一种固态成像设备,其具有一高感光度及 一形成小型化像素之结构;且系关于一种制造该固态成像 设备之方法,在该固态成像设备中界面稳定、光谱特性优 良且该固态成像设备可以高良品率来制造。 该固态成像设备包括至少一形成有一光感应器部分之硅 层及一形成于该硅层之前表面侧上的布线层,且其中使光L 自与该硅层之前表面侧相对之后表面侧进入,且硅层4之厚 度为10���m或更小。并且,制造该固态成像设备之方法至少 包括以下步骤:在一叠层基板之硅层中形成一光感应器部 分之半导体区域,在该叠层基板中将一硅基板、一中间层 及一硅层层叠;将一第一支撑基板贴合于该硅层上;移除 该硅基板及该中间层;其后于该硅层上形成一布线部分; 将一第二支撑基板贴合于该布线部分之上,并移除该第一 支撑基板以暴露出该硅层。