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1. 发明专利

TWI420153B 用以選擇與控制光源頻帶寬度之系統方法與裝置有权
简体标题：用以选择与控制光源频带宽度之系统方法与设备
公开(公告)号：TWI420153B
公开(公告)日：2013-12-21
申请号：TW098136142
申请日：2009-10-26
申请人：希瑪股份有限公司 , CYMER, INC.
发明人：弗古羅艾弗倫 , FIGUEROA, EFRAIN , 派特洛威廉N , PARTLO, WILLIAM N. , 亞哥特斯約翰M , ALGOTS, JOHN MARTIN
IPC分类号： G02B27/44
CPC分类号： H01S3/08009 , G01J3/02 , G01J3/0237 , G01J3/027 , G01J3/06 , G01J3/14 , G01J3/18 , G01J2003/1208 , G02B5/1828 , H01S3/08004 , H01S3/1055 , H01S3/1067

2. 发明专利

TW201027128A 用以選擇與控制光源頻帶寬度之系統方法與裝置 SYSTEM METHOD AND APPARATUS FOR SELECTING AND CONTROLLING LIGHT SOURCE BANDWIDTH 审中-公开
简体标题：用以选择与控制光源频带宽度之系统方法与设备 SYSTEM METHOD AND APPARATUS FOR SELECTING AND CONTROLLING LIGHT SOURCE BANDWIDTH
公开(公告)号：TW201027128A
公开(公告)日：2010-07-16
申请号：TW098136142
申请日：2009-10-26
申请人：希瑪股份有限公司
发明人：弗古羅艾弗倫 , 派特洛威廉N , 亞哥特斯約翰M
IPC分类号： G02B
CPC分类号： H01S3/08009 , G01J3/02 , G01J3/0237 , G01J3/027 , G01J3/06 , G01J3/14 , G01J3/18 , G01J2003/1208 , G02B5/1828 , H01S3/08004 , H01S3/1055 , H01S3/1067
摘要：一用於頻帶寬度選擇之機構係包括一具有一體部之分散性光學元件，該體部包括分散的一反射面，其包括一沿著分散性光學元件的反射面延伸於一縱軸線方向之入射區域。體部亦包括一第一端區塊，其配置於體部的一第一縱向端，及一第二端區塊，其配置於體部的一第二縱向端，第二縱向端係與第一縱向端相對。頻帶寬度選擇機構亦包括一第一致動器，其安裝在分散性光學元件的一第二面上，第二面與反射面相對，第一致動器係具有一被耦合至第一端區塊之第一端及一被耦合至第二端區塊之第二端，第一致動器係為操作性以施加相等且相反的力至第一端區塊及第二端區塊以沿著體部縱軸線且在與分散性光學元件的反射面呈法向之一第一方向彎折體部。頻帶寬度選擇機構亦包括一第二致動器，其安裝在分散性光學元件的一第三面上，第三面與反射面呈法向，第二致動器具有一以一第一撓曲件被耦合至第一端區塊之第一端及一以一第二撓曲件被耦合至第二端區塊之第二端，第一致動器係為操作性以施加相等且相反的力至第一端區塊及第二端區塊以在一垂直於分散性光學元件的反射面之第二方向沿著體部縱軸線彎折體部，第二方向亦垂直於第一方向，第二致動器包括一經加壓流體力施加機構。亦揭露一用於選擇頻帶寬度之方法。
简体摘要：一用于频带宽度选择之机构系包括一具有一体部之分散性光学组件，该体部包括分散的一反射面，其包括一沿着分散性光学组件的反射面延伸于一纵轴线方向之入射区域。体部亦包括一第一端区块，其配置于体部的一第一纵向端，及一第二端区块，其配置于体部的一第二纵向端，第二纵向端系与第一纵向端相对。频带宽度选择机构亦包括一第一致动器，其安装在分散性光学组件的一第二面上，第二面与反射面相对，第一致动器系具有一被耦合至第一端区块之第一端及一被耦合至第二端区块之第二端，第一致动器系为操作性以施加相等且相反的力至第一端区块及第二端区块以沿着体部纵轴线且在与分散性光学组件的反射面呈法向之一第一方向弯折体部。频带宽度选择机构亦包括一第二致动器，其安装在分散性光学组件的一第三面上，第三面与反射面呈法向，第二致动器具有一以一第一挠曲件被耦合至第一端区块之第一端及一以一第二挠曲件被耦合至第二端区块之第二端，第一致动器系为操作性以施加相等且相反的力至第一端区块及第二端区块以在一垂直于分散性光学组件的反射面之第二方向沿着体部纵轴线弯折体部，第二方向亦垂直于第一方向，第二致动器包括一经加压流体力施加机构。亦揭露一用于选择频带宽度之方法。

3. 发明专利

TW201610399A 脈衝光束之光譜特徵的評估技術审中-公开
简体标题：脉冲光束之光谱特征的评估技术
公开(公告)号：TW201610399A
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：TW104115769
申请日：2015-05-18
申请人：希瑪有限責任公司 , CYMER, LLC , ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B. V.
发明人：杜菲湯瑪斯P , DUFFEY, THOMAS PATRICK , 構德菲爾德赫曼P , GODFRIED, HERMAN PHILIP
IPC分类号： G01J3/28 , G03F7/20 , G01J9/00
CPC分类号： G01J3/28 , G01J3/027 , G01J3/14 , G01J3/26 , G01J9/00 , G01J11/00 , G01J2003/2853 , G03F7/70041 , G03F7/70058 , G03F7/70575
摘要：描述一種用以評估脈衝光束之光譜特徵的方法，該脈衝光束由光源產生且朝向微影設備之晶圓。該方法包含：接收由該光束之N個脈衝光譜組成的一集合；保存所接收之該等N個光譜至一保存集合；轉換在該保存集合中的該等光譜以形成一轉換光譜集合；平均該等轉換光譜以形成一平均光譜；以及基於該平均光譜來評估該脈衝光束的一光譜特徵。
简体摘要：描述一种用以评估脉冲光束之光谱特征的方法，该脉冲光束由光源产生且朝向微影设备之晶圆。该方法包含：接收由该光束之N个脉冲光谱组成的一集合；保存所接收之该等N个光谱至一保存集合；转换在该保存集合中的该等光谱以形成一转换光谱集合；平均该等转换光谱以形成一平均光谱；以及基于该平均光谱来评估该脉冲光束的一光谱特征。

4. 发明专利

TWI353478B 光源控制裝置、照明裝置、及液晶顯示裝置有权
简体标题：光源控制设备、照明设备、及液晶显示设备
公开(公告)号：TWI353478B
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：TW095104638
申请日：2006-02-10
申请人：夏普股份有限公司
发明人：小橋川誠司 , 藤根俊之
IPC分类号： G02F
CPC分类号： H05B33/0869 , G01J1/0271 , G01J1/04 , G01J1/0407 , G01J1/0422 , G01J1/32 , G01J1/4228 , G01J3/14 , G01J2003/1213 , G02B6/0063 , G02B6/0068 , G02F1/13318 , G02F1/133603 , G02F1/133609 , H05B33/0821 , H05B33/0863 , H05B35/00 , H05B37/0272
摘要：本發明可提供一種於各種環境下均保持均勻色彩之發光裝置。又，本發明之光源控制裝置具有光檢測裝置，其檢測發出不同色彩之光的複數個光源之發光亮度，基於上述光檢測裝置之檢測結果控制上述複數個光源中之至少一個光源之發光亮度，上述光源控制裝置之構成為如下：於使自上述光源發出之光向特定方向反射的反射構件設置有貫通孔，隔著上述反射構件於與上述光源側相反側設置有上述光檢測裝置，對於上述貫通孔設置光傳播構件。
简体摘要：本发明可提供一种于各种环境下均保持均匀色彩之发光设备。又，本发明之光源控制设备具有光检测设备，其检测发出不同色彩之光的复数个光源之发光亮度，基于上述光检测设备之检测结果控制上述复数个光源中之至少一个光源之发光亮度，上述光源控制设备之构成为如下：于使自上述光源发出之光向特定方向反射的反射构件设置有贯通孔，隔着上述反射构件于与上述光源侧相反侧设置有上述光检测设备，对于上述贯通孔设置光传播构件。

5. 发明专利

TW200848707A 具有可移動偵測元件及具有準直輸入光束之稜鏡光譜儀 PRISM SPECTROMETER WITH MOVEABLE DETECTOR ELEMENT AND WITH COLLIMATED INPUT LIGHT 审中-公开
简体标题：具有可移动侦测组件及具有准直输入光束之棱镜光谱仪 PRISM SPECTROMETER WITH MOVEABLE DETECTOR ELEMENT AND WITH COLLIMATED INPUT LIGHT
公开(公告)号：TW200848707A
公开(公告)日：2008-12-16
申请号：TW097106675
申请日：2008-02-26
申请人：瑪特索有限公司 METROSOL, INC.
发明人：戴爾A 哈瑞森 HARRISON, DALE A. , 安東尼T 海斯 HAYES, ANTHONY T.
IPC分类号： G01J
CPC分类号： G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0232 , G01J3/0237 , G01J3/0256 , G01J3/0262 , G01J3/0286 , G01J3/14 , G01J3/2803 , G01J3/36
摘要：本發明提供一種光譜分析工具。在一實施例中,描述一種可在真空紫外(VUV)中執行中解析度光譜分析所利用的高效構件。在一實施例中,該等技術可用作一適合與一陣列偵測器結合使用之高通量光譜儀,該高通量光譜儀用以使VUV中及周圍之波長以產生一大體上平場焦平面之方式空間色散。一些實施例利用基於稜鏡之光譜儀。一些實施例利用可移動及/或可位於該光譜儀內之偵測元件。在一些實施例中,可提供準直光作為至該光譜儀之一輸入。
简体摘要：本发明提供一种光谱分析工具。在一实施例中,描述一种可在真空紫外(VUV)中运行中分辨率光谱分析所利用的高效构件。在一实施例中,该等技术可用作一适合与一数组侦测器结合使用之高通量光谱仪,该高通量光谱仪用以使VUV中及周围之波长以产生一大体上平场焦平面之方式空间色散。一些实施例利用基于棱镜之光谱仪。一些实施例利用可移动及/或可位于该光谱仪内之侦测组件。在一些实施例中,可提供准直光作为至该光谱仪之一输入。

6. 发明专利

TWI451072B 分光模組有权
简体标题：分光模块
公开(公告)号：TWI451072B
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：TW097121329
申请日：2008-06-06
申请人：濱松赫德尼古斯股份有限公司 , HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
发明人：鈴木智史 , SUZUKI, TOMOFUMI , 柴山勝己 , SHIBAYAMA, KATSUMI , 飯田孝 , IIDA, TAKASHI , 能野隆文 , YOKINO, TAKAFUMI , 伊藤將師 , ITO, MASASHI , 海慕特特基曼 , TEICHMANN, HELMUT , 戴特瑪席勒 , HILLER, DIETMAR , 歐里其史塔克 , STARKER, ULRICH
IPC分类号： G01J3/02
CPC分类号： G01J3/14 , G01J3/02 , G01J3/0256

7. 发明专利

TW201428265A 具有模擬光閘的電荷蓄積型光學偵測器审中-公开
简体标题：具有仿真光闸的电荷蓄积型光学侦测器
公开(公告)号：TW201428265A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：TW102144796
申请日：2013-12-06
申请人： DCG系統公司 , DCG SYSTEMS, INC.
发明人：德蘭賀維 , DESLANDES, HERVE
IPC分类号： G01N21/62
CPC分类号： H01L27/14806 , G01J3/14 , G01J3/2803 , G01R31/311
摘要：本案揭露一種具備複數個偵測單元之光學偵測器，每一個偵測單元包含一光感測器，一電荷蓄積器，以及一插設於光感測器及電荷蓄積器間的開關；其中，該光感測器受到電磁輻射照射時，會產生電流，且該電荷蓄積器在接受到該光感測器所產生之電流時累積電荷，且該開關設置成可控制的電性隔離或連接該電荷蓄積器與該光感測器，使該電荷蓄積器僅於被該開關電性連結至該光感測器時蓄積電荷。
简体摘要：本案揭露一种具备复数个侦测单元之光学侦测器，每一个侦测单元包含一光传感器，一电荷蓄积器，以及一插设于光传感器及电荷蓄积器间的开关；其中，该光传感器受到电磁辐射照射时，会产生电流，且该电荷蓄积器在接受到该光传感器所产生之电流时累积电荷，且该开关设置成可控制的电性隔离或连接该电荷蓄积器与该光传感器，使该电荷蓄积器仅于被该开关电性链接至该光传感器时蓄积电荷。

8. 发明专利

TW200916740A 分光模組审中-公开
简体标题：分光模块
公开(公告)号：TW200916740A
公开(公告)日：2009-04-16
申请号：TW097121329
申请日：2008-06-06
申请人：濱松赫德尼古斯股份有限公司 HAMAMATSU PHOTONICS K.K.
发明人：鈴木智史 SUZUKI, TOMOFUMI , 柴山勝己 SHIBAYAMA, KATSUMI , 飯田孝 IIDA, TAKASHI , 能野隆文 YOKINO, TAKAFUMI , 伊藤將師 ITO, MASASHI , 海慕特特基曼 TEICHMANN, HELMUT , 戴特瑪席勒 HILLER, DIETMAR , 歐里其史塔克 STARKER, ULRICH
IPC分类号： G01J
CPC分类号： G01J3/14 , G01J3/02 , G01J3/0256
摘要：本發明之分光模組1係包含:本體部2,使光L1,L2穿透;分光部3,將由本體部2之前面2a入射於本體部2之光L1加以分光而向前面2a側反射;光檢測元件4,包含檢測藉由分光部3加以分光而反射之光L2之光檢測部41,並藉由倒裝焊接而電性連接於形成在本體部2之前面2a的布線9;及下填材料12,填充於光檢測元件4之本體部2側,並使光L1,L2穿透;光檢測元件4具有使向分光部3行進之光L1通過之光通過孔42;光通過孔42之光入射開口42a之一部分係以光穿透板16加以覆蓋。
简体摘要：本发明之分光模块1系包含:本体部2,使光L1,L2穿透;分光部3,将由本体部2之前面2a入射于本体部2之光L1加以分光而向前面2a侧反射;光检测组件4,包含检测借由分光部3加以分光而反射之光L2之光检测部41,并借由倒装焊接而电性连接于形成在本体部2之前面2a的布线9;及下填材料12,填充于光检测组件4之本体部2侧,并使光L1,L2穿透;光检测组件4具有使向分光部3行进之光L1通过之光通过孔42;光通过孔42之光入射开口42a之一部分系以光穿透板16加以覆盖。

9. 发明专利

TW200707011A 光源控制裝置、照明裝置、及液晶顯示裝置审中-公开
简体标题：光源控制设备、照明设备、及液晶显示设备
公开(公告)号：TW200707011A
公开(公告)日：2007-02-16
申请号：TW095104638
申请日：2006-02-10
申请人：夏普股份有限公司 SHARP KABUSHIKI KAISHA
发明人：小橋川誠司 KOHASHIGAWA, SEIJI , 藤根俊之 FUJINE, TOSHIYUKI
IPC分类号： G02F
CPC分类号： H05B33/0869 , G01J1/0271 , G01J1/04 , G01J1/0407 , G01J1/0422 , G01J1/32 , G01J1/4228 , G01J3/14 , G01J2003/1213 , G02B6/0063 , G02B6/0068 , G02F1/13318 , G02F1/133603 , G02F1/133609 , H05B33/0821 , H05B33/0863 , H05B35/00 , H05B37/0272
摘要：本發明可提供一種於各種環境下均保持均勻色彩之發光裝置。又,本發明之光源控制裝置具有光檢測裝置,其檢測發出不同色彩之光的複數個光源之發光亮度,基於上述光檢測裝置之檢測結果控制上述複數個光源中之至少一個光源之發光亮度,上述光源控制裝置之構成為如下:於使自上述光源發出之光向特定方向反射的反射構件設置有貫通孔,隔著上述反射構件於與上述光源側相反側設置有上述光檢測裝置,對於上述貫通孔設置光傳播構件。
简体摘要：本发明可提供一种于各种环境下均保持均匀色彩之发光设备。又,本发明之光源控制设备具有光检测设备,其检测发出不同色彩之光的复数个光源之发光亮度,基于上述光检测设备之检测结果控制上述复数个光源中之至少一个光源之发光亮度,上述光源控制设备之构成为如下:于使自上述光源发出之光向特定方向反射的反射构件设置有贯通孔,隔着上述反射构件于与上述光源侧相反侧设置有上述光检测设备,对于上述贯通孔设置光传播构件。

10. 发明专利

TW417309B 彩色微透鏡及製造方法失效
简体标题：彩色微透镜及制造方法
公开(公告)号：TW417309B
公开(公告)日：2001-01-01
申请号：TW088105068
申请日：1999-03-31
申请人：英特爾公司
发明人：李.宗–福
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G02B3/0018 , G01J3/14 , G01J3/51 , G01J3/513 , G02B3/0012 , G02B3/0056 , G02B5/201 , G02F1/133526 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L31/02327
摘要：一種在彩色影像感測器與彩色顯示裝置中製造及使用的彩色微透鏡。該彩色微透鏡係將無色的微透鏡和色彩過濾器的功能組合成單一結構，俾使用該等彩色微透鏡簡化該顯示裝置之製造及提高其可靠度。
简体摘要：一种在彩色影像传感器与彩色显示设备中制造及使用的彩色微透镜。该彩色微透镜系将无色的微透镜和色彩过滤器的功能组合成单一结构，俾使用该等彩色微透镜简化该显示设备之制造及提高其可靠度。

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