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2. 发明专利

TW201730958A 基板處理裝置及基板處理方法审中-公开
简体标题：基板处理设备及基板处理方法
公开(公告)号：TW201730958A
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：TW106102568
申请日：2017-01-24
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：高木康弘 , TAKAKI, YASUHIRO , 梅野慎一 , UMENO, SHINICHI , 永井高志 , NAGAI, TAKASHI , 守田壽 , MORITA, HISASHI , 緒方信博 , OGATA, NOBUHIRO , 高松祐助 , TAKAMATSU, YUSUKE , 東島治郎 , HIGASHIJIMA, JIRO
IPC分类号： H01L21/306
CPC分类号： H01L21/304
摘要：本發明之課題在於減少處理液的消耗量。依本發明實施態樣之基板處理裝置，其包含儲存槽、基板處理部、回收路徑、廢棄路徑、供給路徑、切換部、及切換控制部。回收路徑使得供給到基板處理部的混合液回到儲存槽。廢棄路徑則使得所供給的混合液往儲存槽以外之處廢棄。切換部將所供給的混合液之流入目的地加以在回收路徑與廢棄路徑之間作切換。切換控制部對切換部進行控制，而在開始由基板處理部供給混合液之後，直到經過第一時間為止之間，令所供給的混合液流入到廢棄路徑，在經過第一時間之後，直到經過「依預先設定之回收率所設定」的第二時間為止之間，令所供給的混合液流入到回收路徑，並且在經過第二時間之後，直到結束混合液的供給為止之間，令所供給的混合液流入到廢棄路徑。
简体摘要：本发明之课题在于减少处理液的消耗量。依本发明实施态样之基板处理设备，其包含存储槽、基板处理部、回收路径、废弃路径、供给路径、切换部、及切换控制部。回收路径使得供给到基板处理部的混合液回到存储槽。废弃路径则使得所供给的混合液往存储槽以外之处废弃。切换部将所供给的混合液之流入目的地加以在回收路径与废弃路径之间作切换。切换控制部对切换部进行控制，而在开始由基板处理部供给混合液之后，直到经过第一时间为止之间，令所供给的混合液流入到废弃路径，在经过第一时间之后，直到经过“依预先设置之回收率所设置”的第二时间为止之间，令所供给的混合液流入到回收路径，并且在经过第二时间之后，直到结束混合液的供给为止之间，令所供给的混合液流入到废弃路径。

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